一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114227481A(43)申请公布日2022.03.25(21)申请号202111528465.0H01L21/67(2006.01)(22)申请日2021.12.14(71)申请人湖南艾凯瑞斯智能科技有限公司地址410000湖南省长沙市高新开发区谷苑路186号湖南大学科技园创业大厦301A06室(72)发明人龚胜胡天徐志强陈逢军(74)专利代理机构长沙中科启明知识产权代理事务所(普通合伙)43226代理人谭勇(51)Int.Cl.B24B27/00(2006.01)B24B41/00(2006.01)B24B41/06(2012.01)B24B47/22(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机(57)摘要本发明涉及砂轮划片机技术领域，且公开了一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，包括机架，所述机架的顶部固定连接有床身，所述床身的顶部固定连接有盖板。该多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，通过多工位结构和多工位同步给料结构的设置，通过将晶圆本体放进放料筒的内部，使晶圆本体的底部活动连接在滑动槽二的内部，启动电动气缸，电动气缸的输出端带动着滑动板在滑动槽一的内部滑动，当滑动板向后端移动的同时，也带动着活动块也跟随着移动，活动块移动的时候推动着晶圆本体向后侧移动，使晶圆本体通过两个送料孔和通孔一、矩形孔一、矩形孔二掉进放置板的顶部，这样实现了多工位同步给料的作用，同时达到了提高加工效率的目的。CN114227481ACN114227481A权利要求书1/2页1.一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)的顶部固定连接有床身(2)，所述床身(2)的顶部固定连接有盖板(3)，所述盖板(3)的底部设置有划片结构(4)，所述床身(2)的左侧开设有凹槽(5)，所述机架(1)的顶部设置有多工位结构(6)，所述机架(1)的顶部设置有稳定结构(7)，所述机架(1)的顶部靠近盖板(3)的底部设置有多工位同步给料结构(8)，所述床身(2)的右侧固定连接有固定柱(9)，所述固定柱(9)的右端固定连接有放料筒(10)，所述放料筒(10)的内部活动连接有晶圆本体(11)；所述划片结构(4)包括电动液压缸(41)，所述电动液压缸(41)的底部固定连接在盖板(3)的顶部，所述电动液压缸(41)的内部活动连接有液压杆(42)，所述液压杆(42)的底部固定连接有连接板(43)，所述连接板(43)的底部固定连接有U形块(44)，所述U形块(44)的前侧外壁固定连接有旋转电机(45)，所述旋转电机(45)输出端的后端外壁转动连接在U形块(44)的内部，所述旋转电机(45)的输出端外壁螺纹连接有螺纹块(46)，所述螺纹块(46)的底部前侧外壁固定连接有转动电机(47)，所述转动电机(47)输出端的后端外壁转动连接在螺纹块(46)的内部，所述螺纹块(46)的外壁固定连接有磨砂轮(48)。2.根据权利要求1所述的一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，其特征在于：所述多工位结构(6)包括电机一(61)，所述电机一(61)的底部镶嵌在机架(1)的顶端内部，所述电机一(61)的内部固定连接有转动轴一(62)，所述转动轴一(62)的顶部固定连接有齿轮(63)，所述齿轮(63)的顶部固定连接有放置板(64)，所述放置板(64)的一侧设置有固定结构(65)。3.根据权利要求2所述的一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，其特征在于：所述固定结构(65)包括电动伸缩缸(651)，所述电动伸缩缸(651)的底部固定连接在齿轮(63)的顶部，所述电动伸缩缸(651)的内部活动连接有伸缩杆(652)，所述伸缩杆(652)的右端固定连接有推动板(653)，所述推动板(653)的右侧固定连接有推动杆(654)，所述推动杆(654)的右端固定连接有固定块(655)。4.根据权利要求3所述的一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，其特征在于：所述稳定结构(7)包括电机二(71)，所述电机二(71)的底部固定连接在机架(1)的顶部，所述电机二(71)的内部固定连接有转动轴二(72)，所述转动轴二(72)的顶端外壁固定连接有固定环(73)，所述固定环(73)的左侧外壁固定连接有卡接块(74)。5.根据权利要求4所述的一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，其特征在于：所述多工位同步给料结构(8)包括支撑杆(81)，所述支撑杆(81)的左端固定连接在床身(2)的右侧，所述支撑杆(81)的右端固定连接有支撑架(82)，所述支撑架(82)的底部右端固定连接有固定板(83)，所述固定板(83)的内部开设有通孔一(8