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一种平面靶材解绑定装置及方法.pdf
2023-06-11
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韶敏****ab
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本发明提供了一种平面靶材解绑定装置及方法，属于靶材解绑定技术领域。本发明提供的平面靶材解绑定装置可实现平面靶材的解绑定，其中，利用传送装置可以实现平面靶材在各区域的输送，利用红外加热装置可以对平面靶材进行红外加热，实现平面靶材中铟焊料的熔化，除铟装置中各部件设置合理，可以有效刮除背板以及废靶上附着的铟焊料(背板可直接投入二次使用)，铟焊料回收率高(回收率可达到97％以上)，同时可以实现铟焊料和铜丝自动分离，避免了铟焊料和铜丝二次分离的步骤，提高了处理效率。此外，本发明提供的平面靶材解绑定装置可实现自动化、
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