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一种单晶硅片甩干装置.pdf
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本发明公开了一种单晶硅片甩干装置，其结构包括进气顶罩、叶轮、集流喷吹装置、支架、硅片甩液装置、集液罩、整流排气装置、液箱、电机,本发明具有的效果：硅片甩液装置通过电机产生的驱动转矩带动硅片高速旋转，使硅片上下两面含有的蚀刻液被高效向四周甩出，因为集流喷吹装置通过磁斥力与硅片甩液装置配合，所以叶轮随硅片的转动进行旋转，叶轮回转过程中生成空气流，垂直向硅片表面的中心位置喷吹，在硅片的导向作用下气流向四周水平运动，从而提高硅片的甩液速度，且有效防止硅片在转动中液体无规律乱溅，通过整流排气装置能够高效排出随蚀刻液
2023-08-26
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