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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112654735A(43)申请公布日2021.04.13(21)申请号201980056319.7(74)专利代理机构北京三高永信知识产权代理(22)申请日2019.08.19有限责任公司11138代理人关越(30)优先权数据10-2018-01102002018.09.14KR(51)Int.Cl.C23C28/00(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日C23C14/16(2006.01)2021.02.25C23C14/06(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据C23C14/28(2006.01)PCT/KR2019/0105002019.08.19C23C14/02(2006.01)(87)PCT国际申请的公布数据C23C16/30(2006.01)WO2020/054991KO2020.03.19C23C16/50(2006.01)F02M61/18(2006.01)(71)申请人现代凯菲克株式会杜地址韩国京畿道军浦市(72)发明人朴宪俊郑海赫车星澈郑元基权利要求书2页说明书10页附图4页(54)发明名称燃料喷射器用球和阀座及其涂敷方法(57)摘要本发明涉及如下的燃料喷射装置用球和阀座及其涂敷方法,即,为了减少摩擦系数,而将具有低摩擦特性的Ta‑C:H‑SiO功能层作为最外围层形成,用于将Ta‑C:H‑SiO功能层在母材接合并加以支撑的接合层及支撑层适用Mo类材料来提高耐热性,为了形成接合层及支撑层,仅蒸镀纯粹的粒子状态的Mo粒子来提高紧贴力及粘结力并提高耐久性。CN112654735ACN112654735A权利要求书1/2页1.一种燃料喷射器用球和阀座,在母材的表面层叠多层结构的涂敷材料,其特征在于,上述涂敷材料包括:Mo接合层,在上述母材的表面层叠;MoN支撑层,在上述Mo接合层的外侧面层叠;以及Ta‑C:H‑SiO功能层,在上述MoN支撑层的外侧面层叠,上述Mo接合层及上述MoN支撑层通过物理蒸镀法层叠,上述Ta‑C:H‑SiO功能层通过化学蒸镀法层叠。2.根据权利要求1所述的燃料喷射器用球和阀座,其特征在于,上述Mo接合层由在真空环境下向Mo靶照射激光来引发电弧而蒸发的Mo离子在上述母材蒸镀而成。3.根据权利要求2所述的燃料喷射器用球和阀座,其特征在于,在上述Mo接合层的层叠完成的状态下,上述MoN支撑层通过在上述Mo接合层的外侧面蒸镀由通过照射上述激光来从上述Mo靶分离的上述Mo离子和从作为活性气体注入的N2气体分离的N离子发生反应而形成的MoN粒子而成。4.根据权利要求3所述的燃料喷射器用球和阀座,其特征在于,通过向上述Mo靶照射上述激光来生成除上述Mo离子之外的非离子状态的粒子,上述非离子状态的粒子通过电磁过滤器捕集,由此防止上述非离子状态的粒子向上述母材或上述Mo接合层层叠。5.根据权利要求1所述的燃料喷射器用球和阀座,其特征在于,上述化学蒸镀法包括利用碳化气体及六甲基二硅氧烷气体的等离子体辅助化学气相沉积法。6.根据权利要求1所述的燃料喷射器用球和阀座,其特征在于,在上述Mo接合层层叠之前,等离子状态的Ar离子与上述母材的表面发生碰撞来对上述母材的表面进行清洗。7.一种燃料喷射器用球和阀座的涂敷方法,在燃料喷射器用球和阀座的母材的表面层叠多层结构的涂敷材料,其特征在于,包括:Mo接合层形成步骤,在上述母材的外周面,Mo接合层通过物理蒸镀法层叠;MoN支撑层形成步骤,在上述Mo接合层的外侧面,MoN支撑层通过物理蒸镀法层叠;以及Ta‑C:H‑SiO功能层形成步骤,在上述MoN支撑层的外侧面,Ta‑C:H‑SiO功能层通过化学蒸镀法层叠。8.根据权利要求7所述的燃料喷射器用球和阀座的涂敷方法,其特征在于,上述Mo接合层形成步骤包括:Mo离子生成步骤,生成在真空环境下通过向Mo靶照射激光来引发电弧而蒸发的Mo离子;Mo离子移动步骤,使上述Mo离子向上述母材的表面移动;以及Mo离子蒸镀步骤,在上述母材的表面蒸镀所移动的上述Mo离子。9.根据权利要求8所述的燃料喷射器用球和阀座的涂敷方法,其特征在于,上述MoN支撑层形成步骤包括:MoN粒子形成步骤,在完成上述Mo接合层的层叠的状态下,通过照射上述激光来从上述Mo靶分离的Mo离子与从作为活性气体注入的N2气体分离的N离子发生反应而形成MoN粒子;以及MoN粒子蒸镀步骤,在上述Mo接合层的外侧面蒸镀上述MoN粒子。2CN112654735A权利要求书2/2页10.根据权利要求9所述的燃料喷射器用球和阀座的涂敷方法,其特征在于,在上述Mo离子生成步骤中,除上述Mo离子之外,生成非离子状态的粒子,上述非离子状态的粒子通过电磁过滤器捕集,由此防止上述非离子状态的