被加工物载置固定用工作台的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102601740102601740B(45)授权公告日2014.10.22(21)申请号201110370058.1JP2009-244549A,2009.10.22,全文.JP2005-139039A,2005.06.02,全文.(22)申请日2011.11.15(30)优先权数据审查员周建2011-0130232011.01.25JP(73)专利权人三星钻石工业股份有限公司地址日本大阪(72)发明人冈岛康智(74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司11287代理人孟锐(51)Int.Cl.B24C1/06(2006.01)C03C15/00(2006.01)(56)对比文件JP6-326337A,1994.11.25,说明书第0013段，附图1.JP2008-63178A,2008.03.21,说明书第0068段.权权利要求书1页利要求书1页说明书8页说明书8页附图7页附图7页(54)发明名称被加工物载置固定用工作台的制造方法(57)摘要本发明为被加工物载置固定用工作台的制造方法。本发明提供一种容易进行加工且能稳定地保持被加工物的激光加工装置用的工作台。在激光加工装置中载置固定被加工物的工作台的制造方法包括如下步骤：准备平板状的玻璃板；在玻璃板的一主面的吸引用槽的形成预定位置，通过喷砂处理而形成粗糙槽；及蚀刻粗糙槽的表面而获得吸引用槽。吸引用槽的形成预定位置包含俯视时呈蜂窝状配置的区域。CN102601740BCN102674BCN102601740B权利要求书1/1页1.一种被加工物载置固定用工作台的制造方法，该工作台是在激光加工装置中载置固定被加工物，该被加工物载置固定用工作台的制造方法的特征在于包括如下步骤：准备平板状的玻璃板；在所述玻璃板的一主面的吸引用槽的形成预定位置，通过喷砂处理而形成粗糙槽；蚀刻所述粗糙槽的表面而获得所述吸引用槽；及在所述玻璃板的所述一主面，以包含俯视时呈蜂窝状配置的区域的方式形成所述吸引用槽。2.根据权利要求1所述的被加工物载置固定用工作台的制造方法，其特征在于：将所述吸引用槽是在所述玻璃板的所述一主面的从中央呈十字状扩展的十字状区域以外的区域形成为所述蜂窝状。3.根据权利要求1或权利要求2所述的被加工物载置固定用工作台的制造方法，其特征在于：所述玻璃板为透明。4.根据权利要求1或权利要求2所述的被加工物载置固定用工作台的制造方法，其特征在于还包括如下步骤：通过所述喷砂处理与所述蚀刻处理，在所述玻璃板的被载置面，将与所述吸引用槽连通且到达至所述玻璃板的端部为止的第二吸引用槽与所述吸引用槽同时形成，并且通过保持框保持形成着所述吸引用槽及所述第二吸引用槽的所述玻璃板的外周，其中所述保持框中设置着在一端部与所述第二吸引用槽连通且另一端部成为与所述工作台外的吸引用管的连接部的吸气路径。5.根据权利要求3所述的被加工物载置固定用工作台的制造方法，其特征在于还包括如下步骤：通过所述喷砂处理与所述蚀刻处理，在所述玻璃板的被载置面，将与所述吸引用槽连通且到达至所述玻璃板的端部为止的第二吸引用槽与所述吸引用槽同时形成，并且通过保持框保持形成着所述吸引用槽及所述第二吸引用槽的所述玻璃板的外周，其中所述保持框中设置着在一端部与所述第二吸引用槽连通且另一端部成为与所述工作台外的吸引用管的连接部的吸气路径。2CN102601740B说明书1/8页被加工物载置固定用工作台的制造方法技术领域[0001]本发明涉及一种激光加工装置等中所使用的用以载置固定被加工物的工作台，尤其是涉及一种可从正反两面观察所固定的被加工物的工作台。背景技术[0002]对于在蓝宝石等的基板形成着器件图案的被加工物，通过照射脉冲激光而形成用于分割的起点的方法为众所周知(例如参照专利文献1)。[0003]另外，在想要利用专利文献1中所揭示的装置将基板在规定位置分割的情况下等，在欲对载置固定在工作台(也称作载物台等)上的被加工物进行加工时，存在想从被加工物的背面侧(与工作台接触的一侧)观察该被加工物的情形。可从背面侧较佳地观察吸附固定在载物台上的透明性基板的观察装置已为众所周知(例如参照专利文献2)。[0004][背景技术文献][0005][专利文献][0006]专利文献1：国际公开第2006/062017号[0007]专利文献2：日本专利特开2009-244549号公报发明内容[0008]专利文献2中所揭示的观察装置所包含的载物台是以石英玻璃等透明的构件形成，且在该载物台的内部，设置着成为用以吸引固定被加工物的吸气通路的吸引用管。所述载物台是以如下方式制作：通过机械加工分别对成为该载物台的上半部分的透明构件与成为下半部分的透明构件的管形成对象位