一种顶刺式晶粒转移装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115424966A(43)申请公布日2022.12.02(21)申请号202211133872.6(22)申请日2022.09.19(71)申请人深圳市优界科技有限公司地址518000广东省深圳市龙华区观澜街道凌屋工业路9号(72)发明人卢国强郑灿升王勇(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L21/683(2006.01)H01L21/687(2006.01)H01L33/00(2010.01)权利要求书3页说明书9页附图11页(54)发明名称一种顶刺式晶粒转移装置(57)摘要本发明公开了一种顶刺式晶粒转移装置，包括载板承载机构及晶粒转移机构，载板承载机构及晶粒转移机构包括至少两组；载板承载机构及转移平台在水平面内沿纵向及横向方向直线运动；载板承载机构内水平设有承载空间，承载空间的一侧为开放面；晶粒转移机构对应设置于载板承载机构上方；晶粒转移机构包括竖直设置的吸附腔体，吸附腔体的底部为开放面，该开放面处可拆卸地连接有探针帽；吸附腔体内竖直设有探针。本发明实现晶粒转移前载板位置或角度调整，保证载板位置稳定性，实现柔性接触，有效减少载板损坏，通过探孔实现探针下探极限位置限定，通过探帽接触蓝膜后利用辅助吸孔形成的真空负压向上吸住蓝膜晶，防止下探部位周围蓝膜形变。CN115424966ACN115424966A权利要求书1/3页1.一种顶刺式晶粒转移装置，其特征在于：包括载板承载机构（62）及晶粒转移机构（63），载板承载机构（62）及晶粒转移机构（63）包括至少两组，其中，上述载板承载机构（62）水平设置，并对应设置于转移平台上方；所述转移平台上装载有空玻璃载板；上述载板承载机构（62）及转移平台在水平面内沿纵向及横向方向直线运动；上述载板承载机构（62）内水平设有承载空间（G），承载空间（G）的一侧为开放面，以便装载有晶粒的蓝膜载板滑入；上述载板承载机构（62）上沿竖直方向开设有通孔（F），所述通孔（F）上下贯通承载空间（G）；上述晶粒转移机构（63）对应设置于载板承载机构（62）上方；上述晶粒转移机构（63）包括竖直设置的吸附腔体，吸附腔体的底部为开放面，该开放面处可拆卸地连接有探针帽（638），吸附腔体与真空发生装置连接；上述吸附腔体内竖直设有探针（6311），探针（6311）在吸附腔体内上下升降运动，并穿过上述通孔（F）及探针帽（638）向下顶刺承载空间（G）内蓝膜载板上的晶粒，使晶粒转移至转移平台上的玻璃载板上；上述探针帽（638）的底部围绕探针（6311）穿出部位通过真空负压力向上吸附蓝膜载板上的蓝膜。2.根据权利要求1所述的一种顶刺式晶粒转移装置，其特征在于：所述载板承载机构（62）包括承载滑轨（621）、纵向驱动组件、横向驱动组件及承载组件（622），其中，上述承载滑轨（621）水平设置；上述横向驱动组件包括至少两组，至少两组横向驱动组件可滑动地连接于承载滑轨上；上述纵向驱动组件的输出端与横向驱动组件连接，以便驱动横向驱动组件纵向直线运动；上述承载组件（622）包括至少两组，至少两组承载组件（622）沿横向方向可滑动地连接在横向驱动组件上，经横向驱动组件驱动而横向直线运动，并与转移平台上下对应设置；上述承载组件（622）内设有承载空间（G），承载空间（G）水平设置，位于转移平台上方，且靠近出料空间的一侧为开放槽口，装载有晶粒的载板经该开放槽口滑入承载空间（G）。3.根据权利要求2所述的一种顶刺式晶粒转移装置，其特征在于：所述承载组件（622）包括承载支撑部件、承载旋转部件、承载支板（629）及承载部件，其中，上述承载支撑部件可滑动地连接于横向直线模组的输出端上；上述承载旋转部件设置于承载支撑部件下部，并在水平面内可旋转；上述承载支板（629）水平设置在承载旋转部件下部，经承载旋转部件驱动而旋转运动；上述承载部件连接在承载支板（629）下部，并与承载支板（629）沿竖直方向柔性连接，承载空间（G）设置于承载部件内。4.根据权利要求3所述的一种顶刺式晶粒转移装置，其特征在于：所述承载支撑部件包括承载支座（623）及承载旋转座（624），其中，上述承载支座（623）连接于横向直线模组的输出端上，承载支座（623）的中部开设有通孔（F），通孔（F）上下贯通承载支座（623），通孔（F）的上部设有向下凹陷的环状台阶面；上述承载旋转座（624）为圆筒状结构，承载旋转座（624）插设在通孔（F）内，承载旋转座（624）的顶部设有水平向外延伸的支撑环面，支撑环面的外径不大于上述环状台阶面的内径，支撑环面放置于环状台阶面上，经环状台阶面支撑；上述承载旋转座（624）延伸至承载支座（623）下方的外壁上设有同步齿（628）。2CN1154249