成膜方法、成膜装置和程序.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114231920A(43)申请公布日2022.03.25(21)申请号202111029054.7(22)申请日2021.09.01(30)优先权数据2020-1515312020.09.09JP(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本东京都(72)发明人平田俊治(74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司11322代理人龙淳王昊(51)Int.Cl.C23C14/35(2006.01)C23C14/54(2006.01)H01L21/02(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图11页(54)发明名称成膜方法、成膜装置和程序(57)摘要本发明提供一种在具有能够配备多个靶材的阴极单元的成膜装置中执行的成膜方法，其为提高能够配备多个靶材的成膜装置的工作效率的技术，该成膜方法包括：在安装在阴极单元的同一材料的第一靶材和第二靶材之中，按照第一靶材的方案，使用第一靶材进行成膜处理的步骤；在管理第一靶材的寿命的值达到了预先设定的阈值后，从用户接收成膜处理中使用的第二靶材的选择的步骤；和按照将第一靶材的方案的靶材关联控制项目的设定转换为选择的第二靶材的方案，使用选择的第二靶材进行成膜处理的步骤，由此来解决课题。CN114231920ACN114231920A权利要求书1/2页1.一种在具有能够配备多个靶材的阴极单元的成膜装置中执行的成膜方法，其特征在于，包括：在安装于所述阴极单元的同一材料的第一靶材和第二靶材之中，按照所述第一靶材的方案，使用所述第一靶材进行成膜处理的步骤；在管理所述第一靶材的寿命的值达到了预先设定的阈值后，从用户接收所述成膜处理中使用的所述第二靶材的选择的步骤；和按照将所述第一靶材的方案的靶材关联控制项目的设定转换为所选择的所述第二靶材的方案，使用选择的所述第二靶材进行所述成膜处理的步骤。2.如权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，还包括：在管理由所述用户选择的所述第二靶材的寿命的值达到了所述阈值后，根据管理所述寿命的值不到所述阈值的所述第二靶材从用户接收在所述成膜处理中使用的另外的所述第二靶材的选择的步骤；和按照将所述第一靶材的方案的靶材关联控制项目的设定转换为所选择的另外的所述第二靶材的方案，使用选择的所述第二靶材进行所述成膜处理的步骤。3.如权利要求2所述的成膜方法，其特征在于，还包括：在安装于所述阴极单元的所述第一靶材和所述第二靶材被更换时，将管理所述第一靶材的寿命的值和管理所述第二靶材的寿命的值初始化的步骤。4.如权利要求1至3中任一项所述的成膜方法，其特征在于：所述转换的方案包括处理方案、维护方案和容许方案。5.一种成膜装置，其特征在于，包括：处理容器、基片保持部、阴极单元、气体导入机构和控制部，所述控制部包括：管理安装于所述阴极单元的同一材料的第一靶材和第二靶材的寿命的靶材寿命管理机构；根据所述第一靶材和所述第二靶材从用户接收在成膜处理中使用的一个靶材的选择的操作接收机构；和在作为所述一个靶材而接收了所述第一靶材的选择的情况下，按照所述第一靶材的方案使用所述第一靶材进行所述成膜处理，在作为所述一个靶材而接收了所述第二靶材的选择的情况下，按照将所述第一靶材的方案的靶材关联控制项目的设定转换为被选择的所述第二靶材的方案，使用被选择的所述第二靶材进行所述成膜处理的成膜处理控制机构，所述操作接收机构在管理所述成膜处理中使用的所述第一靶材或者所述第二靶材的寿命的值达到了预先设定的阈值后，从用户接收更换在所述成膜处理中使用的所述一个靶材的选择。6.如权利要求5所述的成膜装置，其特征在于，还具有：显示控制机构，其在画面显示管理所述第一靶材的寿命的值、管理所述第二靶材的寿命的值、从用户接收在所述成膜处理中使用的所述一个靶材的选择的显示部件。7.如权利要求6所述的成膜装置，其特征在于：所述操作接收机构从所述用户接收更换为管理所述寿命的值不到所述阈值的所述第二靶材的选择，不从所述用户接收更换为管理所述寿命的值在所述阈值以上的所述第二靶材的选择。2CN114231920A权利要求书2/2页8.如权利要求5至7中任一项所述的成膜装置，其特征在于：所述靶材寿命管理机构通过安装在所述阴极单元的所述第一靶材和所述第二靶材的更换，将管理所述第一靶材的寿命的值和管理所述第二靶材的寿命的值初始化。9.如权利要求5至8中任一项所述的成膜装置，其特征在于：所述转换的方案包括处理方案、维护方案和容许方案。10.一种程序，其特征在于：使具有能够配备多个靶材的阴极单元的成膜装置执行如下步骤：在安装于所述阴极单元的同一材料的第一靶材和第二靶材之中，按照所述第一靶材的方案，使用所述第一靶材进行成膜处理的步骤；在管理所述第一靶材的寿命的值达到了预先设定的阈值后，从用户接