

一种用于异质结CVD设备的载板传输提升系统.pdf
梅雪****67
亲,该文档总共11页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~
相关资料
一种用于异质结CVD设备的载板传输提升系统.pdf
本发明公开了一种用于异质结CVD设备的载板传输提升系统,包括腔体、喷淋板、载板、加热基板和传输装置,传输装置包括外轴动力、内轴动力和多对磁流体传输机构,磁流体传输机构包括磁流体、内轴、外轴、传输轴和翻转板,外轴套在内轴上且二者可相对转动,磁流体套在外轴上且二者可相对转动,翻转板与内轴固定连接,传输轴可转动的设在翻转板上,传输轴与外轴通过啮合件配合,外轴动力用于驱动外轴转动,内轴动力用于驱动内轴转动,传输轴和翻转板设于腔体内,载板置于各传输轴上。本发明利用同心双轴磁流体结构,同时驱动载板的传输和提升,既能使
一种异质结板式PECVD载板.pdf
本发明公开了一种异质结板式PECVD载板,包括载板基体,所述载板基体上设有若干镂空槽,所述镂空槽四面内壁为斜坡面,所述镂空槽内设有与镂空槽配合的压框。该异质结板式PECVD载板,在硅片镀膜的过程中可以杜绝电离的气体跑到硅片背面去而形成反掺以避免出现漏电流,从而增加短路电流,形成阻值很大的并阻,提高电池片的效率;应用金属压线固定硅片上面的压框可以减少碎片率,从而降低成本。
一种用于移载小车往复移动的轨道传输系统.pdf
本发明涉及一种用于移载小车往复移动的轨道传输系统,包括两个轨道传输单元,每个轨道传输单元均包括平行设置的两条框架系统,在每条框架系统上分别安装有左侧轨道或右侧轨道,左侧轨道与右侧轨道用于支撑移载小车的滚轮,在两条框架系统之间设置有齿条,齿条用于与移载小车上的齿轮啮合,通过移载小车上的电机带动齿轮与齿条传动实现移载小车在轨道上的移动;每个轨道传输单元沿长度方向包括前端等待区域、中间工作区域、后端等待区域,这些区域均设置有缓冲块、到位定位销、传感器,及行程开关。与现有技术相比,本发明定位精度高,速度快,占地面
一种用于移载PCB板的双面吸附系统.pdf
本发明公开了一种用于移载PCB板的双面吸附系统,包括架体,其特征在于所述架体包括第一直线滑轨和第二直线滑轨,第一直线滑轨的一侧设置第一面固定位吸盘组,另一侧设置有第一面可调整吸盘组,第二直线滑轨的一侧设置第二面可调整吸盘组,另一侧设置有第二面固定位吸盘组,所述架体上还设置有一直齿轮,所述直齿轮的上方和下方分别设置有与其相啮合的第一直线齿条和第二直线齿条,第一直线齿条和第一面可调整吸盘组连接,第二直线齿条和第二面可调整吸盘组连接。本发明相比于现有技术,具有以下优势:可根据需要同时调整两组可调整吸盘组位置,降
用于生产载板玻璃的窑炉系统.pdf
本发明公开了一种用于生产载板玻璃的窑炉系统。所述用于生产载板玻璃的窑炉系统包括:炉体;余热回收装置,所述余热回收装置具有烟气进口、烟气出口、低温介质进口和高温介质出口;烟道,所述烟道的烟气进口与所述炉体连通,所述烟道的烟气出口与所述余热回收装置的烟气进口连通;和排烟管,所述排烟管与所述余热回收装置的烟气出口连通。根据本发明实施例的窑炉系统具有节约能源、提高能源利用率等优点。