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半导体物理基础PN结PN结制作工艺过程PN结制作工艺过程PN结制作工艺过程PN结制作工艺过程PN结制作工艺过程PN结制作工艺过程PN结制作工艺过程PN结制作工艺过程PN结制作工艺过程PN结制作工艺过程2.1热平衡PN结2.1热平衡PN结2.1热平衡PN结2.1热平衡PN结2.1热平衡PN结2.1热平衡PN结2.1热平衡PN结2.1热平衡PN结2.1热平衡PN结2.1热平衡PN结2.1热平衡PN结根据公式(2-6-3)反向电流随温度升高而增加。 单边突变结的耗尽层宽度为(耗尽近似) 9电荷存储和反向瞬变 层宽度W’W 费米能及与载流子浓度相关联。 PN结含有丰富的物理知识,掌握PN结的物理原理是学习其它半导体器件器件物理的基础。 正向偏压:势垒削弱,扩散被加强,电流大。 首先对于N型中性区,当达到稳态之后,正向注入的过剩载流子随时间的变化应为0,即公式2-2-5为0,得到2-3-1。 边界条件:加偏压后的边界少子浓度由热平衡少子浓度和外加电压决定。 二极管饱和电流的几种表达式: 半导体非简并(费米能及位于禁带之中) 因此扩散电容与非平衡载流子寿命和电压变化频率有关。 2-8PN结二极管的频率特性 耗尽区:在空间电荷区中,各自的多数载流子浓度受到抑制或者耗尽。 2-3理想PN结的直流电流-电压特性 雪崩击穿原理:反向偏压时,做漂移运动的载流子在经过空间电荷区时,在电场作用下获得很高的能量,且不断与晶格原子发生碰撞。 2-3理想PN结的直流电流-电压特性2.1热平衡PN结2.1热平衡PN结2.1热平衡PN结2.1热平衡PN结2.2加偏压的PN结2.2加偏压的PN结2-2加偏压的PN结2-2加偏压的PN结2-2加偏压的PN结2-2加偏压的PN结2-2加偏压的PN结2-2加偏压的PN结2-2加偏压的PN结2-2加偏压的PN结2-2加偏压的PN结2-2加偏压的PN结2-2加偏压的PN结2-2加偏压的PN结2-2加偏压的PN结2-3理想PN结的直流电流-电压特性2-3理想PN结的直流电流-电压特性2-3理想PN结的直流电流-电压特性2-3理想PN结的直流电流-电压特性2-3理想PN结的直流电流-电压特性2-3理想PN结的直流电流-电压特性2-3理想PN结的直流电流-电压特性2-3理想PN结的直流电流-电压特性2-3理想PN结的直流电流-电压特性2-3理想PN结的直流电流-电压特性2-3理想PN结的直流电流-电压特性2-3理想PN结的直流电流-电压特性2-4空间电荷区的复合电流和产生电流2-4空间电荷区的复合电流和产生电流2-4空间电荷区的复合电流和产生电流2-4空间电荷区的复合电流和产生电流2-5隧道电流2-5隧道电流2-5隧道电流2-5隧道电流2-5隧道电流2-5隧道电流2-5隧道电流2-5隧道电流2-5隧道电流2-5隧道电流2-5隧道电流2-5隧道电流2-6I-V特性的温度依赖关系2-6I-V特性的温度依赖关系2-6I-V特性的温度依赖关系2-7耗尽层电容2-7耗尽层电容2-7耗尽层电容2-7耗尽层电容2-7耗尽层电容2-8PN结二极管的频率特性2-8PN结二极管的频率特性2-8PN结二极管的频率特性2-8PN结二极管的频率特性2-8PN结二极管的频率特性2-8PN结二极管的频率特性2-8PN结二极管的频率特性2-8PN结二极管的频率特性2-8PN结二极管的频率特性2-8PN结二极管的频率特性2-8PN结二极管的频率特性PN结的电容效应PN结的电容效应PN结的电容效应PN结的电容效应2.9电荷存储和反向瞬变2.9电荷存储和反向瞬变2.9电荷存储和反向瞬变2.9电荷存储和反向瞬变2.9电荷存储和反向瞬变2.9电荷存储和反向瞬变2.9电荷存储和反向瞬变首先对于N型中性区,当达到稳态之后,正向注入的过剩载流子随时间的变化应为0,即公式2-2-5为0,得到2-3-1。 因此,也把空间电荷区称为势垒区。 9电荷存储和反向瞬变 在高频情况下,存储电荷的变化比电压变化要慢的多,因此扩散电容很小。 电势和电场的面积关系: 但当电流增大时,空间电荷区的载流子浓度会与杂质离子浓度可比拟,耗尽近似不再成立。 2-6I-V特性的温度依赖关系 为非平衡载流子的寿命,也就是存储电荷再分布的弛豫时间。 正向偏压:势垒削弱,扩散被加强,电流大。 2-2加偏压的PN结 结边缘少子浓度与热平衡少子浓度成正比,即与杂质浓度成反比。 隧道电流概念:当P侧和N侧均为重掺杂的情况时,有些载流子可能穿透(代替越过)势垒而产生电流,这种电流叫做隧道电流。 当偏离平衡态之后,费米能级出现分裂。 三、理想PN结的直流电流-电压特性 新产生的电子空穴也向相反的方向运动,重新获得能量,通过碰撞产生新的电子-空穴对,即载流子的倍增效应。 假设:以PN结最右侧为电势0点。 少数载流子的注入与运