难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法.pdf

难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法,采用等温挤压工艺制备旋转难熔金属靶材需要先通过冷等静压CIP压制靶材管靶胚，再通过烧结获得60%-80%密度的难熔金属或难熔金属合金靶胚，然后将预烧结后的靶管胚装入等温挤压模具，通过采用相对较为简单的等温挤压生产流程获得高密度和低氧含量的难熔金属旋转靶材，而且不受材料限制，可使整个靶材几何尺寸、表面质量和内部组织及物理性能等都达到最佳效果，极大的提高生产率降低生产成本，尤其是可以生产多种其他工艺难于生产的难熔金属合金旋转靶材。铸造均匀，晶粒细小；致密度高，密度达到99%以

2024-01-10

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难熔稀有金属环形靶材的制备方法与装置.pdf

本发明涉及一种难熔稀有金属环形靶材的制备方法与装置，属于金属靶材的制备技术领域。所述装置包括炉体、真空系统、充气阀、电子枪和水冷模具，所述炉体分为炉室和电子枪室，真空系统分别与炉室和电子枪室相连，充气阀分别与炉室和电子枪室相连，所述水冷模具设于炉室内部，电子枪设于水冷模具上方，所述水冷模具为设有若干个环形水冷槽的模具。本发明所述的技术方案可简化难熔稀有金属靶材的制备工艺，降低后续加工难度，提高产品的出成效率和纯度。

2023-06-17

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稀土金属PrNd旋转靶材的制造方法.pdf

一种稀土金属PrNd旋转靶材的制造方法，包括：利用氢化脱氢法‑破碎法制备平均粒径D50为40～70μm的稀土金属PrNd粉末；在保护气氛下，将粉料装入真空热压烧结炉的石墨模具中；在保护气氛下，热压成型得到稀土金属PrNd靶材毛坯，热压温度760～900℃，成型压力19～30MPa，保温保压1～2小时；对成型的靶材进行机加工，焊接铜或不锈钢背靶。本发明用于晶界扩散PrNd改善NdFeB磁体磁性能，能够大幅减少稀土元素的使用量，节约高性能NdFeB磁体制作成本。

2023-06-17

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复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法.pdf

本发明涉及一种复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法。其中，一种复合金属氧化物靶材材料的制备方法，包括如下步骤：取90‑95.8重量份的氧化锌、8‑8.4重量份的氧化镁、2‑2.1重量份的氧化铝、0.15‑0.25重量份的分散剂、0.07‑0.08重量份的粘结剂、以及4‑5重量份的水混合后得到混合浆料；对所述混合浆料进行喷雾造粒。上述复合金属氧化物靶材材料的制备方法工艺简单、成本低廉。由此方法制得靶材材料的颗粒大小匀称，呈球形。此外，靶材材料颗粒中各元素均匀分布于靶材材料颗粒中，进而能够满

2024-01-10

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ITiO旋转靶材及其制备方法.pdf

本发明涉及一种ITiO旋转靶材及其制备方法。ITiO旋转靶材的制备方法包括如下步骤：按照质量份数，将90份～99.5份的In

2024-01-10

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