静电致动器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113994585A(43)申请公布日2022.01.28(21)申请号202080044236.9(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限(22)申请日2020.06.17公司11227代理人胡乃锐(30)优先权数据2019-1126692019.06.18JP(51)Int.Cl.H02N1/00(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2021.12.16(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2020/0236592020.06.17(87)PCT国际申请的公布数据WO2020/255977JA2020.12.24(71)申请人STRAWB股份有限公司地址日本神奈川县(72)发明人实吉敬二奥田一雄权利要求书1页说明书4页附图10页按照条约第19条修改的权利要求书1页(54)发明名称静电致动器(57)摘要本发明涉及静电致动器。本发明的目的在于提供即使由带状的电极膜构成也能够产生大的静电力的静电致动器。上述静电致动器(10、20)具备带状的第一电极膜(11)和带状的第二电极膜(12)，由上述第一电极膜(11)形成的多个第一电极(1)和由上述第二电极膜(12)形成的多个第二电极(2)在上述静电致动器(10、20)的一端(13)与另一端(14)之间折叠并层叠，多个上述第一电极(1)包括：一对端部电极(1a)，沿着上述第一电极膜(11)呈带状延伸的方向邻接，并且在层叠时分别位于上述一端(13)和上述另一端(14)；以及中间电极(1b)，在层叠时位于上述端部电极(1a)之间。CN113994585ACN113994585A权利要求书1/1页1.一种静电致动器，是具备带状的第一电极膜和带状的第二电极膜的静电致动器，其特征在于，由所述第一电极膜形成的多个第一电极和由所述第二电极膜形成的多个第二电极在所述静电致动器的一端与另一端之间折叠并层叠，多个所述第一电极包括：一对端部电极，沿着所述第一电极膜呈带状延伸的方向邻接，并且在层叠时分别位于所述一端和所述另一端；以及中间电极，在层叠时位于所述端部电极之间。2.根据权利要求1所述的静电致动器，其特征在于，所述第一电极膜沿着呈带状延伸的方向反复向相同方向弯折，在一对所述端部电极之间形成了所述中间电极。3.根据权利要求2所述的静电致动器，其特征在于，所述第一电极膜形成为沿着呈带状延伸的方向反复向相同方向弯折，使多个所述中间电极重叠。4.根据权利要求1所述的静电致动器，其特征在于，所述中间电极形成为沿着呈带状延伸的方向交替地弯折成山折及谷折，使多个所述第一电极重叠。5.根据权利要求1～4中任一项所述的静电致动器，其特征在于，所述第二电极膜沿着呈带状延伸的方向交替地弯折成山折及谷折，形成了在所述第一电极膜的各个所述第一电极之间经过的多个所述第二电极。6.根据权利要求1～5中任一项所述的静电致动器，其特征在于，所述第一电极膜的末端在所述一端与所述另一端的中间位置被接合于所述第二电极膜。2CN113994585A说明书1/4页静电致动器技术领域[0001]本发明涉及静电致动器。背景技术[0002]以往，公知有将基于在电极间产生的静电引力的产生力用作驱动力的静电致动器(例如，参照专利文献1)。这种静电致动器由于产生力与电极的面积成比例，因此为了获得大的产生力，需要增大电极的面积。[0003]另外，在折叠两条带状的电极膜而构成的静电致动器中，通过使带状的电极膜的电极部增厚并且使铰接部减薄，来实现在施加了电压时收缩的驱动区域中变软，在当施加较大的载荷时伸长的过载区域中变硬的弹簧特性。[0004]专利文献1：日本特开2017‑22926[0005]然而，基于上述现有技术的将两条带状的电极膜折叠而构成的静电致动器由于具有纸弹簧状的构造，因此能够获得长的行程，但难以产生大的静电力。发明内容[0006]本发明的目的在于解决上述现有技术所具有的课题，提供一种即使由带状的电极膜构成也能够产生大的静电力的静电致动器。[0007]本发明提供一种具备带状的第一电极膜和带状的第二电极膜的静电致动器，其特征在于，由上述第一电极膜形成的多个第一电极和由上述第二电极膜形成的多个第二电极在上述静电致动器的一端与另一端之间折叠并层叠，多个上述第一电极包括：一对端部电极，沿着上述第一电极膜呈带状延伸的方向邻接，并且在层叠时分别位于上述一端和上述另一端；以及中间电极，在层叠时位于上述端部电极之间。[0008]在这种情况下，上述第一电极膜也可以沿着呈带状延伸的方向反复向相同方向弯折，在一对上述端部电极之间形成了上述中间电极。上述第一电极膜也可以形成为沿着呈带状延伸的方向反复向相同方向弯折，使多个上述中间电极重叠。上述中间电极也可以形成为沿着呈带状延