真空镀膜设备及方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113604790A(43)申请公布日2021.11.05(21)申请号202110896164.7(22)申请日2021.08.05(71)申请人业成科技（成都）有限公司地址611730四川省成都市高新区西区合作路689号申请人业成光电（深圳）有限公司业成光电（无锡）有限公司英特盛科技股份有限公司(72)发明人刘清存(74)专利代理机构成都希盛知识产权代理有限公司51226代理人杨冬梅张行知(51)Int.Cl.C23C14/56(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图4页(54)发明名称真空镀膜设备及方法(57)摘要本发明涉及一种真空镀膜设备及方法，真空镀膜设备包括缓冲室、抽气装置以及缓冲桶，缓冲室被配置为用以供待镀膜产品在镀膜前进行缓冲处理，缓冲室设有抽气通道，抽气通道上设有第一开关阀；抽气装置设于抽气通道的末端，以将缓冲室抽真空；缓冲桶设有进气通道和出气通道，进气通道远离缓冲桶的一端密封连接于第一开关阀与缓冲室之间，出气通道远离缓冲桶的一端密封连接于第一开关阀与抽气装置之间，且进气通道设有第二开关阀，出气通道设有第三开关阀。该真空镀膜设备能够解决目前减少生产节拍时间的方式会导致设备购置成本增加以及设备运行能耗增加的问题。CN113604790ACN113604790A权利要求书1/2页1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：缓冲室，所述缓冲室被配置为用以供待镀膜产品在镀膜前进行大气至真空状态的缓冲处理，所述缓冲室设有抽气通道，所述抽气通道上设有第一开关阀；抽气装置，设于所述抽气通道的末端，以将所述缓冲室抽真空；以及缓冲桶，设有进气通道和出气通道，所述进气通道远离所述缓冲桶的一端密封连接于所述第一开关阀与所述缓冲室之间，所述出气通道远离所述缓冲桶的一端密封连接于所述第一开关阀与所述抽气装置之间，且所述进气通道设有第二开关阀，所述出气通道设有第三开关阀。2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述抽气装置包括低真空抽气泵组。3.根据权利要求2所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述低真空抽气泵组包括沿所述抽气通道的延伸方向依次设置的鲁式泵和螺杆泵。4.根据权利要求3所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述鲁式泵和所述螺杆泵被配置为同时开启。5.根据权利要求2所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述低真空抽气泵组包括鲁式泵、油泵、螺杆泵、水环泵、流体喷射泵中的至少一种。6.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述抽气通道被构造为一端连接于所述缓冲室，另一端连接于所述抽气装置的抽气管；和/或所述进气通道被构造为一端连接于所述缓冲桶，另一端连接于所述抽气通道的进气管；和/或所述出气通道被构造为一端连接于所述缓冲桶，另一端连接于所述抽气通道的出气管。7.根据权利要求1至6任一项所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述真空镀膜设备还包括设于所述抽气通道上的真空计。8.根据权利要求7所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述缓冲室与所述第一开关阀之间、所述抽气装置与所述第一开关阀之间以及所述缓冲桶各设有所述真空计。9.一种真空镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一如权利要求1至8任一项所述的真空镀膜设备；将待镀膜产品输送至所述真空镀膜设备的所述缓冲室；开启所述抽气装置，使所述抽气装置处于常开状态；打开所述第三开关阀，以使所述抽气装置将所述缓冲桶内的空气抽出；关闭所述第三开关阀；打开所述第一开关阀和所述第二开关阀，以使所述抽气装置将所述缓冲室内的空气部分抽出，另一部分吸入至所述缓冲桶内储存；分别关闭所述第一开关阀和所述第二开关阀；打开所述第三开关阀，以使所述抽气装置将所述缓冲桶内暂存的空气抽出。10.根据权利要求9所述的真空镀膜方法，其特征在于，所述抽气装置还包括过渡室，所述过渡室被配置为用以承接在所述缓冲室缓冲处理后的待镀膜产品；所述关闭所述第一开关阀和所述第二开关阀之后还包括：2CN113604790A权利要求书2/2页将前次缓冲处理后的待镀膜产品自所述缓冲室输送至所述过渡室；将所述缓冲室破真空；将下一批次待镀膜产品输送至所述缓冲室，并进行下一批次待镀膜产品从大气至真空状态的缓冲处理。3CN113604790A说明书1/7页真空镀膜设备及方法技术领域[0001]本发明涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及真空镀膜设备及方法。背景技术[0002]在显示屏镀制面板、盖板、太阳能面板等面板的生产产业中，需要用到真空镀膜装置，在真空镀膜的过程中，待镀膜产品进入镀膜室进行镀膜前，需要先送入缓冲室、过渡室等进行真空预处理或缓冲处理。而其中与产能有关的瓶颈之一是抽气时间问题，在此背景之下，目前市场上使用的真空镀膜装置，出于增产的目的，最为直接的设计是增加抽气泵的数量，