表面处理设备和用于运行表面处理设备的方法.pdf
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相关资料
表面处理设备和用于运行表面处理设备的方法.pdf
为了提供一种能简单且可靠地运行的用于处理工件表面的表面处理设备而提出,该表面处理设备包括以下部分:工作区域,在该工作区域中可以对工件的表面进行处理;流动引导设备,借助该流动引导设备可以将气体流引导穿过工作区域;溶剂沉淀设备,其用于从被引导穿过工作区域的气体流中沉淀出溶剂,其中,溶剂沉淀设备可以有选择地转换到沉淀状态或不工作状态下,其中,溶剂沉淀设备在沉淀状态下从气体流中沉淀出溶剂。
用于SiC衬底的表面处理设备和表面处理方法.pdf
提供了用于SiC衬底的表面处理设备和表面处理方法。提供了使用阳极氧化的用于SiC衬底的表面处理设备和表面处理方法。用于SiC衬底(W)的表面处理设备(1)包括表面处理垫(3)和电源装置(5)。表面处理垫(32)包括磨轮层。磨轮层被布置成面向SiC衬底的工件表面(W1)。电源装置使周期大于0.01秒且小于或等于20秒的脉冲电流在存在电解液(S)的情况下通过作为阳极的SiC衬底来对要由磨轮层处理的工件表面进行阳极氧化。
用于对轮廓表面进行表面处理的表面处理修复设备及方法.pdf
本申请公开了用于对轮廓表面进行表面处理的表面处理修复设备及方法。用于对轮廓表面施加表面处理的表面处理修复设备包括被配置为可拆卸地附接到轮廓表面的附接装置和耦接到附接装置的机器人单元。此外,处理单元可操作地安装在机器人单元上,并且包括形成处理阵列的多个涂布器头,并且每个涂布器头被配置为施加表面修复处理。至少一个传感器安装在处理单元上并且被配置为识别用于表面修复处理的目标区域,并且控制器可操作地耦接到机器人单元和处理单元。控制器被编程为控制机器人单元的移动以将处理阵列定位成与目标区域邻近,并且选择性地操作处理
薄膜表面处理方法及薄膜表面处理设备.pdf
本发明公开了一种薄膜表面处理方法及薄膜表面处理设备,通过采用氢氟酸对薄膜表面进行刻蚀处理,可以将薄膜表面具有的物质刻蚀掉。采用清洗溶液对经过刻蚀处理后的薄膜表面的氢氟酸进行清洗处理,以去除薄膜表面残留的氢氟酸,可以避免残留的氢氟酸导致薄膜过度刻蚀的情况。这样采用臭氧水对经过清洗处理后的薄膜表面进行氧化处理,可以使薄膜表面形成致密且均匀的氧化层。从而在进行ELA工艺时,可以提高ELA工艺效果。
表面处理装置和表面处理方法.pdf
一种表面处理装置,具备:亲水基生成气体供给部(9),向所述处理室内供给所述亲水基生成气体;载置台(1),具备载置板(13)和支承部件(11),所述载置板(13)具有通气部,所述支承部件(11)从所述载置板突出设置,使所述被处理材料与所述载置板之间留有空隙地支承所述被处理材料;以及流动生成部,生成活性化了的所述亲水基生成气体的至少一部分绕入所述空隙的流动,且该流动是经过所述载置板的所述通气部的流动。