一种基于钎焊方式的靶材绑定方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113275684A(43)申请公布日2021.08.20(21)申请号202110493339.X(22)申请日2021.05.07(71)申请人先导薄膜材料（广东）有限公司地址511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区(72)发明人黄宇彬谢小林童培云朱刘(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限公司44202代理人颜希文朱燕华(51)Int.Cl.B23K1/00(2006.01)B23K1/008(2006.01)B23K1/20(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图1页(54)发明名称一种基于钎焊方式的靶材绑定方法(57)摘要本发明公开了一种基于钎焊方式的靶材绑定方法，包括如下步骤：(1)对靶材和背板的绑定面进行机加工，使绑定面的平面度≤0.1μm、以及粗糙度≤Ra2μm；(2)对靶材和背板进行酸洗，酸洗后绑定面的粗糙度为Ra2.8～3.2μm；(3)使用PVD磁控溅射方式在靶材和背板的绑定面上进行镀银处理；(4)使用熔融的SnAg合金对靶材和背板的绑定面进行浸润涂布；(5)将靶材和背板放入真空钎焊炉内，在靶材和背板的绑定面之间夹置SnCu合金箔片，然后在靶材上放置重物以施加压力，炉内抽真空至真空度≤6×10e‑3，加热至170～185℃后，保温至绑定完成。本发明钎焊所用原料的总成本为300元/kg，降低了靶材绑定的成本，焊接层的焊接强度高达15～18MPa，耐温200℃以上，提高了靶材绑定的强度和稳定性。CN113275684ACN113275684A权利要求书1/1页1.一种基于钎焊方式的靶材绑定方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)预处理：对靶材和背板的绑定面进行机加工，使绑定面的平面度≤0.1μm、以及粗糙度≤Ra2μm；(2)酸洗：对靶材和背板进行酸洗，去除绑定面的氧化层和机加工损伤层，酸洗后绑定面的粗糙度为Ra2.8～3.2μm；(3)镀银：使用PVD磁控溅射方式在靶材和背板的绑定面上进行镀银处理；(4)浸润涂布：使用熔融的SnAg合金对靶材和背板的绑定面进行浸润涂布；(5)真空热压：将靶材和背板放入真空钎焊炉内，在靶材和背板的绑定面之间夹置SnCu合金箔片，然后在靶材上放置重物以施加压力，炉内抽真空至真空度≤6×10e‑3，加热至170～185℃后，保温至绑定完成。2.如权利要求1所述的靶材绑定方法，其特征在于，所述靶材为钼靶材或钒靶材，所述背板为铝背板。3.如权利要求1所述的靶材绑定方法，其特征在于，所述真空热压的加热温度为180℃，保温时间为4h。4.如权利要求1所述的靶材绑定方法，其特征在于，所述预处理中，去除的机加工层的厚度为0.5～1mm。5.如权利要求1所述的靶材绑定方法，其特征在于，所述酸洗的工艺条件：采用质量分数为2％的HF酸浸泡5min。6.如权利要求1所述的靶材绑定方法，其特征在于，所述镀银过程中靶材和背板的温度保持在175～185℃。7.如权利要求1所述的靶材绑定方法，其特征在于，所述镀银所得银镀层的厚度为0.02～0.05mm。8.如权利要求1所述的靶材绑定方法，其特征在于，所述SnAg合金的含铜量为0.5～1wt％。9.如权利要求1所述的靶材绑定方法，其特征在于，所述浸润涂布的方法为：使用不锈钢304刷子，将熔融的SnAg合金均匀涂布在靶材和背板的银膜层上，涂布厚度为50～80μm。10.如权利要求1所述的靶材绑定方法，其特征在于，所述SnCu合金箔片的厚度为0.1mm，所述重物的重量为20～30kg。2CN113275684A说明书1/5页一种基于钎焊方式的靶材绑定方法技术领域[0001]本发明涉及靶材加工技术领域，具体涉及一种基于钎焊方式的靶材绑定方法。背景技术[0002]靶材绑定是指用焊料将靶材与背板焊接起来，目前主要有三种绑定方式：压接、钎焊和导电胶。绑定可防止靶材在使用过程中因受热不匀而碎裂，还可防止靶材在使用过程中变形。同时，绑定背板，可将靶材的厚度设计得更小，从而节省成本。[0003]现有的钼、钒等金属靶材一般通过铟绑定铜背板或铝背板等，然而，铟不仅价格高昂，而且焊接强度低，接头强度只有3～5MPa。另外，受限于铟的熔点，导致焊接耐温低，最高的绑定耐温只能达到156℃。发明内容[0004]为解决上述现有技术中存在的缺点和不足，本发明的目的在于提供一种基于钎焊方式的靶材绑定方法。[0005]为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：[0006]一种基于钎焊方式的靶材绑定方法，其包括如下步骤：[0007](1)预处理：对靶材和背板的绑定面进行机加工，使绑定面的平面度≤0.1μm、以及粗糙度≤Ra2μm；[0008](2)酸洗：对靶材和背板进行酸洗，去除绑定面的氧化层和机加工