致动器及包含致动器的芯片.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112777562A(43)申请公布日2021.05.11(21)申请号202011232144.1(22)申请日2020.11.06(30)优先权数据62/931,9262019.11.07US(71)申请人躍旺创新股份有限公司地址中国台湾新竹市东区中华路一段388号(72)发明人许郁文(74)专利代理机构中国贸促会专利商标事务所有限公司11038代理人曹瑾(51)Int.Cl.B81B7/04(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图6页(54)发明名称致动器及包含致动器的芯片(57)摘要本公开涉及致动器及包含致动器的芯片。本发明提供一种直线致动器。直线致动器包括：具有一空腔的一基板；形成于该基板上的一第一固定电极结构；一弹性悬挂装置；以及通过该弹性悬挂装置连接到该基板的一可动电极结构，其中：该空腔具有一第一面积；该第一固定电极结构与该可动电极结构的至少其中之一在该基板上具有一第二投影面积；以及该第一面积与该第二投影面积互相重叠。直线致动器可以制造出一种出平面直线运动马达，其具有大运动行程、冲击力强、易于去除残留的制程污染物、机电能量转换效率的提高、以及可动梳状结构的离轴运动解耦合。CN112777562ACN112777562A权利要求书1/2页1.一种直线致动器，其特征在于，所述直线致动器包括：基板，具有空腔；第一固定电极结构，形成于所述基板上；以及可动电极结构，通过弹性组件连接到所述基板，其中：所述第一固定电极结构具有第一多个梳指；以及所述可动电极结构具有第二多个梳指，通过所述第一多个梳指与所述第二多个梳指，所述第一固定电极结构与所述可动电极结构形成电容器，且所述第一多个梳指与所述第二多个梳指设置在所述空腔的上方。2.如权利要求1所述的直线致动器，其中所述基板具有电子元件、前表面与后表面，所述空腔从所述前表面延伸到所述后表面，且所述弹性组件是主弹簧。3.如权利要求1所述的直线致动器，所述直线致动器还包括第二固定电极结构，形成于所述基板上，其中所述可动电极结构与所述第二固定电极结构形成至少一位置感测电容器，且所述至少一位置感测电容器设置在所述空腔与所述基板的第二空腔其中之一的上方。4.如权利要求2所述的直线致动器，其中所述主弹簧具有第一端、第一中心点与第二端，且所述第一端与所述第二端固定在所述基板上。5.如权利要求4所述的直线致动器，所述直线致动器还包括与所述第一中心点连接的支点弹簧，以及连接至所述支点弹簧的T柱，其中所述可动电极结构具有与所述第一中心点连接的龙骨，且所述第一端与所述第二端皆由第一锚固定在所述基板上。6.如权利要求5所述的直线致动器，所述直线致动器还包括至少一对限制弹簧及支撑臂，其中所述至少一对限制弹簧中的每一限制弹簧具有第三端及第四端，所述第三端连接至所述龙骨及所述第二多个梳指的最外侧梳指其中之一，且所述第四端经由第二锚固定在所述基板上，以及所述支撑臂连接至所述第一固定电极结构，所述支撑臂具有第五端及第六端，且所述第五端及所述第六端皆经由第三锚固定在所述基板上。7.一种致动器，其特征在于，所述致动器包括：基板，具有空腔；第一固定电极结构，固定在所述基板上；弹性悬挂装置；以及可动电极结构，通过所述弹性悬挂装置连接到所述基板，其中：所述空腔具有第一面积；所述第一固定电极结构与所述可动电极结构的至少其中之一在所述基板上具有第二投影面积；以及所述第一面积与所述第二投影面积互相重叠。8.如权利要求7所述的致动器，其中所述第一固定电极结构与所述可动电极结构形成电容器，所述基板具有电子元件、前表面与后表面，所述空腔从所述前表面延伸到所述后表面，所述弹性悬挂装置是主弹簧，所述主弹簧具有第一端、中心点与第二端，且所述第一端与所述第二端固定在所述基板上。9.如权利要求8所述的致动器，所述致动器还包括第二固定电极结构及支撑臂，其中所述第二固定电极结构形成于所述基板上，所述支撑臂固定在所述基板上且连接至所述第一2CN112777562A权利要求书2/2页固定电极结构，所述可动电极结构与所述第二固定电极结构于所述基板上形成至少一位置感测电容器，且所述至少一位置感测电容器设置在所述空腔与所述基板的第二空腔其中之一的上方。10.一种芯片，其特征在于，所述芯片包括如权利要求1-6中任一权利要求所述的直线致动器或如权利要求7-9中任一权利要求所述的致动器。3CN112777562A说明书1/6页致动器及包含致动器的芯片[0001]【相关申请案的交叉引用】[0002]本申请案主张2019年11月7日申请的美国临时专利申请案第62/931,926号的优先权，其整体经由引用被并入本文。【技术领域】[0003]本发明关于一种直线致动器，特别关于一种微机电系统(M