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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108447828A(43)申请公布日2018.08.24(21)申请号201710083448.8(22)申请日2017.02.16(71)申请人欣兴电子股份有限公司地址中国台湾桃园市龟山区龟山工业区兴邦路38号(72)发明人李建财柯正达(74)专利代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司11205代理人马雯雯臧建明(51)Int.Cl.H01L23/31(2006.01)H01L23/498(2006.01)H01L21/56(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图4页(54)发明名称封装结构与基板接合方法(57)摘要本发明提供一种封装结构与基板接合方法,其中的封装结构包括第一基板、第一载体以及多个铜柱结构。第一基板具有多个阶梯状盲孔,各个阶梯状盲孔包括第一开孔、第二开孔与水平阶梯面,第二开孔的孔径大于第一开孔的孔径,水平阶梯面位于第一开孔与第二开孔的交接处。第一载体则具有多个接垫设置于其表面。各个铜柱结构具有相对的第一端与第二端,其中第一端与接垫电性接触,第二端与上述第一开孔相接,且各个铜柱结构填满各个阶梯状盲孔。CN108447828ACN108447828A权利要求书1/2页1.一种封装结构,其特征在于,包括:第一基板,具有多个阶梯状盲孔,所述多个阶梯状盲孔中的每一个包括第一开孔、第二开孔与水平阶梯面,所述第二开孔的孔径大于所述第一开孔的孔径,所述水平阶梯面位于所述第一开孔与所述第二开孔的交接处;第一载体,具有多个接垫设置于所述第一载体的表面;以及多个铜柱结构,所述多个铜柱结构中的每一个具有相对的第一端与第二端,其中所述第一端与所述接垫电性接触,所述第二端与所述第一开孔相接,且所述多个铜柱结构中的每一个填满所述多个阶梯状盲孔中的每一个。2.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述多个铜柱结构中的每一个的高度大于或等于所述多个阶梯状盲孔中的每一个的深度。3.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述第一开孔的壁面为垂直面。4.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述第一开孔的壁面为倾斜面,且所述第一开孔与所述水平阶梯面交接处的孔径大于所述第一开孔远离所述水平阶梯面的孔径。5.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述第一载体包括线路板、载板、封装体或电子元件。6.根据权利要求1所述的封装结构,其特征在于,还包括铜界面层,介于所述多个铜柱结构中的每一个与所述多个阶梯状盲孔中的每一个之间。7.一种基板接合方法,其特征在于,包括:在第一基板中形成多个阶梯状盲孔,所述多个阶梯状盲孔中的每一个包括第一开孔与第二开孔,所述第二开孔的孔径大于所述第一开孔的孔径;在第一载体的表面的多个接垫上形成多个铜柱结构,所述多个铜柱结构中的每一个的直径大于所述第一开孔的孔径且小于所述第二开孔的孔径;蚀刻所述多个铜柱结构,以使所述多个铜柱结构中的每一个的顶面成为圆顶;以及压合所述多个铜柱结构至所述多个阶梯状盲孔,以使所述多个铜柱结构中的每一个填满所述多个阶梯状盲孔中的每一个。8.根据权利要求7所述的基板接合方法,其特征在于,压合所述多个铜柱结构至所述多个阶梯状盲孔的温度介于60℃与160℃之间。9.根据权利要求7所述的基板接合方法,其特征在于,压合所述多个铜柱结构至所述多个阶梯状盲孔的压力为常压。10.根据权利要求7所述的基板接合方法,其特征在于,在所述第一基板中形成所述多个阶梯状盲孔的步骤包括:在承载板上依序形成第一介电层与第二介电层;于所述第二介电层中形成所述多个第二开孔并露出部分所述第一介电层;以及于露出的所述第一介电层中形成所述多个第一开孔。11.根据权利要求10所述的基板接合方法,其特征在于,形成所述多个第二开孔的方法包括光刻蚀刻处理。12.根据权利要求10所述的基板接合方法,其特征在于,形成所述多个第一开孔的方法包括光刻蚀刻处理或激光处理。2CN108447828A权利要求书2/2页13.根据权利要求7所述的基板接合方法,其特征在于,在所述第一基板中形成所述多个阶梯状盲孔的步骤包括:在承载板上依序形成第一光可成像介电层与第二光可成像介电层;图案化所述第二光可成像介电层,以形成所述多个第二开孔并露出部分所述第一光可成像介电层;以及图案化所述第一光可成像介电层,以形成所述多个第一开孔。14.根据权利要求7所述的基板接合方法,其特征在于,形成所述多个阶梯状盲孔之后还包括在所述多个阶梯状盲孔的内面形成铜界面层。15.根据权利要求7所述的基板接合方法,其特征在于,形成所述多个铜柱结构的步骤包括:在各所述接垫上形成晶种层;在所述第一载体的所述表面形成覆盖所述晶种层的保护层;在所述保护层中形成露出所述晶种层的开口;以及自所述晶种层形成所述多个铜柱结