一种掩模版孔边毛刺去除工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112676923A(43)申请公布日2021.04.20(21)申请号202011541263.5(22)申请日2020.12.23(71)申请人江苏高光半导体材料有限公司地址212400江苏省镇江市句容经济开发区容宁创业园2#(72)发明人钱超杨波(74)专利代理机构南京行高知识产权代理有限公司32404代理人肖念(51)Int.Cl.B24B1/00(2006.01)B24B37/34(2012.01)B24B9/08(2006.01)B24B9/20(2006.01)B24B9/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种掩模版孔边毛刺去除工艺(57)摘要本发明公开了一种掩模版孔边毛刺去除工艺，包括S1，销钉镶嵌：将加工好的对位盲孔同等大小的销钉镶嵌到孔内；S2，上机研磨：将镶嵌完成的掩膜版上机进行研磨，去除打孔时翘起的毛刺；S3，取出销钉：将S1中放入的销钉从孔洞中取出。本发明可以尽数去除毛刺，保证掩模版不被损坏、伤害，克服了现有加工的一些困难，能够保证毛刺不会二次出现和二次伤害，保证了加工精度，也保证了掩模版不会在加工的过程中被伤害。CN112676923ACN112676923A权利要求书1/1页1.一种掩模版孔边毛刺去除工艺，其特征在于，包括如下步骤：S1，销钉镶嵌：将加工好的对位盲孔同等大小的销钉镶嵌到孔内；S2，上机研磨：将镶嵌完成的掩膜版上机进行研磨，去除打孔时翘起的毛刺；S3，取出销钉：将S1中放入的销钉从孔洞中取出。2.根据权利要求1所述的一种掩模版孔边毛刺去除工艺，其特征在于，所述S1中销钉从掩模版的背侧放入孔洞中。3.根据权利要求1所述的一种掩模版孔边毛刺去除工艺，其特征在于，所述S1中，销钉的中间有设有螺丝孔，螺丝孔内螺纹连接有连接杆，用于将销钉推入至孔洞中后退出。4.根据权利要求1所述的一种掩模版孔边毛刺去除工艺，其特征在于，所述S2中，毛刺去除的范围控制在孔洞周边0.5‑1mm内。5.根据权利要求4所述的一种掩模版孔边毛刺去除工艺，其特征在于：所述孔洞的边缘部分打磨次数大于2次。6.根据权利要求1所述的一种掩模版孔边毛刺去除工艺，其特征在于：所述S3中，放入孔洞中的销钉重新放入连接杆并从放入时的同一方向推出，随后将销钉与连接杆分离，并将连接杆从孔洞中推出。2CN112676923A说明书1/3页一种掩模版孔边毛刺去除工艺技术领域[0001]本发明涉及膜版技术领域，具体为一种掩模版孔边毛刺去除工艺。背景技术[0002]掩膜版在加工时需要进行打孔作业，常见的加工工艺均会在孔的顶部留有毛刺凸起，而毛刺会直接影响后续掩膜版的使用，会使得机器造成更大的误差，因此一般都需要对其进行研磨去毛刺处理，来使得其本身保持光洁，不会受到毛刺等瑕疵的影响。[0003]而传统的研磨工艺会直接将掩模版表面研磨，将毛刺去除，一部分毛刺会被打磨掉，但会有一定的概率使得部分毛刺会因为研磨而翻入孔内部，导致下一步工序的繁琐甚至误差难以执行。[0004]基于此，本发明设计了一种掩模版孔边毛刺去除工艺，以解决上述问题。发明内容[0005]本发明的目的在于提供一种掩模版孔边毛刺去除工艺，以解决上述背景技术中提出的问题。[0006]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：[0007]一种掩模版孔边毛刺去除工艺，包括如下步骤：[0008]S1，销钉镶嵌：将加工好的对位盲孔同等大小的销钉镶嵌到孔内；[0009]S2，上机研磨：将镶嵌完成的掩膜版上机进行研磨，去除打孔时翘起的毛刺；[0010]S3，取出销钉：将S1中放入的销钉从孔洞中取出。[0011]优选的，所述S1中，销钉的中间有设有螺丝孔，螺丝孔内螺纹连接有连接杆，用于将销钉推入至孔洞中后退出。[0012]优选的，所述S1中，销钉的中间有设有螺丝孔，螺丝孔内螺纹连接有连接杆，用于将销钉推入至孔洞中后退出。[0013]优选的，所述S2中，毛刺去除的范围控制在孔洞周边0.5‑1mm内。[0014]优选的，所述孔洞的边缘部分打磨次数大于2次。[0015]优选的，所述S3中，放入孔洞中的销钉重新放入连接杆并从放入时的同一方向推出，随后将销钉与连接杆分离，并将连接杆从孔洞中推出。[0016]与现有技术相比，本发明的有益效果是：[0017]与传统的步骤相比，本发明使用此工艺，可以尽数去除毛刺，保证掩模版不被损坏、伤害，同时通过“加”的方式再去“减”，克服了现有加工的一些困难，能够保证毛刺不会二次出现和二次伤害，也不会因为研磨而内翻之孔内部，治标不治本的情况就不会发生，也因为预留了一定的余量，已经使用螺纹孔将加的销钉带出，保证了加工精度，也保证了掩模版不会在加工的过程中被伤害，相比于传统的直接