用于晶圆的检测方法、检测装置及存储介质.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114897853A(43)申请公布日2022.08.12(21)申请号202210562259.XG06T7/73(2017.01)(22)申请日2022.05.23G06T7/90(2017.01)(71)申请人长江存储科技有限责任公司地址430000湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号(72)发明人赵哲谢真良陈金星王庆汪严莉(74)专利代理机构北京英思普睿知识产权代理有限公司16018专利代理师刘莹聂国斌(51)Int.Cl.G06T7/00(2017.01)G06T7/11(2017.01)G06T5/00(2006.01)G06T7/60(2017.01)权利要求书2页说明书16页附图4页(54)发明名称用于晶圆的检测方法、检测装置及存储介质(57)摘要本申请的实施方式提供了一种晶圆的检测方法、检测装置及存储介质。本申请的部分实施方式中，用于晶圆的检测方法包括：确定晶圆的侧面图像的像素的图像特征值；对侧面图像的像素的图像特征值进行统计；以及根据统计结果确定晶圆的轮廓是否异常。本申请提供的晶圆的检测方法、检测装置及存储介质可对晶圆进行异常检测。CN114897853ACN114897853A权利要求书1/2页1.一种用于晶圆的检测方法，其特征在于，包括：确定所述晶圆的侧面图像的像素的图像特征值；对所述侧面图像的像素的图像特征值进行统计；以及根据统计结果确定所述晶圆的轮廓是否异常。2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述对所述侧面图像的图像特征值进行统计包括：分别计算所述侧面图像的像素阵列的每一个行和/或列的像素的图像特征值的总和或均值，得到所述像素阵列的每一个行和/或列的图像特征值。3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述根据统计结果确定所述晶圆的轮廓是否异常包括：响应于所述统计结果指示所述行和/或列的图像特征值中存在异常值，确定所述晶圆的轮廓存在异常。4.根据权利要求3所述的方法，其中，在响应于所述统计结果指示所述列的图像特征值中存在异常值，确定所述晶圆的轮廓存在异常后，所述方法还包括：根据所述异常值对应的列确定所述晶圆的轮廓异常的位置。5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述方法还包括：根据所述异常值对应的列中的所述图像特征值异常的像素，确定轮廓异常区域的纵向长度；根据确定出的纵向长度确定所述晶圆的缺陷深度；以及响应于所述缺陷深度处于预设的异常深度范围，确定所述晶圆存在缺口缺陷。6.根据权利要求2所述的方法，其中，在所述根据统计结果确定所述晶圆的轮廓是否异常之前，所述方法还包括：对所述行和/或列的图像特征值进行平滑处理。7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中，在所述确定所述晶圆的侧面图像的像素的图像特征值之前，所述方法还包括：获取所述晶圆的原始侧面图像；对所述原始侧面图像进行灰度处理；以及根据灰度处理后的原始侧面图像得到所述侧面图像。8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述根据所述灰度处理后的原始侧面图像得到所述侧面图像包括：对所述灰度处理后的原始侧面图像进行二值化处理，得到所述侧面图像。9.根据权利要求7所述的方法，其中，所述晶圆上设置有用于定位的缺口，所述方法还包括：通过对所述原始侧面图像进行裁切，去除所述原始侧面图像中与所述用于定位的缺口对应的图像区域。10.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，所述图像特征值包括颜色值或亮度值。11.一种用于晶圆的检测装置，其特征在于，包括：确定模块，用于确定所述晶圆的侧面图像的像素的图像特征值；2CN114897853A权利要求书2/2页统计模块，用于对所述侧面图像的像素的图像特征值进行统计；以及检测模块，用于根据统计结果确定所述晶圆的轮廓是否异常。12.根据权利要求11所述的装置，其中，所述统计模块被配置为：分别计算所述侧面图像的像素阵列的每一个行和/或列的像素的图像特征值的总和或均值，得到所述像素阵列的每一个行和/或列的图像特征值。13.根据权利要求12所述的装置，其中，所述检测模块被配置为：响应于所述统计结果指示所述行和/或列的图像特征值中存在异常值，确定所述晶圆的轮廓存在异常。14.根据权利要求13所述的装置，其中，所述检测模块还被配置为：在响应于所述统计结果指示所述列的图像特征值中存在异常值，确定所述晶圆的轮廓存在异常后，根据所述异常值对应的列确定所述晶圆的轮廓异常的位置。15.根据权利要求14所述的装置，其中，所述检测模块还被配置为：根据所述异常值对应的列中的所述图像特征值异常的像素，确定轮廓异常区域的纵向长度；根据确定出的纵向长度确定所述晶圆的缺陷深度；以及响应于所述缺陷深度处于预设的异常深度范围，确定所述晶圆存在缺口缺陷。16.根据权利要求15所述的装置，其中，所述检测装置