等离子蚀刻机的晶圆偏移矫正装置及方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113964007A(43)申请公布日2022.01.21(21)申请号202010706843.9(22)申请日2020.07.21(71)申请人深圳钛铂数据有限公司地址518052广东省深圳市前海深港合作区南山街道前海青年梦工场4号楼103申请人绿展控股（深圳）有限公司(72)发明人朱玮(74)专利代理机构北京润平知识产权代理有限公司11283代理人肖冰滨王晓晓(51)Int.Cl.H01J37/20(2006.01)H01L21/68(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图2页(54)发明名称等离子蚀刻机的晶圆偏移矫正装置及方法(57)摘要本发明涉及了等离子蚀刻机的领域，公开了一种等离子蚀刻机的晶圆偏移矫正装置及方法，所述装置包括：偏移检测机构，置于等离子刻蚀机的内部，用于在所述等离子刻蚀机对所述晶圆进行刻蚀时，检测所述晶圆在X轴、Y轴和/或Z轴方向上相对于目标位置的各偏移角度；以及偏移矫正机构，连接于承载所述晶圆的固定机构，用于在所述晶圆在X轴、Y轴和/或Z轴方向上的各偏移角度中任意一者大于预设定的角度阈值时，对所述固定机构进行调整，以使得所述晶圆处于目标位置。本发明可以对偏移的晶圆进行矫正，避免了晶圆刻蚀不彻底。CN113964007ACN113964007A权利要求书1/2页1.一种等离子蚀刻机的晶圆偏移矫正装置，其特征在于，所述等离子蚀刻机的晶圆偏移矫正装置包括：偏移检测机构，置于等离子刻蚀机的内部，用于在所述等离子刻蚀机对所述晶圆进行刻蚀时，检测所述晶圆在X轴、Y轴和/或Z轴方向上相对于目标位置的各偏移角度；以及偏移矫正机构，连接于承载所述晶圆的固定机构，用于在所述晶圆在X轴、Y轴和/或Z轴方向上的各偏移角度中任意一者大于预设定的角度阈值时，对所述固定机构进行调整，以使得所述晶圆处于目标位置。2.根据权利要求1所述的等离子蚀刻机的晶圆偏移矫正装置，其特征在于，所述偏移检测机构包括：处理器、转动盘、红外线收发器和驱动机构，其中：所述红外线收发器，朝向所述晶圆；所述转动盘，承载所述红外线收发器并连接于所述驱动机构，用于在所述驱动机构的驱动下，带动所述红外线收发机构在XY平面上围绕所述晶圆做旋转运动或沿Z轴做平移运动；以及所述处理器，电性连接于所述红外线收发器和驱动机构，用于控制所述驱动机构工作以及所述红外线收发器检测所述晶圆的坐标，并根据所述晶圆的坐标确定所述晶圆在X轴、Y轴和/或Z轴方向上相对于目标位置的各偏移角度。3.根据权利要求2所述的等离子蚀刻机的晶圆偏移矫正装置，其特征在于，所述处理器用于控制所述驱动机构工作以及所述红外线收发器检测所述晶圆的坐标包括：所述处理器用于响应于用户的偏移矫正指令，控制所述驱动机构驱动所述转动盘移动至一目标位置，并继续执行下述步骤以获得所述晶圆的坐标：控制所述转动盘在XY平面上转动，且每间隔预设定转动角度控制所述红外线收发器执行一次检测；以及控制所述转动盘沿Z轴做匀速平移运动，且控制所述红外线收发器持续检测直至感应到所述晶圆。4.根据权利要求1所述的等离子蚀刻机的晶圆偏移矫正装置，其特征在于，所述偏移矫正机构包括：控制器、第一驱动组件、第二驱动组件和第三驱动组件，其中：所述第一驱动组件、第二驱动组件和第三驱动组件均电性连接于所述控制器，用于在所述晶圆在X轴、Y轴和/或Z轴方向上的各偏移角度中任意一者大于预设定的角度阈值时，响应于所述控制器的X轴方向、Y轴方向和/或Z轴方向各自的移动信号，驱动所述固定机构和所述晶圆沿各移动信号对应的X轴方向、Y轴方向或Z轴方向移动。5.根据权利要求4所述的等离子蚀刻机的晶圆偏移矫正装置，其特征在于，所述第一驱动组件包括：环形壳体，包覆于所述固定机构外部，以使得所述固定机构能够在所述环形壳体中滑动；以及第一驱动气缸，其伸缩杆贯穿所述壳体并连接于所述固定机构，其外壳固定于所述环形壳体，用于响应于所述控制器的X轴方向的移动信号，驱动所述固定机构和所述晶圆沿X轴方向移动。6.根据权利要求5所述的等离子蚀刻机的晶圆偏移矫正装置，其特征在于，所述第三驱动组件包括：链条、驱动电机以及滑块，其中：所述链条，一端固接于所述壳2CN113964007A权利要求书2/2页体，另一端连接于所述驱动电机的转子；所述驱动电机，其外壳固定于所述滑块上，用于响应于所述控制器的Z轴方向的移动信号，带动所述链条运动使得所述固定机构和所述晶圆沿Z轴方向移动；以及所述第二驱动组件包括：第二驱动气缸和底板，其中：所述底板，固定于所述等离子蚀刻机的内壁，且设置有与所述滑块相适配的滑槽，其中所述滑槽与所述Y轴方向同向；所述第二驱动气缸，其外壳固定于所述底板上，其伸缩杆连接于所述滑块，用于响应于所述控制器的Y轴方