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一种挤压式金属平面靶材的绑定方式.pdf
2023-08-19
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雨巷****可歆
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本发明公开了一种挤压式金属平面靶材的绑定方式，涉及靶材制备领域，其技术方案要点：背板及靶材放置绑定加热台以2‑5℃/min升温速率加热160‑180℃，保温0.2‑1.0h；铟锭熔化液态；均匀铺在背板及靶材表面，对铟料超声分散，以1‑2℃/min降温速率降至120‑140℃，保温0.5‑1.5h，以1‑5℃/min降温速率降温至60‑90℃，保温，靶材及背板表面的铟层滚花或划线；靶材及背板放入绑定模具，用滚轮式挤压设备纵向挤压，在空气中降至室温后取出靶材。本发明的一种挤压式金属平面靶材的绑定方式在保证贴合
2023-08-19
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