玻璃板的制造方法和磁盘的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113924276A(43)申请公布日2022.01.11(21)申请号202080042072.6(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限(22)申请日2020.06.29公司11127代理人张志楠王博(30)优先权数据2019-1222432019.06.28JP(51)Int.Cl.C03B33/08(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日C03C3/089(2006.01)2021.12.07C03C17/00(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据B24B1/00(2006.01)PCT/JP2020/0255962020.06.29(87)PCT国际申请的公布数据WO2020/262702JA2020.12.30(71)申请人HOYA株式会社地址日本东京都(72)发明人东修平权利要求书2页说明书16页附图3页(54)发明名称玻璃板的制造方法和磁盘的制造方法(57)摘要在利用激光进行圆盘形状的玻璃板的端面的形状加工时，为了抑制玻璃板的主表面内的应变(延迟值)，使圆盘形状的玻璃板从底座悬浮，在使上述玻璃板悬浮的状态下，一边通过非接触方式加热上述玻璃板，一边对上述玻璃板的端面照射激光，使上述激光相对于上述端面在上述圆盘形状的玻璃板的圆周方向上相对移动，同时将上述端面加工成目标形状。CN113924276ACN113924276A权利要求书1/2页1.一种玻璃板的制造方法，其为包括对圆盘形状的玻璃板的端面进行形状加工的处理的玻璃板的制造方法，其特征在于，包括：使圆盘形状的玻璃板从底座悬浮的步骤；和在使所述玻璃板悬浮的状态下，一边通过非接触方式加热所述玻璃板，一边对所述玻璃板的端面照射激光，使所述激光相对于所述端面在所述圆盘形状的玻璃板的圆周方向上相对移动，同时将所述端面加工成目标形状的步骤。2.一种玻璃板的制造方法，其为包括对圆盘形状的玻璃板的端面进行形状加工的处理的玻璃板的制造方法，其特征在于，包括：按照圆盘形状的玻璃板与底座不接触的方式进行配置的步骤；和一边加热与所述底座不接触的状态的所述玻璃板，一边对所述玻璃板的端面照射激光，使所述激光相对于所述端面在所述圆盘形状的玻璃板的圆周方向上相对移动，同时将所述端面加工成目标形状的步骤。3.如权利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其中，所述玻璃板通过非接触方式被加热，以使主表面的面内的温度差为50℃以下。4.如权利要求1～3中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，在将所述端面加工成目标形状的步骤中，按照在所述端面形成倒角面的方式设定所述激光的照射条件。5.如权利要求4所述的玻璃板的制造方法，其中，按照所述倒角面的沿所述主表面的径向的长度C相对于所述玻璃板的厚度Th之比C/Th为0.1～0.7的方式设定所述条件。6.如权利要求1～5中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，通过所述激光形成的端面的算术平均粗糙度Ra为0.02μm以下。7.如权利要求1～6中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，照射到所述端面的所述激光的光束在所述圆周方向的长度W2相对于所述玻璃板的直径D之比W2/D为0.03～0.2。8.如权利要求1～7中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，照射到所述端面的所述激光的截面强度分布为单模，将所述端面中的照射位置上的所述激光的光束在所述玻璃板的厚度方向的宽度设为W1、其单位为mm，将所述玻璃板的厚度设为Th、其单位为mm，将所述激光的功率密度设为Pd时，W1＞Th，Pd×Th为0.8W/mm～3.5W/mm。9.如权利要求8所述的玻璃板的制造方法，其中，按照通过所述激光的照射形成的所述玻璃板的直径与所述激光照射前的所述玻璃板的直径相比增大的方式来设定所述功率密度Pd。10.如权利要求1～9中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，所述激光沿着所述端面移动的移动速度为0.7mm/秒～140mm/秒。11.如权利要求1～10中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，所述玻璃板的杨氏模量为70GPa以上。12.如权利要求1～11中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，所述玻璃板的线膨胀系数为100×10‑71/K以下。13.如权利要求1～12中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，所述玻璃板的厚度Th为0.7mm以下。14.如权利要求1～13中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，所述玻璃板的制造方法包括对将所述端面加工成目标形状的所述玻璃板的主表面进行磨削或研磨的步骤，2CN113924276A权利要求书2/2页在将所述端面加工成目标形状后且所述主表面的磨削或研磨前，不进行所述端面的研磨，或者即便进行所述端面的研磨，所述端面的研磨导致的加工余量也为5μm以下。15.一种磁盘的制造方法，其