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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106768378A(43)申请公布日2017.05.31(21)申请号201611030800.3(22)申请日2016.11.22(71)申请人昆明物理研究所地址650223云南省昆明市五华区教场东路31号(72)发明人范乃华秦强肖徽山钱昆伦洪建堂姚菡婷刘莹娟刑一山(74)专利代理机构昆明正原专利商标代理有限公司53100代理人徐玲菊蒋文睿(51)Int.Cl.G01J5/04(2006.01)G01L21/00(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图1页(54)发明名称实时检测真空度的红外探测器微型杜瓦(57)摘要本发明提供一种能实时检测真空度的红外探测器微型杜瓦,包括其内带真空腔、真空腔内设内管及吸气剂的管壳,设于管壳上方的其顶部带红外窗片的窗框座,设于管壳与窗框座之间的引线环,引线环上的管脚延伸至管壳外部,窗框座内并位于内管的顶部设有装载基板,装载基板上设有红外探测器,该红外探测器的信号线与引线环及管脚相连,其特征在于真空腔内设有静电驱动-电容检测的谐振子芯片或微机械陀螺芯片,该芯片的信号线引出后与管壳外部的检测器相连。定量检测微型杜瓦实际真空度,适时激活吸气剂,并检测各方向的角速度值,控制载具的惯性姿态,确保红外探测器的正常使用。CN106768378ACN106768378A权利要求书1/2页1.一种能实时检测真空度的红外探测器微型杜瓦,包括其内带真空腔、真空腔内设内管及吸气剂的管壳,设于管壳上方的其顶部带红外窗片的窗框座,设于管壳与窗框座之间的引线环,引线环上的管脚延伸至管壳外部,窗框座内并位于内管的顶部设有装载基板,装载基板上设有红外探测器,该红外探测器的信号线与引线环及管脚相连,其特征在于真空腔内设有静电驱动-电容检测的谐振子芯片或微机械陀螺芯片,该芯片的信号线引出后与管壳外部的检测器相连。2.根据权利要求1所述的能实时检测真空度的红外探测器微型杜瓦,其特征在于所述静电驱动-电容检测的谐振子芯片或微机械陀螺芯片为常规芯片。3.根据权利要求1所述的能实时检测真空度的红外探测器微型杜瓦,其特征在于所述静电驱动-电容检测的谐振子芯片或微机械陀螺芯片设置在窗框座内的装载基板上,其信号线经引线环及管脚向外延伸与管壳外部的检测器相连。4.根据权利要求1所述的能实时检测真空度的红外探测器微型杜瓦,其特征在于所述静电驱动-电容检测的谐振子芯片或微机械陀螺芯片设置在管壳壁上,其信号线经管壳壁上的管脚向外延伸与管壳外部的检测器相连。5.根据权利要求1所述的能实时检测真空度的红外探测器微型杜瓦,其特征在于所述静电驱动-电容检测的谐振子芯片或微机械陀螺芯片设置在管壳壁的外凸座或内凹座上,其信号线经安装在管壳壁上的管脚向外延伸与管壳外部的检测器相连。6.根据权利要求1所述的能实时检测真空度的红外探测器微型杜瓦,其特征在于所述静电驱动-电容检测的谐振子芯片或微机械陀螺芯片在真空腔内或者管壳壁上设置一个,或者在真空腔内和管壳壁的多个方向上设置多个。7.根据权利要求1所述的能实时检测真空度的红外探测器微型杜瓦,其特征在于所述引线环的管脚数为25针~50针;所述静电驱动-电容检测的谐振子芯片或微机械陀螺芯片的安装在管壳壁上的管脚数为3针~12针。8.一种基于权利要求1所述红外探测器微型杜瓦实时检测该红外探测器微型杜瓦真空度的方法,其特征在于包括下列步骤:a.根据需要测量红外探测器组件中的红外探测器微型杜瓦的静电驱动-电容检测的谐振子芯片或微机械陀螺芯片输出电压或电荷值;b.根据预先设定的真空度-静电驱动-电容检测和谐振子芯片或微机械陀螺芯片的输出电荷或电压值对照表或曲线,将步骤a得到的测量值,在对照表中查找出对应的真空度值;c.当红外探测器组件微型杜瓦的真空度值在合格范围时,判定组件真空度合格,不需要激活吸气剂;当真空度值在需要激活吸气剂的真空度值范围和不合格真空度值范围时,激活吸气剂;d.再次测量红外探测器组件微型杜瓦的真空值,当红外探测器组件微型杜瓦的真空值在合格真空值范围时,判定组件真空度合格,当真空度值在需要激活吸气剂的真空度值范围和不合格真空度值范围时,判定杜瓦真空失效,进行另行处理。9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于所述预先设定真空度-静电驱动-电容检测和谐振子芯片或微机械陀螺芯片的输出电荷或电压值对照表或曲线的方法,包括下列步骤:2CN106768378A权利要求书2/2页A1.将微型杜瓦中相同型号的静电驱动-电容检测的谐振子芯片或微机械陀螺芯片安装于一个处于静止状态的真空容器中,这个真空容器具有能通过真空规或真空仪检测其内部真空度的功能;B1.联结静电驱动-电容检测的谐振子芯片或微机械陀螺芯片与驱动和检测电路,测量芯片输出电压或电荷值,