一种划片机上料夹持机构、划片机上料机及划片机.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115818237A(43)申请公布日2023.03.21(21)申请号202211442394.7(22)申请日2022.11.18(71)申请人苏州特斯特半导体设备有限公司地址215100江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区岸芷街39号内4号楼北数第1-7档(72)发明人廖招军李旺军张智广吴鹏飞徐伟(51)Int.Cl.B65G47/91(2006.01)B65G43/08(2006.01)B28D7/04(2006.01)B28D5/00(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称一种划片机上料夹持机构、划片机上料机及划片机(57)摘要本申请公开了一种划片机上料夹持机构、划片机上料机及划片机，包括：用于提供水平夹持驱动力的第一驱动件，所述第一驱动件的一侧设置有感应料片的第一感应开关；用于提供旋转驱动力的第二驱动件，所述第二驱动件的输出轴上安装有与所述第一驱动件连接的支撑组件，所述支撑组件受所述第二驱动件所提供的旋转驱动力带动所述第一驱动件翻转；以及，用于检测所述支撑组件正向或反向旋转的检测组件。本申请中的第一驱动件不仅可用于在料匣中夹持料片，而且能够在第一感应开关的作用下防止第一驱动件夹空，并且能够在第二驱动件的作用下进行翻转，以防止真空吸盘抓取料片时第一驱动件与料匣或对中机构进行碰撞，以保护第一驱动件。CN115818237ACN115818237A权利要求书1/1页1.一种划片机上料夹持机构，其特征在于，包括：用于提供水平夹持驱动力的第一驱动件（1），所述第一驱动件（1）的一侧设置有感应料片的第一感应开关（4）；用于提供旋转驱动力的第二驱动件（2），所述第二驱动件（2）的输出轴上安装有与所述第一驱动件（1）连接的支撑组件（3），所述支撑组件（3）受所述第二驱动件（2）所提供的旋转驱动力带动所述第一驱动件（1）翻转；以及，用于检测所述支撑组件（3）正向或反向旋转的检测组件（5）。2.根据权利要求1所述的一种划片机上料夹持机构，其特征在于，所述第一驱动件（1）采用手指气缸，所述手指气缸上安装有与夹爪连接的夹块（101）。3.根据权利要求1所述的一种划片机上料夹持机构，其特征在于，所述第二驱动件（2）采用旋转摆动气缸，所述旋转摆动气缸的一侧设置有与上料机连接的固定块（201）。4.根据权利要求1所述的一种划片机上料夹持机构，其特征在于，所述支撑组件（3）包括横向连接于所述第二驱动件（2）两侧输出轴上的第一支撑块（301）以及竖直连接于所述第一支撑块（301）的第二支撑块（302），所述第二支撑块（302）远离所述第一支撑块（301）的一侧与所述第一驱动件连接。5.根据权利要求4所述的一种划片机上料夹持机构，其特征在于，所述检测组件（5）包括设于所述第一支撑块（301）上的感应件（501）以及用于检测所述感应件（501）正向或反向旋转的第二感应开关（502）和第三感应开关（503），所述感应件（501）受所述第一支撑块（301）进行旋转与所述第二感应开关（502）或所述第三感应开关（503）连接，以实现对所述支撑组件（3）正向或反向旋转检测。6.根据权利要求5所述的一种划片机上料夹持机构，其特征在于，所述第一感应开关（4）、所述第二感应开关（502）和所述第二感应开关（503）包括微动开关或光电开关。7.一种划片机上料机，其特征在于，包括上料机（6）以及如权利要求1‑6任一所述的上料夹持机构（7）。8.根据权利要求7所述的一种划片机上料机，其特征在于，所述上料机（6）包括：用于提供水平移动驱动力的直线模组（601）；设于所述直线模组（601）、并用于提供竖直移动驱动力的滚珠丝杆直线模组（602）；以及，设于所述滚珠丝杆直线模组（602）底部、并用于真空吸附料片的吸盘组件（603），所述吸盘组件（603）的一侧设置有上料夹持机构（7）。9.根据权利要求8所述的一种划片机上料机，其特征在于，所述吸盘组件（603）包括：水平设置的真空吸盘（6031）；以及，设于所述真空吸盘（6031）顶部、并与所述滚珠丝杆直线模组（602）连接的底座（6032），所述底座（6032）的一侧与所述上料夹持机构（7）连接。10.一种划片机，其特征在于，包括划片机以及如权利要求7‑9任一所述的划片机上料机（6）。2CN115818237A说明书1/5页一种划片机上料夹持机构、划片机上料机及划片机技术领域[0001]本申请涉及划片机领域，具体为一种划片机上料夹持机构、划片机上料机及划片机。背景技术[0002]划片机也叫晶圆切割机，主要用于半导体晶圆、集成电路、QFN、发光二极管、LED芯片、太阳能电池、电子基片等的划切，适用于包括硅、石英、氧化铝、