用于电解处理工件的方法和传送系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN1578853A
(43)申请公布日2005.02.09

(21)申请号CN02821431.5

(22)申请日2002.10.21

(71)申请人埃托特克德国有限公司
地址德国柏林

(72)发明人伊高·荷贝尔

(74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司

代理人刘炳胜

(51)Int.CI
C25D17/28
C25D21/12
C25D17/00
C25D17/10
H05K3/00
H01L21/00

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称
用于电解处理工件的方法和传送系
统

(57)摘要

为了避免传送系统中的工件3.x的
电解处理期间的边缘效应(在工件欲被处理
的边缘处增加的电场线密度)，对于工件位
于各不同电极5.x的正对面的情况，源自
设备中不同电极5.x的电流被设置为若干
数值，该数值是工件3.x欲被电解处理的
表面积的函数。此外，工件3.x和电极5.x
之间的距离被选择为最大50毫米。为此目

的，提供了用于独立地控制和调整电极5.x
的每个单一电流供给单元15.x的装置19。
该装置19的配置使得对于工件位于各不同

电极5.x正对面的情况，源自不同电极5.x
的各电流被设置为若干数值，该数值是工

件3.x欲被电解处理的表面积的函数。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

专利权有效期届满IPC(主分
类):C25D17/28专利

2022-11-08号:ZL028214315申请专利权的终止
日:20021021授权公告

日:20070711

权利要求说明书

1、一种在传送系统中电解处理多个工件的方法，其中这些工件在一个输送方向上
被引导通过该系统，及其中当这些工件被引导经过对电极时，利用源自输送方向上
呈前后设置的对电极的电流对这些工件进行电解处理，其中对于这些工件位于不同
对电极的正对面的情况，源自不同对电极的各电流被设定为若干数值，这些数值以
这些工件欲被电解处理的表面积为函数，并且其中这些工件被引导通过这些对电极
的最大距离为50毫米。

2、权利要求1的方法，其中对于这些工件位于各单一的对电极的正对面的情况，
通过确定这些工件欲被电解处理的表面积，及通过自电流与已确定的表面积总和的
直接关联性中导出电流来确定源自一个单一的对电极的电流。

3、如以上任一权利要求的方法，其中对于这些工件位于各对电极的正对面的情况，
源自不同对电极的电流与这些工件欲被电解处理的表面积成比例地被设定。

4、如以上任一权利要求的方法，其中对于这些工件位于一个单一对电极的正对面
的情况，工件欲被电解处理的表面积是通过确定该工件欲电解处理的表面积以及该
工件与该对电极的相对重叠度来确定的。

5、如权利要求4的方法，其中工件与一个单一对电极的相对重叠度是通过确定该
工件相对于该对电极的实际位置，及通过计算考虑到该工件形状与该对电极形状的
重叠度来确定的。

6、如权利要求5的方法，其中该传送系统内的工件的实际位置是通过确定该工件
被引导经过该传送系统内预定位置时的瞬时时间，及通过从该预定位置起逻辑地追
踪该传送系统内的该工件来确定的。

7、如权利要求6的方法，其中该传送系统内的该工件的实际位置是在高达20秒的
时间间隔内确定的。

8、如权利要求5-7中的任一权利要求的方法，其中该传送系统内的工件的实际位
置是在该工件已于输送方向上前进最大60毫米后确定的。

9、如权利要求6-8中的任一权利要求的方法，其中通过确定以时间积分该工件的
瞬间传送速度所涵盖的距离，或通过添加一增量式或绝对式位移编码器的脉冲，而
在传送系统内对该工件进行逻辑式追踪。

10、如以上任一权利要求的方法，其中源自不同对电极的电流被另外地设置一个校
正因数，该因数以被引导经过各对电极的这些工件的导电率为函数，因此避免了金
属沉积物烧灼。

11、如权利要求10的方法，其中该校正因数被设置为小于或大于1，其中在金属-
电镀期间，其随着金属沉积物厚度的增加而自一小值开始持续或逐渐增加至1，或
自一高值开始降低至1。

12、如以上任一权利要求的方法，其中工件被引导经过多个对电极的距离是以这些
工件的电流密度为函数而选定的。

13、如权利要求12的方法，其中该距离范围为2-15毫米。

14、如以上任一权利要求的方法，其中欲以不同方式电解处理的这些工件是在其被
引导通过该传送系统时以一延伸于输送方向的间隙相互隔离的，该间隙至少与输送
方向上的对电极的延伸一样长。

15、如以上任一权利要求的方法，其中欲以不同方式电解处理且位于传送系统内的
这些工件的传