杜瓦组件及红外探测器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113916380A(43)申请公布日2022.01.11(21)申请号202111273111.6(22)申请日2021.10.29(71)申请人浙江珏芯微电子有限公司地址323000浙江省丽水市莲都区南明山街道石牛路268号1幢B座307室(72)发明人程明亮周勇强段煜熊雄毛剑宏(74)专利代理机构上海思捷知识产权代理有限公司31295代理人沈宗晶(51)Int.Cl.G01J5/02(2022.01)G01J5/04(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称杜瓦组件及红外探测器(57)摘要本发明提供一种杜瓦组件及红外探测器，所述杜瓦组件包括杜瓦外壳、管状吸气剂单元、环形固定单元及引线环单元；引线环单元包括引线环本体及引线环外壳，引线环本体设置于引线环外壳上，引线环外壳与杜瓦外壳固定连接；环形固定单元包括环形本体及设置于环形本体上的第一凸起部，利用第一凸起部伸入管状吸气剂单元内形成过盈配合并将环形本体固定于引线环外壳上。在本发明中，利用环形固定单元与管状吸气剂单元内形成过盈配合以其固定于引线环外壳，相较于相关技术，不仅结构简单实用，装配方便，同时也相应减少了在杜瓦外壳上开孔、多次焊接、划伤外壳内壁以此降低杜瓦外壳漏气及放气的风险，从而提高了杜瓦组件真空可靠性。CN113916380ACN113916380A权利要求书1/1页1.一种杜瓦组件，其特征在于，包括杜瓦外壳、管状吸气剂单元、环形固定单元及引线环单元；所述引线环单元包括引线环本体及引线环外壳，所述引线环本体设置于所述引线环外壳上，所述引线环外壳与所述杜瓦外壳固定连接；所述环形固定单元包括环形本体及设置于所述环形本体上的第一凸起部，利用所述第一凸起部伸入所述管状吸气剂单元内形成过盈配合并将所述环形本体固定于所述引线环外壳上。2.根据权利要求1所述的杜瓦组件，其特征在于，所述管状吸气剂单元包括管状吸气剂本体及两个电极端，两个所述电极端位于所述管状吸气剂本体的同一侧。3.根据权利要求2所述的杜瓦组件，其特征在于，所述引线环本体具有引针，所述引针与所述电极端焊接连接用于电性引出。4.根据权利要求1所述的杜瓦组件，其特征在于，所述环形固定单元还包括第二凸起部，所述第二凸起部设置所述环形本体上，所述第一凸起部设置于所述第二凸起部上。5.根据权利要求4所述的杜瓦组件，其特征在于，所述第一凸起部及所述第二凸起部的内部至少部分为空心结构。6.根据权利要求5所述的杜瓦组件，其特征在于，所述空心结构为一贯穿所述第一凸起部、所述第二凸起部及所述环形本体的腔体。7.根据权利要求4所述的杜瓦组件，其特征在于，所述第二凸起部的横截面积小于所述管状吸气剂单元的横截面积。8.根据权利要求1所述的杜瓦组件，其特征在于，所述环形固定单元的材料为金属。9.根据权利要求1所述的杜瓦组件，其特征在于，所述引线环外壳相对所述引线环本体一端的内壁设有台阶，所述环形固定单元利用所述台阶固定于所述引线环外壳的内壁。10.一种红外探测器，其特征在于，所述红外探测器包括如权利要求1至9所述的杜瓦组件。2CN113916380A说明书1/5页杜瓦组件及红外探测器技术领域[0001]本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种杜瓦组件及红外探测器。背景技术[0002]红外探测器主要包括芯片、杜瓦组件和制冷器三大部分。红外探测器的杜瓦组件为芯片提供真空的工作环境。真空寿命是红外探测器杜瓦组件的重要可靠性指标。为确保红外探测器的真空可靠性，可在杜瓦组件内安装可激活的吸气剂单元，当红外探测器使用一段时间后，可激活杜瓦组件内的吸气剂单元，以吸附杜瓦组件的内部材料释放的气体，从而保证红外探测器的真空寿命，提高红外探测器的可靠性。[0003]在相关技术的红外探测器中，通常采用欧姆环(Ω环)、L型片及绝缘子实现吸气剂单元的固定和电性连接。具体过程可例如：在杜瓦组件在杜瓦外壳上开孔焊接绝缘子，使得绝缘子伸入杜瓦外壳的内部用于连接吸气剂单元的一端，再利用一欧姆环卡住吸气剂单元，并将该欧姆环焊接到杜瓦外壳的内壁上，接着，然后将L型片焊接在杜瓦外壳的内壁上，吸气剂单元的电极一端连接L型片，一端连接绝缘子形成导通回路。[0004]在上述相关技术中，为固定和电性连接吸气剂单元需在杜瓦外壳上开孔及多次焊接，不仅使杜瓦外壳增加焊缝，增加了漏气的风险，而且多次焊接破坏了杜瓦外壳的内壁的表面钝化层，增加了材料产气的风险，均不利于杜瓦内部的真空度的保持。同时，绝缘子凸起于杜瓦外壳的外表面，容易受到外力碰撞，由于绝缘子本身强度不够，受外力后容易变形或发生漏气，增加了杜瓦真空失效的风险。发明内容[0005]本发明的目的在于提供一种杜瓦组件及红外探测器，以提高杜瓦组件真空