一种真空镀膜主机的主传动机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111455340A(43)申请公布日2020.07.28(21)申请号202010343794.7(22)申请日2020.04.27(71)申请人台州市思考特机器人科技有限公司地址318000浙江省台州市椒江区章安街道杨司公路688号(72)发明人吴广龙(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)C23C14/35(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种真空镀膜主机的主传动机构(57)摘要本发明公开了一种真空镀膜主机的主传动机构，包括主箱体，所述主箱体的下部固定有隔板，隔板将主箱体分隔成上镀膜室和下传动室；所述上镀膜室中设有传动主轴套，传动主轴套的底部铰接在隔板上；所述传动主轴套中插套有传动主轴，传动主轴的底端通过轴承铰接在传动主轴套的底面中部，传动主轴的顶部伸出传动主轴套的顶面并通过轴承铰接在主箱体的顶板上；所述传动主轴的外侧壁上固定有多个锥齿轮，传动主轴套的侧壁上通过轴承铰接有多个放料杆。本发明可以通过传动主轴套和传动主轴的相对转动，使得放料杆沿着传动主轴进行水平旋转的同时，其也可以进行自动旋转，使得其上安装的管料的外侧壁上可以均匀镀膜，提高镀膜效果好。CN111455340ACN111455340A权利要求书1/1页1.一种真空镀膜主机的主传动机构，包括主箱体(10)，其特征在于：所述主箱体(10)的下部固定有隔板(12)，隔板(12)将主箱体(10)分隔成上镀膜室(1)和下传动室(2)；所述上镀膜室(1)中设有传动主轴套(3)，传动主轴套(3)的底部铰接在隔板(12)上；所述传动主轴套(3)中插套有传动主轴(4)，传动主轴(4)的底端通过轴承铰接在传动主轴套(3)的底面中部，传动主轴(4)的顶部伸出传动主轴套(3)的顶面并通过轴承铰接在主箱体(10)的顶板上；所述传动主轴(4)的外侧壁上固定有多个锥齿轮(41)，传动主轴套(3)的侧壁上通过轴承铰接有多个放料杆(5)，放料杆(5)的放置部伸出传动主轴套(4)的外侧壁，放料杆(5)的内端固定有传动锥齿轮(51)，传动锥齿轮(51)处于传动主轴套(3)中并与对应的锥齿轮(41)相啮合。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜主机的主传动机构，其特征在于：所述传动主轴(4)的顶端伸出主箱体(10)的顶板的顶面。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜主机的主传动机构，其特征在于：所述传动主轴套(3)的底端伸出隔板(12)并固定有传动齿轮(31)。4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜主机的主传动机构，其特征在于：所述传动主轴套(3)由两个半轴套通过螺栓固定连接，两个半轴套的底端成型有直径小于半轴套的半柱体，两个半柱体组成下轴部，下轴部插套在下传动轴套(32)中，下传动轴套(32)的顶部外侧壁成型有径向延伸边(33)，径向延伸边(33)通过螺栓固定连接在两个半轴套的底面上，隔板(12)的中部具有传动通孔(121)，传动主轴套(3)的下部插套在传动通孔(121)中。5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜主机的主传动机构，其特征在于：所述传动通孔(121)的内侧壁上固定有内自润滑轴套(122)，传动主轴套(3)的下部插套在内自润滑轴套(122)中，下传动轴套(32)处于下传动室(2)中并固定有驱动齿轮(131)。6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜主机的主传动机构，其特征在于：所述主箱体(10)的顶板的底面中部固定有导向套(16)，导向套(16)的内侧壁上固定有内自润滑套(17)，传动主轴套(3)的上部插套在内自润滑轴套(17)中。7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜主机的主传动机构，其特征在于：所述传动主轴套(3)的顶面固定有上环形凹槽(37)，上自润滑密封环形套(38)嵌套在上环形凹槽(37)中，上自润滑密封环形套(38)的顶面紧贴主箱体(10)的顶板的底面上。2CN111455340A说明书1/3页一种真空镀膜主机的主传动机构技术领域[0001]本发明涉及真空镀膜设备技术领域，更具体的说涉及一种真空镀膜主机的主传动机构。背景技术[0002]真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。[0003]现有的真空镀膜箱中，其对管体的外侧壁上进行镀膜时，一般是将管体插套在杆体上，杆体固定在旋转主轴上，通过旋转主轴旋转，实现杆体的移动，从而对管体的外部的各个部位进行镀膜，然而，现有的旋转主轴上的杆体并不会进