激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115849048A(43)申请公布日2023.03.28(21)申请号202211590933.1(22)申请日2022.12.12(71)申请人利晶微电子技术（江苏）有限公司地址214000江苏省无锡市梁溪区金山北工业园金山四支路9-2、9-3(72)发明人周佳王子翔蒲计志(74)专利代理机构无锡松禾知识产权代理事务所(普通合伙)32316专利代理师杨欠欠(51)Int.Cl.B65G69/24(2006.01)B65G47/74(2006.01)H01L33/00(2010.01)权利要求书2页说明书4页附图3页(54)发明名称激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台(57)摘要本发明公开了一种激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台，包括水平的板状运动台和XYZ三方向驱动单元，XYZ三方向驱动单元包括同步带，同步带内包括三个同步带轮，三个同步带轮将同步带张紧成等腰顶点朝下的等腰三角形；同步带上端的一段为水平段带体，板状运动台水平于所述水平段带体上侧，且水平段带体的上侧中部至少存在一个节点与所述板状运动台底面固定；本发明将板状运动台的XYZ三方向的位置微调结构高度集成化，实现空间节约的目的。CN115849048ACN115849048A权利要求书1/2页1.激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台，其特征在于：包括水平的板状运动台(21)和XYZ三方向驱动单元(100)，所述XYZ三方向驱动单元(100)包括同步带(19)，所述同步带(19)内包括三个同步带轮(1)，三所述同步带轮(1)将同步带(19)张紧成等腰顶点朝下的等腰三角形；同步带(19)上端的一段为水平段带体(19.1)，板状运动台(21)水平于所述水平段带体(19.1)上侧，且所述水平段带体(19.1)的上侧中部至少存在一个节点(20)与所述板状运动台(21)底面固定。2.根据权利要求1所述的激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台，其特征在于：三所述同步带轮(1)分别为第一同步带轮(1.1)、第二同步带轮(1.2)和第三同步带轮(1.3)；第三同步带轮(1.3)在第一同步带轮(1.1)与第二同步带轮(1.2)之间的下方；板状运动台(21)横跨在在第一同步带轮(1.1)与第二同步带轮(1.2)上，第一同步带轮(1.1)与第二同步带轮(1.2)向上刚性支撑水平的所述板状运动台(21)。3.根据权利要求2所述的激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台，其特征在于：第一同步带轮(1.1)、第二同步带轮(1.2)和第三同步带轮(1.3)中的任意一个的主动转动，使同步带(19)的水平段带体(19.1)带动水平段带体(19.1)做X方向运动；第三同步带轮(1.3)在X和Z方向均锁定，且同步带(19)在三个同步带轮(1)的约束下始终绷紧成等腰三角形，所述第一同步带轮(1.1)和第二同步带轮(1.2)在X方向上做等速的相互远离或相互靠近使水平段带体(19.1)和板状运动台(21)在姿态保持不变的情况下做Z方向运动；第一同步带轮(1.1)、第二同步带轮(1.2)和第三同步带轮(1.3)轴心处均沿Y方向活动穿过有一根导向轴；第一同步带轮(1.1)、第二同步带轮(1.2)和第三同步带轮(1.3)同步沿导向轴方向的滑移，使同步带(19)以及板状运动台(21)做Y方向运动。4.根据权利要求3所述的激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台，其特征在于：沿Y方向分别同轴心活动穿过第一同步带轮(1.1)和第二同步带轮(1.2)的所述导向轴均为截面为圆形的圆轴(8)，两所述圆轴(8)分别与所述第一同步带轮(1.1)和第二同步带轮(1.2)内同轴心的滑动穿过孔(9)内壁同轴心滑动配合；沿Y方向同轴心活动穿过第三同步带轮(1.3)的所述导向轴均为截面为六边形的六角轴(16)，所述六角轴(16)与所述第三同步带轮(1.3)内同轴心的内六角滑孔(9)内壁滑动配合；还包括固定设置的a驱动伺服电机(17)，所述a驱动伺服电机(17)驱动连接所述六角轴(16)。5.根据权利要求4所述的激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台，其特征在于：还包括沿X方向丝杆传动杆(25)，丝杆传动杆(25)随升降梁(31)同步升降，b伺服电机(24)驱动连接所述丝杆传动杆(25)；丝杆传动杆(25)包括第一外螺纹段(26)和第二外螺纹段(27)，第一外螺纹段(26)和第二外螺纹段(27)的螺纹旋向相反；第一外螺纹段(26)和第二外螺纹段(27)外分别传动配合有两丝杆螺母(6)，两所述丝杆螺母(6)分别固定连接两所述圆轴(8)一端，所述丝杆传动杆(25)的旋转使两丝杆螺母(6)做相互靠近或相互远离的运动。