气体流量控制.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106353520A(43)申请公布日2017.01.25(21)申请号201610545338.4(22)申请日2016.07.12(30)优先权数据1512245.02015.07.14GB(71)申请人塞莫费雪科学(不来梅)有限公司地址德国不来梅(72)发明人H-J·施卢特(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人江漪(51)Int.Cl.G01N35/10(2006.01)权利要求书3页说明书11页附图8页(54)发明名称气体流量控制(57)摘要本发明涉及一种用于将气体提供到分析设备中的进气系统，所述系统包括：布置在进气管线上的至少第一和第二流量限制件；连接到所述进气管线的气体流量控制管线；在所述气体控制管线上的气体流量控制器；以及用于控制所述进气管线和所述气体控制管线中的气体流量的阀门。还提供一种控制至分析设备中的气体流量的方法。CN106353520ACN106353520A权利要求书1/3页1.一种用于将气体提供到分析设备中的进气系统，所述系统包括(a)至少一个进气管线，其流体地连接到所述设备，用于将气体引入到所述设备中；(b)至少一个阀门，其布置在所述至少一个进气管线上，用于控制所述至少一个进气管线中的气体的流量；(c)至少一个气体流量控制管线，其通过至少一个进气接头流体地连接到所述至少一个进气管线；(d)至少一个第一流量限制件和至少一个第二流量限制件，其布置在所述至少一个进气管线上，分别在所述至少一个进气接头的上游和下游；(e)至少一个背压校准器，其布置在所述至少一个气体流量控制管线上以控制所述至少一个进气接头处的压力；(f)至少一个阀门，用于控制所述至少一个气体流量控制管线中的气体的流量；以及(g)至少一个真空泵或排气装置，其流体地连接到所述至少一个气体控制管线，在所述背压校准器下游。2.根据权利要求1所述的进气系统，其中所述第一流量限制件和/或所述第二流量限制件当提供为多个限制件时以平行布置的方式布置在所述进气管线上，并且其中所述进气管线任选地进一步包括至少一个阀门，用于选择性地引导通过所述多个限制件的流量。3.根据权利要求1或权利要求2所述的进气系统，其中所述第二流量限制件提供为以平行布置的方式布置的多个流量限制件。4.根据前述权利要求中任一权利要求所述的进气系统，其包括在所述至少一个进气管线中的每一个上的第一流量限制件和至少一个第二流量限制件，并且其中所述限制件经构造使得通过所述第一流量限制件和所述至少一个第二流量限制件(跨这两个限制件的压力差相同)的气体流量的比率在1:10到10:1的范围内。5.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的进气系统，其包括在所述至少一个进气管线中的每一个上的第一流量限制件和至少一个第二流量限制件，并且其中所述限制件经构造使得，取决于所述流量控制器设定，在所述进气管线中的固定气体压力下，通过所述第一流量限制件和所述至少一个第二流量限制件的气体流量的比率在1:1到1000:1的范围内。6.根据前述权利要求中任一权利要求所述的进气系统，其包括多个气体控制管线，所述多个气体控制管线各自连接到对应的进气管线，并且其中所述多个气体控制管线在一个或多个气体控制管线接头处汇合，优选地，在气体控制管线上的所述至少一个背压校准器上游汇合。7.根据权利要求6所述的进气系统，其中所述多个气体控制管线中的每一个流体地连接到单个背压校准器。8.根据前述权利要求中任一权利要求所述的进气系统，其进一步包括至少一个流量限制件，所述至少一个流量限制件布置在所述气体控制管线上，优选地，在所述用于控制气体流量的阀门与所述背压校准器之间。9.根据权利要求8所述的进气系统，其中所述至少一个流量限制件提供为可切换限制件，所述可切换限制件优选地提供为在与所述气体控制管线平行布置且在第一接头和第二接头处连接到所述气体控制管线的单独管线上的一个或多个限制件，并且其中进一步提供至少一个阀门以用于选择性地引导通过所述一个或多个限制件的气体流量。2CN106353520A权利要求书2/3页10.根据权利要求8所述的进气系统，其中所述至少一个流量限制件设置在放气管线上，所述放气管线流体地连接到所述至少一个气体流量控制管线，在所述用于控制气体流量的至少一个阀门与所述背压校准器之间。11.根据权利要求10所述的进气系统，其中所述放气管线通向大气。12.根据权利要求10或权利要求11所述的进气系统，其中所述放气管线连接到蓄气池。13.根据前述权利要求中的任一权利要求所述的进气系统，其中所述至少一个真空泵提供为单个真空泵。14.根据权利要求1到12中的任一权利要求所述的进气系统，其中所述至少一个真空泵提供为连续地布置的多个真空泵。15.根据前