一种晶粒转移机构.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115241107A(43)申请公布日2022.10.25(21)申请号202211133882.X(22)申请日2022.09.19(71)申请人深圳市优界科技有限公司地址518000广东省深圳市龙华区观澜街道凌屋工业路9号(72)发明人郑灿升王勇(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L21/683(2006.01)H01L21/687(2006.01)H01L33/00(2010.01)权利要求书2页说明书5页附图6页(54)发明名称一种晶粒转移机构(57)摘要本发明公开了一种晶粒转移机构，包括竖直设置的吸附腔体，吸附腔体的底部为开放面，该开放面处可拆卸地连接有探针帽，吸附腔体与真空发生装置连接；吸附腔体内竖直设有探针，探针在吸附腔体内上下升降运动，并穿过上述载板承载机构及探针帽向下顶刺载板承载机构内蓝膜载板上的晶粒；探针帽的底部围绕探针穿出部位通过真空负压力向上吸附蓝膜载板上的蓝膜。本发明采用锥形下探部与探孔相配合，利用探孔内径大于锥形下探部外径，且小于探针外径设计，并在探针周围布设辅助吸孔，通过探帽接触蓝膜后利用辅助吸孔形成的真空负压向上吸住蓝膜晶，防止下探部位周围蓝膜形变情况，有效保证晶粒位置稳定性避免掉落。CN115241107ACN115241107A权利要求书1/2页1.一种晶粒转移机构，其特征在于：沿竖直方向设置于载板承载机构上方，并插入载板承载机构内，在载板承载机构内沿竖直方向升降运动，载板承载机构下方对应设有转移平台，载板承载机构用于水平承载待转移晶粒的蓝膜载板，转移平台上装置有空玻璃载板；晶粒转移机构包括竖直设置的吸附腔体，吸附腔体的底部为开放面，该开放面处可拆卸地连接有探针帽（638），吸附腔体与真空发生装置连接；上述吸附腔体内竖直设有探针（6311），探针（6311）在吸附腔体内上下升降运动，并穿过上述载板承载机构及探针帽（638）向下顶刺载板承载机构内蓝膜载板上的晶粒，使晶粒转移至转移平台上的玻璃载板上；上述探针帽（638）的底部围绕探针（6311）穿出部位通过真空负压力向上吸附蓝膜载板上的蓝膜。2.根据权利要求1所述的一种晶粒转移机构，其特征在于：包括转移支板（631）、转移升降电机（632）及晶粒转移组件，其中，上述转移支板（631）竖直设置；上述转移升降电机（632）设置在转移支板（631）上，且输出端朝下设置；上述晶粒转移组件沿竖直方向可滑动地连接在转移支板（631）上，并与转移升降电机（632）的输出端连接。3.根据权利要求2所述的一种晶粒转移机构，其特征在于：所述晶粒转移组件包括转移支座（633）、驱动部件、吸附部件、探针（6311）及探针帽（638），其中，上述转移支座（633）沿竖直方向可滑动地设置在转移支板（631）上，并通过丝杆帽及丝杆与转移升降电机（632）的输出端连接，转移升降电机（632）通过驱动丝杆旋转带动丝杆帽升降运动，丝杆帽带动转移支座（633）升降运动；上述驱动部件设置于转移支座（633）上，并输出向下的动力；上述吸附部件设置在驱动部件下方，吸附部件内设有吸附腔体，吸附腔体与外部真空发送装置连接，驱动部件的输出端穿入吸附腔体向下延伸。4.根据权利要求3所述的一种晶粒转移机构，其特征在于：所述探针（6311）连接在驱动部件输出端下部，探针下部设有锥形下探部（6313）。5.根据权利要求4所述的一种晶粒转移机构，其特征在于：所述探针帽（638）为上部开放的帽体结构，探针帽（638）可拆卸地连接在吸附腔体的下部，封合吸附腔体的底部开放面；上述探针帽（638）的底面为吸附平面（6314），吸附平面（6314）的中部设有上下贯通的探孔（6315），探孔（6315）内径不大于探针（6311）外径，探针（6311）的锥形下探部（6313）向下穿过探孔（6315）将晶粒下顶转移。6.根据权利要求5所述的一种晶粒转移机构，其特征在于：所述探孔（6315）的周沿开设有至少两个辅助吸孔（6316），辅助吸孔（6316）在探孔（6315）周沿部位产生负压吸附平面，以便吸附下探晶粒周围的晶粒载体。7.根据权利要求3所述的一种晶粒转移机构，其特征在于：所述驱动部件包括驱动电机（634）及驱动轴（635），其中，上述驱动电机（634）竖直设置在转移支座（633）的侧壁上，且输出端朝下设置；上述驱动轴（635）竖直连接于驱动电机（634）的输出端上，并向下延伸。8.根据权利要求7所述的一种晶粒转移机构，其特征在于：所述吸附部件包括连接座（636）及吸附座（637），其中，上述连接座（636）设置于驱动电机（634）下方，并固定在转移支座（633）的侧壁上，连接座（636）内设有沿竖直方向上下贯通的插孔，插