层叠型静电致动器.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115885466A(43)申请公布日2023.03.31(21)申请号202180041331.8(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限(22)申请日2021.05.18公司11227专利代理师王秀辉(30)优先权数据2020-1013652020.06.11JP(51)Int.Cl.H02N1/00(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.12.08(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2021/0187982021.05.18(87)PCT国际申请的公布数据WO2021/251073JA2021.12.16(71)申请人STRAWB股份有限公司地址日本神奈川县(72)发明人实吉敬二泉谷辉伊藤诚奥田一雄内富男今井裕一权利要求书3页说明书14页附图10页(54)发明名称伸，则非连接区域，特别是主要第二薄膜的非连层叠型静电致动器接区域弯曲变形而第一薄膜与第二薄膜分离并(57)摘要向层叠方向伸长，若进一步被拉伸，则非连接区本发明以简单的构造实现在特定的驱动范域拉伸变形而变硬。若被施加电压，则通过静电围发挥足够的行程和收缩力，并且若要超过驱动引力在层叠方向上收缩。范围地扩大电极间隔则急剧地变硬的层叠型静电致动器。层叠型静电致动器(1)通过经由第二连接区域连接并层叠多个致动器部(2a、2b、2c)而构成，该致动器部由在一个面以规定图案形成了多个第一连接区域(7a1、7b1、7c1)的第一薄膜(3a1、3b1、3c1)、和经由第一连接区域与第一薄膜连接，并在与第一薄膜相反侧的面形成了同一图案的多个第二连接区域(7a2、7b2、7c2)的第二薄膜(3a2、3b2、3c2)构成。一个致动器部(2a、2b、2c)的第一薄膜以及第二薄膜均在从层叠方向(Z)观察时在相邻的连接区域间形成宽度实质上恒定的非连接区域(15)，第一连接区域与第二连接区域配置为在从层叠方向观察时相互不重叠，连接的两个致动器部(2a、2b；2b、2c)间的图案的轴线在从层叠方向观察时相互以规定角度(θ，除了CN115885466Aθ＝0°之外)交叉。若通过外力被向层叠方向拉CN115885466A权利要求书1/3页1.一种层叠型静电致动器，是层叠了多个致动器部(2a、2b、2c)的层叠型静电致动器(1)，其中，上述致动器部构成为具有：第一薄膜(3a1、3b1、3c1)，在一个面以规定图案形成多个第一连接区域(7a1、7b1、7c1)；以及第二薄膜(3a2、3b2、3c2)，是经由上述第一连接区域而与上述第一薄膜连接的第二薄膜(3a2、3b2、3c2)，在与该第一薄膜相反侧的面形成了与该第一连接区域的上述图案同一图案的多个第二连接区域(7a2、7b2、7c2)，在从层叠方向(Z)观察时，上述第一薄膜以及上述第二薄膜均在相邻的连接区域间形成宽度实质上恒定的非连接区域(15)，上述致动器部的上述第一连接区域与该致动器部的上述第二连接区域配置为在从层叠方向观察时相互不重叠，重叠的两个上述致动器部(2a、2b；2b、2c)经由上述第二连接区域(7b2；7c2)连接，上述连接的两个致动器部(2a、2b；2b、2c)层叠为这两个致动器部间的图案的轴线在从层叠方向观察时相互以规定角度(θ，除了θ＝0°之外)交叉。2.根据权利要求1所述的层叠型静电致动器，其中，在各上述致动器部中，上述第一连接区域的上述图案的轴线相互平行，上述第二连接区域的上述图案的轴线相互平行。3.根据权利要求1或者2所述的层叠型静电致动器，其中，在各上述致动器部中，上述第二连接区域的上述图案的轴线与上述第一连接区域的上述图案的轴线平行。4.根据权利要求1～3中任意一项所述的层叠型静电致动器，其中，上述第一连接区域以及上述第二连接区域的上述图案均形成为实质上具有均匀的宽度的直线状并等间隔地配置。5.根据权利要求1～4中任意一项所述的层叠型静电致动器，其中，在各上述致动器部中，配置为在从层叠方向观察时上述第一连接区域位于两个上述第二连接区域间的非连接区域的中央。6.根据权利要求1～5中任意一项所述的层叠型静电致动器，其中，在从层叠方向观察上述层叠的两个致动器部形成的平面时，层叠的上侧的上述致动器部(2a；2b)的上述第一连接区域(7a1；7b1)的上述图案的轴线与层叠的下侧的上述致动器部(2b；2c)的上述第二连接区域(7b2；7c2)的上述图案的轴线至少在一处位置交叉。7.根据权利要求6所述的层叠型静电致动器，其中，上述第一连接区域以及上述第二连接区域的上述图案均形成为实质上具有均匀的宽度(d)的直线状并等间隔地配置，在将层叠的上侧的上述致动器部的上述第一连接区域或者下侧的上述致动器部的上述第二连接区域中任意一方的连接区域的