表面检查系统和检查方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109313141A(43)申请公布日2019.02.05(21)申请号201780033749.8(74)专利代理机构北京德崇智捷知识产权代理有限公司1(22)申请日2017.05.291467代理人金星(30)优先权数据16172026.32016.05.30EP(51)Int.Cl.G01N21/89(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日G01N21/88(2006.01)2018.11.30(86)PCT国际申请的申请数据PCT/EP2017/0251492017.05.29(87)PCT国际申请的公布数据WO2017/207115EN2017.12.07(71)申请人鲍勃斯脱梅克斯股份有限公司地址瑞士梅克斯(72)发明人M·理查德F·皮劳德权利要求书2页说明书6页附图5页(54)发明名称查区域（5）的线图像（l14;l12），其中影像评估单表面检查系统和检查方法元（18）比较两张获取的线图像（l12;l14），具体地(57)摘要将两张线图像彼此相减。本发明涉及一种表面检查系统（10），该表面检查系统（10）用于检查出现在检查区域（5）的板材元件（2）的表面，该表面检查系统（10）包括影像评估单元（18）、两个光源（12,14）和相机（16），其中两个光源（12,14）在照明平面（O11）的相对两侧，并且定向为照射该检查区域（5），该相机（16）适于沿观看平面（O16）获取检查区域（5）的线图像（l12,l14），该照明平面（O11）和观看平面（O16）分別设置在中间平面（M）的相对两侧，该中间平面（M）垂直于检查平面，该照明平面（O11）和中间平面（M）之间的角度（α）及观看平面（O16）和中间平面（M）之间的角度（α）相等。本发明还涉及使用上述的表面检查系统（10）检查板材元件（4）表面的方法，其中两个光源（12,14）的第一光源把光导向待检查的板材元件（4）的表面，该相机（16）获取检查区域（5）的线图像（l12;l14），然后两个光源(14,12)的第二光源把光导向待检CN109313141A查的板材元件（4）的表面，所述相机（16）获取检CN109313141A权利要求书1/2页1.一种表面检查系统（10），所述表面检查系统（10）用于检查出现在检查区域（5）的板材元件（2）的表面，所述表面检查系统（10）包括影像评估单元（18）、两个光源（12,14）和相机（16），其中所述两个光源（12,14）相邻配置在照明平面（O11）的相对两侧，并且定向为照射所述检查区域（5），所述相机（16）适于沿观看平面（O16）获取所述检查区域（5）的线图像（l12,l14），所述照明平面（O11）和所述观看平面（O16）分別设置在中间平面（M）的相对两侧，所述中间平面（M）垂直于检查平面，所述照明平面（O11）和所述中间平面（M）之间的角度（α）及所述观看平面（O16）和所述中间平面（M）之间的角度（α）相等。2.根据权利要求1所述的表面检查系统（10），其中所述相机（16）的观看区域覆盖所述检查区域（5）。3.根据权利要求1所述的表面检查系统（10），其中多个所述相机（16）彼此相邻布置，多个所述相机（16）的观看区域合并在一起覆盖所述检查区域（5）。4.根据前述任一项权利要求所述的表面检查系统（10），其中所述照明平面（O11）和所述中间平面（M）之间的角度（α）为15°至30°的范围，优选为约20°。5.根据前述任一项权利要求所述的表面检查系统（10），其中所述两个光源（12,14）相对于所述照明平面（O11）倾斜角度（β），所述角度（β）在5°至10°的范围，优选为约7.5°。6.根据前述任一项权利要求所述的表面检查系统（10），其中所述相机（16）是线阵相机。7.根据权利要求1至5中任一项所述的表面检查系统（10），其中所述相机（16）是2D相机。8.根据前述任一项权利要求所述的表面检查系统（10），其中所述相机（16）是彩色相机。9.根据权利要求1至7中任一项所述的表面检查系统（10），其中所述相机（16）是单色相机。10.根据前述任一项权利要求所述的表面检查系统（10），其中所述相机（16）在待检查的板材元件（4）的表面的分辨率在0.05至0.6mm的范围，优选为约0.1mm。11.一种使用前述任一项权利要求所述的表面检查系统（10）检查板材元件（4）的表面的方法，其中所述两个光源（12,14）中的第一光源把光导向所述待检查的板材元件（4）的表面，所述相机（16）获取所述检查区域（5）的线图像（l12;l14），然后所述两个光源(14,12)中的第二光源把光导向所述待检查的所述板材元件（4）的表面，所述相机（16）获取