表面检查系统和表面检查方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109313133A(43)申请公布日2019.02.05(21)申请号201780033485.6(74)专利代理机构北京德崇智捷知识产权代理有限公司1(22)申请日2017.05.291467代理人纪楠(30)优先权数据16172031.32016.05.30EP(51)Int.Cl.G01N21/57(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日G01N21/86(2006.01)2018.11.29G01N21/89(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据G01N21/88(2006.01)PCT/EP2017/0251502017.05.29(87)PCT国际申请的公布数据WO2017/207116EN2017.12.07(71)申请人鲍勃斯脱梅克斯股份有限公司地址瑞士梅克斯(72)发明人M·理查德F·皮劳德权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称表面检查系统和表面检查方法(57)摘要本发明涉及一种表面检查系统（10），用于检查出现在检查区域（20）的板材元件（4）的表面，该表面检查系统（10）包括影像评估单元（18）、相机（12）、暗场照明器（14）和明场照明器（16），该影像评估单元（18）适于把在暗场照明条件下获取的线图减去在明场照明条件下获取的线图。本发明还涉及一种识别正在移动通过板材元件加工机的板材元件（4）的高反射表面区域的方法，其中首先在明场照明条件下获取在观看区域（20）里的板材元件（4）的表面的线图（l16），以及在暗场照明条件下获取在观看区域（20）里的板材元件（4）的相同表面的线图（l14），然后比较两张线图（l14,l16），例如彼此相减，如果两张线图（l14,l16）之间的差异（Sn）高于预定阈值，则该板材元件（4）的表面被识别为反射表面。CN109313133ACN109313133A权利要求书1/2页1.一种表面检查系统（10），所述表面检查系统（10）用于检查出现在检查区域（20）的板材元件（4）的表面，所述表面检查系统（10）包括影像评估单元（18）、相机（12）、暗场照明器（14）和明场照明器（16），所述影像评估单元（18）适于把在暗场照明条件下获取的线图减去在明场照明条件下获取的线图。2.根据权利要求1所述的表面检查系统（10），其中所述相机（12）是线阵相机。3.根据权利要求1或2所述的表面检查系统（10），其中所述暗场照明器（14）包括单列LED，沿着所述单列LED设有两个相对布置的反射器。4.根据前述任一项权利要求所述的表面检查系统（10），其中所述明场照明器（16）包括多列平行布置的LED。5.根据前述任一项权利要求所述的表面检查系统（10），其中当待检查的板材元件（4）具有漫反射表面时，从所述暗场照明器（14）反射在所述相机（12）的光强度与从所述明场照明器（16）反射在所述相机（12）的光强度相同。6.根据前述任一项权利要求所述的表面检查系统（10），其中所述暗场照明器（14）的光学平面相对于中间平面（M）成角度约45°设置，其中所述中间平面（M）垂直于观看区域（20）的方向。7.根据前述任一项权利要求所述的表面检查系统（10），其中所述明场照明器（16）的光学平面相对于中间平面（M）成角度约30°设置，其中所述中间平面（M）垂直于观看区域（20）的方向。8.根据前述任一项权利要求所述的表面检查系统（10），其中所述相机（12）的观看平面相对于中间平面（M）成角度约20°设置，其中所述中间平面（M）垂直于所述观看区域（20）的方向。9.根据前述任一项权利要求所述的表面检查系统（10），其中所述相机（12）在待检查的板材元件（4）的表面的分辨率在0.1至0.6mm的范围，优选为约0.3mm。10.一种识别正在移动通过板材元件加工机的板材元件（4）的反射表面区域的方法，特别是使用根据前述任一项权利要求所述的表面检查系统（10）进行所述识别，其中首先在明场照明条件下获取在观看区域（20）里的所述板材元件（4）的表面的线图（l16），以及在暗场照明条件下获取在所述观看区域（20）里的所述板材元件（4）的相同表面的线图（l14），然后比较两张所述线图（l14,l16），例如彼此相减，如果两张所述线图（l14,l16）之间的差异（Sn）高于预定阈值，则所述板材元件（4）的表面被识别为反射表面。11.根据权利要求10所述的方法，其中比较两张所述线图（l14,l16）的强度。12.根据权利要求10或11所述的方法，其中逐个像素比较两张所述线图（l14,l16）。13.根据权利要求10至12中任一项所述的方法，其中基于暗场照明获取的线图创建一个重构图像，以及基于明场照明获取的线图创