一种柔性镀膜设备的真空腔室.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113862632A(43)申请公布日2021.12.31(21)申请号202111123914.3(22)申请日2021.09.24(71)申请人北京北方华创真空技术有限公司地址102600北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号1幢401室(72)发明人苏艳波刘文丽于文宝尤田吴子敬(74)专利代理机构北京维正专利代理有限公司11508代理人张岭(51)Int.Cl.C23C14/56(2006.01)C23C14/35(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图5页(54)发明名称一种柔性镀膜设备的真空腔室(57)摘要本申请涉及一种真空腔室，尤其是涉及一种柔性镀膜设备的真空腔室，其技术方案要点是：一种柔性镀膜设备的真空腔室包括溅镀腔室、主鼓以及阴极组件；溅镀腔室内部设置有隔舱机构，隔舱机构包括前法兰和后法兰，前法兰与后法兰之间设置有隔舱，隔舱设置在主鼓的一侧并沿主鼓的轴线方向延伸；隔舱靠近主鼓的一侧开设有用于连通隔舱与溅镀腔室的溅镀窗口，溅镀窗口沿隔舱的长度方向延伸，且溅镀窗口的两端分别设置有能够隔舱长度方向滑动的遮板，遮板的宽度不小于溅镀窗口的宽度；达到了实现镀膜幅宽的调整，以适用于对不同幅宽规格的柔性薄膜的镀制的目的。CN113862632ACN113862632A权利要求书1/2页1.一种柔性镀膜设备的真空腔室，包括溅镀腔室(1)、主鼓(22)以及阴极组件(8)；其特征在于：溅镀腔室(1)内部设置有隔舱机构(3)，隔舱机构(3)包括前法兰(31)和后法兰(32)，前法兰(31)与后法兰(32)之间设置有隔舱(33)，隔舱(33)设置在主鼓(22)的一侧并沿主鼓(22)的轴线方向延伸；隔舱(33)靠近主鼓(22)的一侧开设有用于连通隔舱(33)与溅镀腔室(1)的溅镀窗口(34)，溅镀窗口(34)沿隔舱(33)的长度方向延伸，且溅镀窗口(34)的两端分别设置有能够隔舱(33)长度方向滑动的遮板(351)，遮板(351)的宽度不小于溅镀窗口(34)的宽度。2.根据权利要求1所述的一种柔性镀膜设备的真空腔室，其特征在于：隔舱(33)的外周面上固定有盖板(353)，溅镀窗口(34)开设在盖板(353)上；遮板(351)上穿设有多个滑动螺钉(355)，滑动螺钉(355)上旋拧有位于遮板(351)背离盖板(353)一侧的定位螺母(356)；盖板(353)上开设有供滑动螺钉(355)沿隔舱(33)长度方向滑动的调节槽(354)，定位螺母(356)用于将遮板(351)压紧在盖板(353)上。3.根据权利要求2所述的一种柔性镀膜设备的真空腔室，其特征在于：隔舱(33)设置有多个并围绕主鼓(22)的轴线分布；相邻隔舱(33)之间设置有挡板(4)，挡板(4)沿隔舱(33)的长度方向延伸并沿主鼓(22)的径向延伸，挡板(4)可拆卸连接于前法兰(31)与后法兰(32)之间。4.根据权利要求3所述的一种柔性镀膜设备的真空腔室，其特征在于：调节槽(354)为阶梯槽，定位螺母(356)的头部下沉至调节槽(354)内部；盖板(353)上可拆卸连接有用于密封调节槽(354)的盖片(357)。5.根据权利要求3或4所述的一种柔性镀膜设备的真空腔室，其特征在于：盖板(353)上设置有两个沿溅镀窗口(34)长度方向延伸的侧沿(358)，两个侧沿(358)分别靠近溅镀窗口(34)的两个长边设置，侧沿(358)向盖板(353)背离隔舱(33)内部的一侧延伸。6.根据权利要求5所述的一种柔性镀膜设备的真空腔室，其特征在于：两个遮板(351)相互靠近的一端设置有位于溅镀窗口(34)内部的折边(359)，折边(359)向遮板(351)背离隔舱(33)内部的方向延伸，且折边(359)沿溅镀窗口(34)的宽度方向延伸；折边(359)背离遮板(351)的一侧形状为与主鼓(22)同轴分布的圆弧，所述圆弧的半径大于主鼓(22)的半径。7.根据权利要求2‑6任一项所述的一种柔性镀膜设备的真空腔室，其特征在于：盖板(353)与遮板(351)之间存在空隙，盖板(353)靠近遮板(351)的一侧设置有多条冷却水道(5)，冷却水道(5)外接有冷却水源。8.根据权利要求1所述的一种柔性镀膜设备的真空腔室，其特征在于：主鼓(22)设置在溅镀腔室(1)的一侧，溅镀腔室(1)背离主鼓(22)的一侧敞开，溅镀腔室(1)的内壁上设置有沿主鼓(22)轴线方向延伸的轨道(11)；前法兰(31)与后法兰(32)之间设置有多个沿主鼓(22)轴线方向延伸的滑轨(36)，滑轨(36)与轨道(11)相适配。9.根据权利要求1所述的一种柔性镀膜设备的真空腔室，其特征在于：隔舱(33)内部设置有气管(6)，气管(6)外接有工艺气体源；隔舱