一种异质结板式PECVD载板.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103295941A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103295941103295941A(43)申请公布日2013.09.11(21)申请号201310216545.1(22)申请日2013.05.31(71)申请人国电光伏有限公司地址214213江苏省无锡市宜兴市经济开发区文庄路8号创意软件大厦B座4楼(72)发明人张东升赵会娟(74)专利代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204代理人柏尚春(51)Int.Cl.H01L21/673(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书2页说明书2页附图1页附图1页(54)发明名称一种异质结板式PECVD载板(57)摘要本发明公开了一种异质结板式PECVD载板，包括载板基体，所述载板基体上设有若干镂空槽，所述镂空槽四面内壁为斜坡面，所述镂空槽内设有与镂空槽配合的压框。该异质结板式PECVD载板，在硅片镀膜的过程中可以杜绝电离的气体跑到硅片背面去而形成反掺以避免出现漏电流，从而增加短路电流，形成阻值很大的并阻，提高电池片的效率；应用金属压线固定硅片上面的压框可以减少碎片率，从而降低成本。CN103295941ACN1032954ACN103295941A权利要求书1/1页1.一种异质结板式PECVD载板，包括载板基体(1)，其特征在于，所述载板基体(1)上设有若干镂空槽(2)，所述镂空槽(2)四面内壁(21)为斜坡面，所述镂空槽(2)内设有与镂空槽(2)配合的压框(3)。2.根据权利要求1所述的异质结板式PECVD载板，其特征在于：所述镂空槽(2)边缘设有用于限制压框(3)上下位置的金属压线(4)。3.根据权利要求1所述的异质结板式PECVD载板，其特征在于：所述斜坡面(21)坡度为30～60°。4.根据权利要求1所述的异质结板式PECVD载板，其特征在于：压框(3)边缘宽度为0.5mm。2CN103295941A说明书1/2页一种异质结板式PECVD载板技术领域[0001]本发明涉及一种PECVD镀膜载板，特别是涉及一种异质结板式PECVD载板，属于太阳能电池制造技术领域。背景技术[0002]太阳能电池的生产工序包括硅片制绒、扩散制结、等离子气相沉积（PECVD）镀膜、刻蚀、丝网印刷等步骤。在电池片进行镀膜的过程中，难免有一些电离气体跑到电池片的背面而形成反掺或者附着在电池片的边缘，一旦电离气体跑到电池片背面或者附着在电池片的边缘，就会出现反掺、漏电流、低并阻的现象，这样的电池片就是低效片；在镀膜过程中由于真空环境影响难免出现碎片的现象，由此导致生产效率低、成本高，所以如何形成高短路电流、提高并联电阻、减少电池片破碎是目前必须要解决的一个问题。发明内容[0003]本发明的目的在于提供一种异质结板式PECVD载板，使硅片在镀膜过程中不会出现被吹斜、被吹翻而造成破碎或者反掺、漏电流、低并阻的现象。[0004]为解决上述技术问题，本发明的技术方案是这样的，一种异质结板式PECVD载板，包括载板基体，其特征在于，所述载板基体上设有若干镂空槽，所述镂空槽四面内壁为斜坡面，所述镂空槽内设有与镂空槽配合的压框。[0005]在本发明的一个具体实施例中，所述镂空槽边缘设有用于限制压框上下位置的金属压线。[0006]优选的，所述斜坡面坡度为30～60°。[0007]优选的，压框边缘宽度为0.5mm。[0008]本发明所提供的技术方案的优点在于，在硅片镀膜的过程中可以杜绝电离的气体跑到硅片背面去而形成反掺以避免出现漏电流，从而增加短路电流，形成阻值很大的并阻，提高电池片的效率；应用金属压线固定硅片上面的压框可以减少碎片率，从而降低成本。附图说明[0009]图1为本发明结构示意图；[0010]图2为本发明结构俯视图。具体实施方式[0011]下面结合实施例对本发明作进一步说明，但不作为对本发明的限定。[0012]本发明的异质结板式PECVD载板结构如图1及图2所示，带包括载板基体1，载板基体1上设有若干镂空槽2，镂空槽2四面内壁为斜坡面21，斜坡面21的坡度为30～60°，过大的坡度会使得硅片在镂空槽2内倾翻，镂空槽2内设有与镂空槽2配合的压框3。硅片5放入镂空槽2后，放入压框3由压框3固定硅片5位置，压框3边缘宽度一般选择为3CN103295941A说明书2/2页0.5mm，达到镀膜面积与限制硅片5效果的平衡，宽度过宽则硅片有效面积减少，宽度过窄则难以固定硅5片。另外在镂空槽2边缘设有用于限制压框3上下位置的铝钛合金压线4，避免镀膜过程中压框3从镂空槽2内弹出。4CN103295941A说明书附图1/1页图1图25