对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113851408A(43)申请公布日2021.12.28(21)申请号202110688650.X(22)申请日2021.06.22(30)优先权数据2020-1105732020.06.26JP(71)申请人佳能特机株式会社地址日本新泻县(72)发明人谷和宪小林康信(74)专利代理机构中国贸促会专利商标事务所有限公司11038代理人韩卉(51)Int.Cl.H01L21/68(2006.01)H01L21/67(2006.01)H01L51/56(2006.01)权利要求书3页说明书15页附图10页(54)发明名称对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质(57)摘要本发明涉及从大型基板切出的基板的边缘对准，抑制作为输送目的地的成膜室中的对准的精度的降低。对准装置具备：基板支承部件，其对分割大型基板而得到的多个基板中的任一个基板进行支承；边缘检测部件，其对支承于基板支承部件的基板的边缘进行检测；位置调整部件，其对支承于基板支承部件的基板的位置进行调整；以及控制部件，其对位置调整部件进行控制。获取部件获取支承于基板支承部件的基板的与在分割前的大型基板中的部位相关的基板信息。控制部件基于由边缘检测部件检测到的基板的边缘的位置信息和由获取部件获取的基板信息，对位置调整部件进行控制。CN113851408ACN113851408A权利要求书1/3页1.一种对准装置，所述对准装置具备：基板支承部件，其对分割大型基板而得到的多个基板中的任一个基板进行支承；边缘检测部件，其对支承于所述基板支承部件的所述基板的边缘进行检测；位置调整部件，其对支承于所述基板支承部件的所述基板的位置进行调整；以及控制部件，其对所述位置调整部件进行控制，其特征在于，所述对准装置具备获取部件，所述获取部件获取支承于所述基板支承部件的基板的与在分割前的所述大型基板中的部位相关的基板信息，所述控制部件基于由所述边缘检测部件检测到的所述基板的边缘的位置信息和由所述获取部件获取的所述基板信息，对所述位置调整部件进行控制。2.根据权利要求1所述的对准装置，其特征在于，在所述基板上形成有对准标记，所述控制部件对所述位置调整部件进行控制，以使所述基板的位置向抑制在分割前的所述大型基板中的部位不同的基板的、基于所述对准标记的所述基板的中心位置的偏差的方向偏置。3.根据权利要求1所述的对准装置，其特征在于，所述对准装置还具备：输送部件，其对由所述位置调整部件调整了位置的基板进行输送；第2基板支承部件，其对由所述输送部件输送的所述基板进行支承；掩膜支承部件，其对掩膜进行支承；对准标记检测部件，其对形成于由所述第2基板支承部件支承的所述基板上的对准标记进行检测；第2位置调整部件，其对支承于所述第2基板支承部件的所述基板与由所述掩膜支承部件支承的所述掩膜的相对位置进行调整；以及第2控制部件，其基于所述对准标记检测部件的检测结果，对所述位置调整部件进行控制。4.根据权利要求1所述的对准装置，其特征在于，所述边缘检测部件检测多个所述边缘，并且检测多个基准标记，所述控制部件根据所述基板信息对由所述边缘检测部件检测到的所述多个基准标记的位置信息进行修正，基于修正后的所述多个基准标记的位置信息和由所述边缘检测部件检测到的多个所述边缘的位置信息，对所述位置调整部件进行控制。5.根据权利要求4所述的对准装置，其特征在于，还具备收容所述基板支承部件的容器，具有所述基准标记的构件相对于所述容器固定。6.根据权利要求4所述的对准装置，其特征在于，所述控制部件以使由所述边缘检测部件检测到的所述多个基准标记的位置信息根据所述基板信息偏置的方式进行修正。7.根据权利要求4所述的对准装置，其特征在于，还具有存储部件，所述存储部件将修正所述基准标记的位置信息的修正信息与所述基2CN113851408A权利要求书2/3页板信息相对应地进行存储。8.根据权利要求1～7中任一项所述的对准装置，其特征在于，所述基板信息包含在识别所述基板的识别信息中。9.根据权利要求1所述的对准装置，其特征在于，所述对准装置作为用于将从外部装置送出的所述基板向不同于所述外部装置的其他外部装置交接的交接室发挥功能。10.一种对准装置，所述对准装置具备：第1对准单元；第2对准单元；以及获取部件，其特征在于，所述第1对准单元具有：第1基板支承部件，其对分割大型基板而得到的多个基板中的任一个基板进行支承；边缘检测部件，其对支承于所述第1基板支承部件的所述基板的边缘进行检测；第1位置调整部件，其对支承于所述第1基板支承部件的所述基板的位置进行调整；以及第1控制部件，其对所述第1位置调整部件进行控制，所述第2对准单元具有：第2基板支承部件，其对所述基板进行支承