MicroLED巨量转移芯片定位及飞行观测的系统及观测方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114203589A(43)申请公布日2022.03.18(21)申请号202111342342.8(22)申请日2021.11.12(71)申请人华中科技大学地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号(72)发明人黄永安胡金龙尹周平(74)专利代理机构华中科技大学专利中心42201代理人刘洋洋(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/66(2006.01)H01L27/15(2006.01)H01L33/00(2010.01)权利要求书1页说明书5页附图4页(54)发明名称MicroLED巨量转移芯片定位及飞行观测的系统及观测方法(57)摘要本发明属于微器件组装相关技术领域，其公开了一种MicroLED巨量转移芯片定位及飞行观测的系统及观测方法，系统包括：双目视觉组件，包括第一单目视觉通道和第二单目视觉通道，第一单目视觉通道包括高倍镜头和高分辨率相机；第二单目视觉通道采用低倍镜头和低分辨率相机，双目视觉组件的镜头采集区域为芯片的飞行观测区；激励，用于触发芯片的掉落转移过程；数字延迟脉冲发生器，包括多个通道，每个通道的触发时间和延迟时间单独控制，激励、第一单目视觉单元以及第二单目视觉单元分别与一通道连接，设置不同延迟触发信号实现芯片掉落时态精准捕获。本申请可以实现芯片的精确快速定位以及芯片飞行状态的局部和全局观测。CN114203589ACN114203589A权利要求书1/1页1.一种MicroLED巨量转移芯片定位及飞行观测的系统，其特征在于，所述系统包括：双目视觉组件，包括第一单目视觉通道和第二单目视觉通道，所述第一单目视觉通道包括高倍镜头和高分辨率相机；所述第二单目视觉通道采用低倍镜头和低分辨率相机，定位时，所述双目视觉组件的镜头采集区域为所述目标芯片区域，飞行观测时，所述双目视觉组件的镜头采集区域为所述芯片的飞行观测区；激励，用于触发所述芯片的掉落转移过程；数字延迟脉冲发生器，包括多个通道，每个通道的触发时间和延迟时间单独控制，所述激励、第一单目视觉单元以及第二单目视觉单元分别与一所述通道连接。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括背光光源，所述背光光源与所述数字延迟脉冲发生器的一独立通道连接，以使所述数字延迟脉冲发生器控制所述背光光源的触发时间和延迟时间。3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括显示窗口，所述显示窗口与所述双目视觉组件连接，用于可视化显示所述第一单目视觉单元和第二单目视觉单元采集的图像。4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述双目视觉组件还包括双视连接模组、第一半透半反镜片、第二半透半反镜片以及全反射镜片，所述双视连接模组为中空结构，所述双视连接模组两端密封且其垂直表面设有两个孔洞，即第一孔洞和第二孔洞，其中，第一孔洞贯通所述双视连接模组的下上表面，用于与所述高倍镜头的一端连接；第二孔洞贯通所述双视连接模组的上表面，用于与所述低倍镜的一端连接，所述第一半透半反镜片斜45°设于所述第一孔洞内，所述第二半透半反镜片斜135°设于所述高倍镜头内，所述全反射镜片斜45°设于所述第二孔洞内。5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述高倍镜头的表面设有通光孔，所述通光孔的轴心与所述第二半透半反镜片的受光面中心对齐，所述通光孔用于接收同轴光源的光线。6.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述显示窗口包括第一显示窗口和第二显示窗口分别用于显示所述高分辨率相机和低分辨率相机采集的照片。7.一种权利要求1～6任意一项所述MicroLED巨量转移芯片定位及飞行观测的系统的观测方法，其特征在于，所述方法包括：S1：通过所述第二显示窗口获取目标芯片模糊定位，通过第一显示窗口获取目标芯片精准定位；S2：采用所述数字延迟脉冲发生器触发所述激励匹配所述芯片掉落的响应时间；S3：在触发所述激励后采用所述数字延迟脉冲发生器同步触发所述背光光源和双目视觉组件，以此方式设置多个触发信号获得芯片在不同高度处的飞行状态。2CN114203589A说明书1/5页MicroLED巨量转移芯片定位及飞行观测的系统及观测方法技术领域[0001]本发明属于微器件组装相关技术领域，更具体地，涉及一种MicroLED巨量转移芯片定位及飞行观测的系统及观测方法。背景技术[0002]随着半导体产业的发展，电子元器件集成度越来越高，其特征尺寸也越来越小。在进行操控时，对组装的精度要求也越来越高。这也给微器件组装领域也带来了巨大挑战，其组装步骤主要包括拾取和释放两个步骤。其根据释放过程中微器件与接收基板是否接触，现有的组装方法主要包括接触式和非接触式，无论哪一种方式，在拾取和释放过程中都需要组装装置与微