一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112631070A(43)申请公布日2021.04.09(21)申请号202011546472.9(22)申请日2020.12.23(71)申请人江苏高光半导体材料有限公司地址212400江苏省镇江市句容经济开发区容宁创业园2#(72)发明人钱超杨波(74)专利代理机构南京行高知识产权代理有限公司32404代理人肖念(51)Int.Cl.G03F1/68(2012.01)G03F1/72(2012.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法(57)摘要本发明公开了一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法，包括S1，步骤S1，加工盲孔：在掩膜版的对应位置加工盲孔；S2，盲孔注蜡：将熔融的热蜡滴入到盲孔中，静置冷却后铲除盲孔上多余的蜡；S3，步骤S3，表面研磨：将注蜡完成的掩膜版上机整体进行打磨，去除盲孔周边打孔时翘起的毛刺；步骤S4，加热溶蜡：将打磨好的掩膜版进行加热，用加热后的溶剂对盲孔进行冲洗，本发明通过在掩膜版上开盲孔，再向盲孔中注蜡的方式，对盲孔进行填塞，保证掩模版在研磨前毛刺不翻入到盲孔中，克服现有加工盲孔中容易进入杂物的困难，通过加热以及溶剂冲洗的方式，可在外部研磨结束后，对盲孔内部的蜡进行溶解冲洗，实现盲孔内部以及周边的清洁。CN112631070ACN112631070A权利要求书1/1页1.一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1，加工盲孔：在掩膜版的对应位置加工盲孔；步骤S2，盲孔注蜡：将熔融的热蜡滴入到盲孔中，静置冷却后铲除盲孔上多余的蜡；步骤S3，表面研磨：将注蜡完成的掩膜版上机整体进行打磨，去除盲孔周边打孔时翘起的毛刺；步骤S4，加热溶蜡：将打磨好的掩膜版进行加热，用加热后的溶剂对盲孔进行冲洗。2.根据权利要求1所述的一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法，其特征在于，在步骤S1中，将盲孔中的碎屑用高流速的气流吹出，清理孔中的碎屑。3.根据权利要求1所述的一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法，其特征在于，在步骤S2中，蜡采用熔点在102℃‑115℃的聚乙烯蜡。4.根据权利要求3所述的一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法，其特征在于，在步骤S2中，进行铲除多余的蜡时，蜡留距离掩膜版基版表面高度1‑2mm的余量。5.根据权利要求4所述的一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法，其特征在于：在步骤S3中，采用粗磨和精磨分两次进行打磨，打磨采用环境温度控制在5℃‑15℃之间。6.根据权利要求1所述的一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法，其特征在于：在步骤S4中，掩膜版放入注入甲苯或二甲苯溶剂的加热皿中，加热皿放入水浴锅中进行加热，保持水浴温度在80℃‑90℃，将蜡进行溶解。2CN112631070A说明书1/3页一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法技术领域[0001]本发明涉及膜版技术领域，具体为一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法。背景技术[0002]光掩膜基版是制作微细光掩膜图形的理想感光性空白板，通过光刻制版工艺可以获得所需光掩膜版。掩膜版在加工时需要进行打孔，常见的加工工艺均会在孔的顶部留有毛刺凸起，而毛刺会直接影响后续掩膜版的使用，会使得机器造成更大的误差，因此一般都需要对其进行研磨去毛刺处理，来使得其本身保持光洁，不会受到毛刺等瑕疵的影响。[0003]传统的研磨工艺会在掩模版表面直接研磨，将毛刺去除，但此种方式会出现一部分毛刺被打磨掉，还会出现部分毛刺会因为研磨而翻入孔内部，给接下来的工序造成麻烦。[0004]基于此，本发明设计了一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法，以解决上述问题。发明内容[0005]本发明的目的在于提供一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法，以解决上述背景技术中提出的问题。[0006]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：[0007]一种去除掩膜版上的孔边毛刺的方法，其特征在于，包括如下步骤：[0008]步骤S1，加工盲孔：在掩膜版的对应位置加工盲孔；[0009]步骤S2，盲孔注蜡：将熔融的热蜡滴入到盲孔中，静置冷却后铲除盲孔上多余的蜡；[0010]步骤S3，表面研磨：将注蜡完成的掩膜版上机整体进行打磨，去除盲孔周边打孔时翘起的毛刺；[0011]步骤S4，加热溶蜡：将打磨好的掩膜版进行加热，用加热后的溶剂对盲孔进行冲洗。[0012]优选的，在步骤S1中，将盲孔中的碎屑用高流速的气流吹出，清理孔中的碎屑。[0013]优选的，在步骤S2中，蜡采用熔点在102℃‑115℃的聚乙烯蜡。[0014]优选的，在步骤S2中，进行铲除多余的蜡时，蜡留距离掩膜版基版表面高度1‑2mm的余量。[0015]优选的，在步骤S3中，采用粗磨和精磨分两次进行打磨，打磨采用环境温度控制在5℃‑15℃之间。[0