一种用于异质结CVD设备的载板传输提升系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114351122A(43)申请公布日2022.04.15(21)申请号202111527141.5(22)申请日2021.12.14(71)申请人湖南红太阳光电科技有限公司地址410205湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号(72)发明人唐电杨彬张单辉许烁烁(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008代理人戴玲(51)Int.Cl.C23C16/54(2006.01)C23C16/46(2006.01)C23C16/455(2006.01)H01L21/677(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称一种用于异质结CVD设备的载板传输提升系统(57)摘要本发明公开了一种用于异质结CVD设备的载板传输提升系统，包括腔体、喷淋板、载板、加热基板和传输装置，传输装置包括外轴动力、内轴动力和多对磁流体传输机构，磁流体传输机构包括磁流体、内轴、外轴、传输轴和翻转板，外轴套在内轴上且二者可相对转动，磁流体套在外轴上且二者可相对转动，翻转板与内轴固定连接，传输轴可转动的设在翻转板上，传输轴与外轴通过啮合件配合，外轴动力用于驱动外轴转动，内轴动力用于驱动内轴转动，传输轴和翻转板设于腔体内，载板置于各传输轴上。本发明利用同心双轴磁流体结构，同时驱动载板的传输和提升，既能使实现载板传输，又能使载板在镀膜时脱离传输轴并与加热基板接触，简化了结构，降低了设备成本。CN114351122ACN114351122A权利要求书1/2页1.一种用于异质结CVD设备的载板传输提升系统，其特征在于：包括腔体(1)、喷淋板(2)、载板(3)、加热基板(4)和传输装置，所述喷淋板(2)设于腔体(1)的顶壁，所述加热基板(4)安装在腔体(1)内，所述传输装置包括外轴动力(5)、内轴动力(6)和多对磁流体传输机构(7)，每一对磁流体传输机构(7)对称布置于腔体(1)两侧的侧壁上，所述磁流体传输机构(7)包括磁流体(71)、内轴(72)、外轴(73)、传输轴(74)和翻转板(75)，所述外轴(73)套在内轴(72)上且二者可相对转动，所述磁流体(71)套在外轴(73)上且二者可相对转动，所述翻转板(75)与内轴(72)固定连接，所述传输轴(74)可转动的设在翻转板(75)上，所述传输轴(74)上设有第一啮合件(76)，所述外轴(73)上设有与第一啮合件(76)配合的第二啮合件(77)，所述传输轴(74)的轴线与内轴(72)的轴线具有间距，所述外轴动力(5)用于驱动外轴(73)转动，所述内轴动力(6)用于驱动内轴(72)转动，所述磁流体(71)安装在腔体(1)外，所述传输轴(74)和翻转板(75)设于腔体(1)内，所述载板(3)置于各磁流体传输机构(7)的传输轴(74)上且载板(3)位于喷淋板(2)与加热基板(4)之间。2.根据权利要求1所述的用于异质结CVD设备的载板传输提升系统，其特征在于：所述腔体(1)顶部设有腔盖(11)，所述喷淋板(2)固定在腔盖(11)上。3.根据权利要求1所述的用于异质结CVD设备的载板传输提升系统，其特征在于：所述传输轴(74)上设有传输滚轮(741)，所述载板(3)置于各传输滚轮(741)上。4.根据权利要求3所述的用于异质结CVD设备的载板传输提升系统，其特征在于：所述传输滚轮(741)设有限制载板(3)偏移的挡边(742)。5.根据权利要求1至4任意一项所述的用于异质结CVD设备的载板传输提升系统，其特征在于：所述第一啮合件(76)为第一齿轮，所述第二啮合件(77)为第二齿轮。6.根据权利要求1至4任意一项所述的用于异质结CVD设备的载板传输提升系统，其特征在于：所述外轴(73)两端均伸出磁流体(71)，所述外轴(73)伸出腔体(1)的一端设有外轴同步轮(731)，同一侧的相邻两个外轴同步轮(731)之间绕设有外轴传送带(732)或者外轴传送链，所述外轴动力(5)具有两个输出端，一个输出端通过外轴传送带(732)或者外轴传送链与一侧的任一个外轴同步轮(731)连接，另一个输出端通过外轴传送带(732)或者外轴传送链与另一侧的任一个外轴同步轮(731)连接。7.根据权利要求6所述的用于异质结CVD设备的载板传输提升系统，其特征在于：所述内轴(72)两端均伸出外轴(73)，所述内轴(72)伸出腔体(1)的一端设有内轴同步轮(721)，同一侧的相邻两个内轴同步轮(721)之间绕设有内轴传送带(722)或者内轴传送链，所述内轴动力(6)具有两个输出端，一个输出端通过内轴传送带(722)或者内轴传送链与一侧的任一个内轴同步轮(721)连接，另一个输出端通过内轴传送带(722)或者内轴传送链与另一侧的任一个内轴同步轮(721)