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本实用新型公开一种磁控溅射镀膜线防跑偏真空腔室,包括真空腔箱体(1),真空腔箱体(1)内设有机架(2),机架(2)上连接一组水平设置的输送辊道(3),其特征在于:所述输送辊道(3)的轴向两边侧分别设有一组沿输送方向设置的矫正辊(4),每组矫正辊(4)均连接在机架(2)上,且矫正辊(4)的轴线竖直设置。本实用新型结构简单,矫正辊的位置误差便于调节消除;玻璃基板在输送时能自行矫正位置,防止玻璃基板发生碰撞,避免了由此带来的经济损失。