一种非预浸体系的盲孔填孔镀铜液及其镀铜工艺.pdf
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一种非预浸体系的盲孔填孔镀铜液及其镀铜工艺.pdf
本发明公开了一种非预浸体系的盲孔填孔镀铜液及其镀铜工艺,该非预浸体系的盲孔填孔镀铜液包括以下浓度组份的原料:五水硫酸铜:180~270g/L、硫酸:30~100g/L、氯离子:30~100ppm、加速剂:0.1~10ppm、承载剂:0.1~10g/L、整平剂:0.1~10g/L。有益效果:该镀铜工艺不含预浸体系,降低了客户端的使用成本,同时也不会受到设备影响,且采用该盲孔填孔镀铜液所得电镀效果的漏填率低、填孔率高、镀铜层致密平整,无空洞、延展性较好,具备更好的镀铜效果。
一种电镀铜溶解液及高深度盲孔快速填孔工艺.pdf
本发明公开了一种电镀铜溶解液及高深度盲孔快速填孔工艺,电镀铜溶解液包括:第一添加剂、第二添加剂、五水硫酸铜溶液、硫酸溶液、盐酸溶液和纯净水,通过配置电镀铜溶解液、初始阶段填孔、爆发阶段填孔和回复期填孔,改变电流和时间,完成高深度盲孔的快速填孔。通过上述方式,本发明所述的电镀铜溶解液及高深度盲孔快速填孔工艺,对线路板的盲孔进行镀层,填孔率高,填孔率大于95%,镀层表面平整,平整度达到95%以上,填孔镀铜无空洞、无缝隙,表面沉积厚度低,延展性较好,具有良好的光泽,高韧性和低内应力,提高线路板的质量。
一种高纵横比盲孔电镀铜填孔的工艺.pdf
本发明公开了一种高纵横比盲孔电镀铜填孔的工艺,包括如下步骤:S1、称取330g的CuSO4·5H2O均匀溶解于1200mL的去离子水中,然后在不断搅拌的条件下缓慢加入44mL的浓硫酸,待溶液温度降至室温后,开始顺序加入氯离子、抑制剂、加速剂、整平剂,搅拌均匀后,加适量的去离子水定容,从而制备出电镀液;S2、在HID板的表面上钻多个呈阵列分布的盲孔,采用喷砂装置向盲孔的底表面和内壁上喷砂,确保在盲孔的底表面和内壁上形成微小孔,喷砂后将HID板倒置,以确保砂从盲孔中倾倒出。本发明的有益效果是:电镀工艺简单、镀
一种柔性线路板盲孔镀铜填孔工艺.pdf
本发明公开了一种柔性线路板盲孔镀铜填孔工艺,包括如下步骤:S1.黑影;S2.闪镀:整版进行镀铜,镀层厚度为2‑4微米。在盲孔孔内形成良好的导电效果;S3.压膜;S4.曝光;S5.显影;S6.电镀铜:对产品选择性进行填孔镀铜。本发明通过在黑影工序后增加一道闪镀强化孔内膜层的工序,可以有效保证在后续电镀时孔内的导电性良好。本工艺方式对于两面孔深、孔径相差较大的产品,填孔效果良好。
硅基板盲孔制备及填镀铜工艺研究.docx
硅基板盲孔制备及填镀铜工艺研究硅基板盲孔制备及填镀铜工艺研究摘要:硅基板盲孔制备及填镀铜工艺是集成电路制造过程中关键的步骤之一,对于实现高集成度和高可靠性电子器件具有重要意义。本文主要研究了硅基板盲孔制备和填镀铜工艺的原理和方法,并通过实验验证了所提出的工艺流程的可行性。研究结果表明,通过适当的工艺参数优化和表面处理,能够获得良好的盲孔质量和镀铜效果。1.引言硅基板盲孔制备及填镀铜工艺是集成电路制造中非常重要的一步。在集成电路中,盲孔用于连接多层电路,实现电气连接和信号传输。而填镀铜则是为了保证电路的导电