用于确定物体的污染的设备和方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103153493A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103153493103153493A(43)申请公布日2013.06.12(21)申请号201180048286.5代理人蔡石蒙车文(22)申请日2011.09.21(51)Int.Cl.(30)优先权数据B08B3/02(2006.01)102010041930.32010.10.04DEB08B3/04(2006.01)B08B3/14(2006.01)(85)PCT申请进入国家阶段日2013.04.03(86)PCT申请的申请数据PCT/EP2011/0664702011.09.21(87)PCT申请的公布数据WO2012/045582DE2012.04.12(71)申请人杜尔艾科克林有限公司地址德国菲尔德施塔特(72)发明人赫尔曼-约瑟夫·戴维埃贡·卡斯克(74)专利代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司11219权权利要求书2页利要求书2页说明书6页说明书6页附图5页附图5页(54)发明名称用于确定物体的污染的设备和方法(57)摘要本发明涉及一种用于确定具体是工件的物体的污染的设备（100）。所述设备（100）具有用于通过流体清洗去除聚集在单个物体（102）上的污物微粒（178）的清洗区（120）。所述设备（100）内具有收集单元（142），所述收集单元（142）包括至少一个用于捕获从各物体（102）清洗去除下来的污物微粒（178）的保持装置（168）。根据本发明，该设备（100）包括用于将通过所述至少一个保持装置（168）捕获的污物微粒（178）从各物体（102）移动到测量单元（170）的运输单元（152）。所述测量单元（170）用于测量从各物体（102）清洗去除的污物微粒（178）的至少一个物理参数。CN103153493ACN103549ACN103153493A权利要求书1/2页1.一种用于确定具体是工件的物体的污染的设备（100、400），所述设备（100、400）具有用于通过流体清洗去除聚集在各物体（102、402）上的污物微粒（178、478）的清洗区（120、420），并且具有收集装置（142、442），所述收集装置（142、442）具有至少一个用于捕获从各物体（102、402）清洗去除的污物微粒（178、478）的保持装置（168、604），其特征在于，所述设备（100、400）包括运输装置（152、652），所述运输装置（152、652）用于将被所述至少一个保持装置（168、604）捕获的污物微粒（178、478）从各物体（102、402）移动到用于测量从各物体（102、402）清洗去除的污物微粒（178、478）的至少一个物理参数的测量装置（170、470）。2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述测量装置包括分析装置（174、474），其中涉及从各物体（102、402）清洗去除的污物微粒（171、478）的测量信息被用于确定该物体（102、402）的污染程度。3.根据权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述运输装置（152、652）将所述至少一个保持装置（168、604）从所述收集装置（142、442）移动到所述测量装置（170、470）。4.根据权利要求1至3中一项所述的设备，其特征在于，所述至少一个保持装置包括被保持在膜保持器（606）内的过滤器膜（604）。5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述运输装置是被自动控制的操作器，具体地是机器人（652），所述操作器用于将所述膜保持器（606）从仓盒（608）移动到所述收集装置（442）内和/或从所述收集装置（442）移动到所述测量装置（470）内。6.根据权利要求1至3中一项所述的设备，其特征在于，所述至少一个保持装置包括过滤器带（146）的一部分（168）。7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述过滤器带（146）能够从展开站（150）移动到缠绕站（151）且用作用于所述过滤器带（146）内的所述部分（168）的运输装置（152）。8.根据权利要求1至8中一项所述的设备，其特征在于，用于使清洗去除污物微粒（178、478）的流体（162、462）循环的管线系统（136、436）被提供在所述清洗区（120、420）内，且至少一个喷嘴（114、414）布置在所述清洗区（120、420）内用于利用流体（162、462）进行清洗去除。9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，用于吸入通过所述至少一个保持装置（168、604）受到污物微粒的流体（162、462）的抽吸装置（160、460）布置在所述管线系统（136、436）内。10.根据权利要求1至9中一项所述的设备，其特征在于，包括围绕所述清洗区