一种部件承载件以及制造部件承载件的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111508926A(43)申请公布日2020.08.07(21)申请号201910101367.5(22)申请日2019.01.31(71)申请人奥特斯(中国)有限公司地址201108上海市闵行区莘庄工业区金都路5000号(72)发明人米凯尔·图奥米宁(74)专利代理机构成都超凡明远知识产权代理有限公司51258代理人魏彦洪玉姬(51)Int.Cl.H01L23/498(2006.01)H01L21/48(2006.01)权利要求书3页说明书10页附图4页(54)发明名称一种部件承载件以及制造部件承载件的方法(57)摘要部件承载件(100)，其包括：叠置件(145)，该叠置件包括至少一个导电层结构(152、161)和/或至少一个电绝缘层结构(102)；形成在叠置件(145)中的锥形盲孔(113)；以及导电镀层(146)，其沿着盲孔(113)的外侧的叠置件(145)的水平表面(143)的至少一部分并且沿着盲孔(113)的表面的至少一部分延伸，其中盲孔(113)的底部(151)处的镀层(146)的最小厚度(d3)为至少8μm。CN111508926ACN111508926A权利要求书1/3页1.一种部件承载件(100)，其中，所述部件承载件(100)包括：叠置件(145)，所述叠置件包括至少一个导电层结构(152、161)和/或至少一个电绝缘层结构(102)；渐缩盲孔(113)，所述渐缩盲孔形成在所述叠置件(145)中；导电镀层(146)，所述导电镀层沿着所述叠置件(145)的位于所述盲孔(113)外部的水平表面(143)的至少一部分且沿着所述盲孔(113)的表面的至少一部分延伸；其中，位于所述盲孔(113)的底部(151)处的所述镀层(146)的最小厚度(d3)至少为8μm。2.根据权利要求1所述的部件承载件(100)，包括以下特征中的一者：其中，位于所述叠置件(145)的水平表面(143)上的所述镀层(146)的厚度(d2)特别是最小厚度(d2)与位于所述盲孔(113)的底部(151)处的所述镀层(146)的最小厚度(d3)之间的比率是在介于15％至40％之间的范围内，特别地是在介于20％至30％之间的范围内；其中，位于所述叠置件(145)的水平表面(143)上的所述镀层(146)的厚度(d2)特别是最小厚度(d2)与位于所述盲孔(113)的底部(151)处的所述镀层(146)的最小厚度(d3)之间的比率是在介于20％至60％之间的范围内，特别地是在介于30％至50％之间的范围内；其中，位于所述叠置件(145)的水平表面(143)上的所述镀层(146)的厚度(d2)特别是最小厚度(d2)与位于所述盲孔(113)的底部(151)处的所述镀层(146)的最小厚度(d3)之间的比率是在介于20％至85％之间的范围内，特别地是在介于30％至75％之间的范围内。3.根据权利要求1或2所述的部件承载件(100)，其中，所述镀层(146)的位于所述盲孔(113)中且背对所述叠置件(145)的分界表面(118)从所述盲孔(113)的底部(151)朝向侧向凹部(153)侧向向外地延伸，并且随后从所述凹部(153)侧向向内地延伸直至所述盲孔(113)的外端。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的部件承载件(100)，其中，位于所述盲孔(113)的底部(151)处的所述镀层(146)的最小厚度(d3)为至少25μm。5.根据权利要求1至3中的任一项所述的部件承载件(100)，其中，位于所述盲孔(113)的底部(151)处的所述镀层(146)的最小厚度(d3)是在介于8μm至12μm之间的范围内。6.根据权利要求1至5中的任一项所述的部件承载件(100)，其中，所述盲孔(113)的底部(151)至少部分地、特别地是完全地由所述至少一个导电层结构(161)中的一者限界。7.根据权利要求1至6中的任一项所述的部件承载件(100)，其中，所述至少一个导电层结构(152)中的一者：具有窗口(114)，所述窗口限定所述盲孔(113)的外端；和/或限定所述叠置件(145)的位于所述盲孔(113)外部的水平表面(143)的至少一部分。8.根据权利要求7所述的部件承载件(100)，具有带所述窗口(114)的所述导电层结构(152)的悬伸部(155)，所述导电层结构(152)设置在形成有所述盲孔(113)的一部分的所述至少一个电绝缘层结构(102)中的一者上并且侧向地延伸超出形成有所述盲孔(113)的一部分的所述至少一个电绝缘层结构中的一者。9.根据权利要求1至8中的任一项所述的部件承载件(100)，其中，位于所述叠置件(145)的水平表面(143)上的所述镀层(146)的厚度(d2)特别