柔性产品卷绕式真空镀膜设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108642469A(43)申请公布日2018.10.12(21)申请号201810746774.7(22)申请日2018.07.09(71)申请人布勒莱宝光学设备（北京）有限公司地址101102北京市通州区经济技术开发区康定街11号康盛工业园25栋(72)发明人魏国军(74)专利代理机构北京酷爱智慧知识产权代理有限公司11514代理人刘坦(51)Int.Cl.C23C14/56(2006.01)C23C14/24(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图4页(54)发明名称柔性产品卷绕式真空镀膜设备(57)摘要本发明公开了一种柔性产品卷绕式真空镀膜设备，包括真空镀膜腔，在真空镀膜腔内的底部布置有膜料蒸发系统和能量源，在真空镀膜腔内的顶部安装有卷绕式工装，卷绕式工装包括下端设有敞口的壳体，在壳体内下部安装有两个间隔布置的滚筒，两个滚筒之间的间隔正对壳体的敞口，在两个滚筒上套有第一传动带，在至少一个滚筒上连接有驱动装置，在驱动装置的作用下，第一传动带转动；在第一传动带上套有封闭筒状的待镀膜产品。本发明通过将待镀膜产品呈封闭的筒状套在第一传动带上，使待镀膜产品随第一传动带一起转动，从而显著地提高了镀膜厚度的精确性和镀膜的均匀性，提高了镀膜品质和镀膜效率，具有通用性强、适用范围广、结构简单、生产容易等特点。CN108642469ACN108642469A权利要求书1/1页1.一种柔性产品卷绕式真空镀膜设备，包括真空镀膜腔，其特征在于：在所述真空镀膜腔内的底部布置有膜料蒸发系统和能量源，在所述真空镀膜腔内的顶部安装有卷绕式工装，所述卷绕式工装包括下端设有敞口的壳体，在所述壳体内下部安装有两个间隔布置的滚筒，两个所述滚筒之间的间隔正对壳体的敞口，在两个滚筒上套有第一传动带，在至少一个滚筒上连接有驱动装置，在所述驱动装置的作用下，所述第一传动带转动；在所述第一传动带上套有封闭筒状的待镀膜产品。2.根据权利要求1所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：还包括镀膜厚度检测系统，所述镀膜厚度检测系统包括直接光学监测装置、反射式光学监测装置和多头晶控组件三者中的至少一个。3.根据权利要求2所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：所述镀膜厚度检测系统包括直接光学监测装置、反射式光学监测装置和多头晶控组件。4.根据权利要求1所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：在所述壳体的下端布置有至少一块挡板，所述挡板正对壳体的敞口布置且位于该敞口的下方。5.根据权利要求1所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：在两个所述滚筒之间布置有正对壳体敞口的冷却装置。6.根据权利要求5所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：所述冷却装置包括冷阱管，在所述真空镀膜腔外布置有深冷机，所述深冷机与冷阱管连通。7.根据权利要求6所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：所述深冷机与真空镀膜腔也连通。8.根据权利要求1所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：在所述真空镀膜腔内布置有加热器。9.根据权利要求1所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：其中一个滚筒与驱动装置传动相连，在该滚筒上还安装有第一张紧机构。10.根据权利要求1所述的柔性产品卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：在所述壳体内还安装有第二张紧机构，所述第二张紧机构位于两个滚筒之间间隔的上方，用于对待镀膜产品进行张紧。2CN108642469A说明书1/4页柔性产品卷绕式真空镀膜设备技术领域[0001]本发明属于真空镀膜领域，具体地讲，特别涉及一种柔性产品卷绕式真空镀膜设备。背景技术[0002]目前，常用的镀膜法有真空镀膜和化学镀膜，其中真空镀膜在高真空度的镀膜腔中实现，主要通过加热镀膜材料或用电子流轰击镀膜材料等方式，使镀膜材料融化，然后蒸发并附着在基片上形成镀膜。[0003]在对柔性产品进行镀膜时，现在主要有以下两种方式：一种是采用在线式溅射成膜，可以连续镀膜，生产效率高，但是只能镀单层膜，层膜厚度不够精确，无法实现镀膜精度较高产品的镀膜加工，只能做大批量生产，且在生产时一旦出现镀膜缺陷，在线连续生产会造成很大的浪费；另外一种是采用锅片式单机成膜系统，将基片排布在锅底，虽然层膜厚度精确性得到提高，但是操作难度大、产能低，单件产品的镀膜面积小，并且镀膜升温易造成产品收缩，影响柔性产品的平整度，镀膜品质仍然有待提高。尤其是光学产品对镀膜品质的要求高，往往需要分多层进行镀膜，现有的在线式溅射成膜系统无法满足光学产品的镀膜要求。[0004]因此，本领域技术人员致力于研发新的柔性产品镀膜设备，以兼顾镀膜效率和镀膜品质。发明内容[0005]本发明所要解决的技术问题在于提供一种柔性产品卷绕式真空镀膜设备，用