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硅化合物、反应性材料、树脂组合物、感光性树脂组合物、固化膜、固化膜的制造方法、图案固化膜及图案固化膜的制造方法.pdf

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本发明为一种由下述通式(x)表示的硅化合物。另外,本发明为一种包含由下述通式(x)表示的硅化合物的反应性材料。通式(x)中,R1为多个的情况下,分别独立地为碳数1～10的直链状、碳数3～10的支链状或者碳数3～10的环状的烷基、碳数2～10的直链状、碳数3～10的支链状或者碳数3～10的环状的烯基,烷基或烯基中的氢原子的全部或一部分任选由氟原子取代,R2为多个的情况下,分别独立地为碳数1～4的直链状或碳数3～4的支链状的烷基,烷基中的氢原子的全部或一部分任选由氟原子取代,RA为酸不稳定性基团,a为1～3的整数,b为0～2的整数,c为1～3的整数,a+b+c=4,n为1～5的整数。