一种基于3D打印的双轴电磁式扫描振镜的制备方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115027082A(43)申请公布日2022.09.09(21)申请号202210760596.X(22)申请日2022.06.30(71)申请人陕西科技大学地址710021陕西省西安市未央区大学园(72)发明人李晨陈帅(74)专利代理机构北京中巡通大知识产权代理有限公司11703专利代理师李晓晓(51)Int.Cl.B29D11/00(2006.01)B29C64/118(2017.01)B29C64/129(2017.01)B33Y10/00(2015.01)B29K55/02(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图4页(54)发明名称一种基于3D打印的双轴电磁式扫描振镜的制备方法(57)摘要本发明公开了一种基于3D打印的双轴电磁式扫描振镜的制备方法，属于微光机电系统技术领域，包括以下步骤：S1：建立扫描振镜三维模型；S2：利用3D打印制备扫描振镜机械结构；S3：在扫描振镜机械结构的中心处粘接反射镜面；S4：利用紫外激光打标机对铜箔进行图案化加工，得到外梁驱动线圈和内梁驱动线圈；S5：将外梁驱动线圈粘接在扫描振镜机械结构的上表面，将内梁驱动线圈粘接在扫描振镜机械结构的下表面，得到扫描振镜结构组件；S6：将外接引线与扫描振镜结构组件上的线圈末端进行锡焊连接；S7：依次将窗口盖、扫描振镜结构组件、背腔隔层、环形磁铁组及下底盖进行粘接封装；以解决现有的扫描振镜制备周期长、工艺复杂及成本高的技术问题。CN115027082ACN115027082A权利要求书1/1页1.一种基于3D打印的双轴电磁式扫描振镜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：建立扫描振镜三维模型；S2：将扫描振镜模型导入切片软件进行切片，利用3D打印制备扫描振镜机械结构(21)；S3：在扫描振镜机械结构(21)的中心处粘接反射镜面(24)；S4：利用紫外激光打标机对铜箔进行图案化加工，剥离后得到外梁驱动线圈(22)和内梁驱动线圈(23)；S5：将外梁驱动线圈(22)粘接在扫描振镜机械结构(21)的上表面，将内梁驱动线圈(23)粘接在扫描振镜机械结构(21)的下表面，得到扫描振镜结构组件(2)；S6：将外接引线(6)与扫描振镜结构组件(2)上的线圈末端进行锡焊连接；S7：从上至下依次将窗口盖(1)、扫描振镜结构组件(2)、背腔隔层(3)、环形磁铁组(4)及下底盖(5)进行粘接封装。2.根据权利要求1所述的一种基于3D打印的双轴电磁式扫描振镜的制备方法，其特征在于，步骤S2中，采用FDM热熔成型式3D打印机或SLA、DLP光固化快速成型3D打印机制备扫描振镜机械结构(21)。3.根据权利要求2所述的一种基于3D打印的双轴电磁式扫描振镜的制备方法，其特征在于，采用FDM热熔成型式3D打印机时，以ABS线材或PLA为耗材。4.根据权利要求2所述的一种基于3D打印的双轴电磁式扫描振镜的制备方法，其特征在于，采用SLA、DLP光固化快速成型3D打印机时，以类ABS光敏树脂材料为耗材。5.根据权利要求2所述的一种基于3D打印的双轴电磁式扫描振镜的制备方法，其特征在于，使用FDM热熔成型式3D打印机，以ABS线材为耗材制备扫描振镜机械结构(21)时，打印机的喷头温度为240°，热床温度为110°。6.根据权利要求1所述的一种基于3D打印的双轴电磁式扫描振镜的制备方法，其特征在于，步骤S3中，使用环氧树脂粘接剂粘接反射镜面(24)，反射镜面(24)选用高清镜面贴纸。7.根据权利要求1所述的一种基于3D打印的双轴电磁式扫描振镜的制备方法，其特征在于，步骤S4中，所述铜箔的厚度为20～50μm。8.根据权利要求1所述的一种基于3D打印的双轴电磁式扫描振镜的制备方法，其特征在于，步骤S5中，扫描振镜机械结构(21)包括固定框架(211)、外扭转梁(212)、外框架(213)、内扭转梁(214)及内框架(215)；外梁驱动线圈(22)的末端与固定框架(211)粘接，其环形部分与外框架(213)粘接，内梁驱动线圈(23)的末端与固定框架(211)粘接，其外1/4圆环形线圈部分与外框架(213)粘接，内环形线圈部分与内框架(215)粘接，内外环形线圈连接的直线部分与扭转梁(214)粘接。9.根据权利要求1所述的一种基于3D打印的双轴电磁式扫描振镜的制备方法，其特征在于，步骤S7中，环形磁铁组(4)由外部的圆环形磁铁(42)和内部的圆柱形磁铁(41)组成，为了方便安装，可在在圆柱形磁铁(41)和圆环形磁铁(42)之间放置保持圆环(44)。10.根据权利要求1所述的一种基于3D打印的双轴电磁式扫描振镜的制备方法，其特征在于，步骤S7中，环形磁铁组(4)的下方粘接引磁铁片(43)。2CN115027082A说明书1/4页一