预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲,该文档总共17页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102601530A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102601530A(43)申请公布日2012.07.25(21)申请号201110370056.2(22)申请日2011.11.15(30)优先权数据2011-0130222011.01.25JP(71)申请人三星钻石工业股份有限公司地址日本大阪(72)发明人冈岛康智栗山规由时本育住(74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司11287代理人孟锐(51)Int.Cl.B23K26/42(2006.01)B23K26/36(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书88页页附图附图77页(54)发明名称被加工物载置固定用工作台及被加工物载置固定用玻璃夹盘(57)摘要本发明为被加工物载置固定用工作台及被加工物载置固定用玻璃夹盘,且本发明为加工容易且能稳定地保持被加工物的激光加工装置用的工作台及用于所述工作台的玻璃夹盘。激光加工装置中载置固定被加工物的工作台包含平板状的玻璃夹盘、及从外周保持玻璃夹盘的保持框,在玻璃夹盘的载置被加工物的被载置面,用以吸引固定被加工物的抽吸用槽以俯视时呈蜂窝状的配置而形成。CN102653ACN102601530A权利要求书1/1页1.一种被加工物载置固定用工作台,在激光加工装置中载置固定被加工物,其特征在于包含:平板状的玻璃夹盘;及从外周保持所述玻璃夹盘的保持框;在所述玻璃夹盘的载置被加工物的被载置面,用以吸引固定所述被加工物的抽吸用槽以俯视时呈蜂窝状的配置而形成。2.根据权利要求1所述的被加工物载置固定用工作台,其特征在于:所述玻璃夹盘包含与所述抽吸用槽连通且到达至所述玻璃夹盘的端部为止的第二抽吸用槽;所述保持框包含在一端部与所述第二抽吸用槽连通且另一端部成为与所述工作台外的抽吸用管的连接部的抽气路径。3.根据权利要求1或2所述的被加工物载置固定用工作台,其特征在于:所述抽吸用槽在所述被载置面的从中央呈十字状扩展的十字状区域以外的区域形成为所述蜂窝状。4.根据权利要求1或2所述的被加工物载置固定用工作台,其是激光加工装置的被加工物载置固定用工作台,其特征在于:所述玻璃夹盘为透明。5.根据权利要求3所述的被加工物载置固定用工作台,其是激光加工装置的被加工物载置固定用工作台,其特征在于:所述玻璃夹盘为透明。6.一种被加工物载置固定用玻璃夹盘,其是在激光加工装置中的被加工物的载置固定用的玻璃夹盘,其特征在于:形成为平板状;在载置被加工物的被载置面,用以吸引固定所述被加工物的抽吸用槽以俯视时呈蜂窝状的配置而形成。7.根据权利要求6所述的被加工物载置固定用玻璃夹盘,其特征在于:还包含第二抽吸用槽,所述第二抽吸用槽与所述抽吸用槽连通,并且到达至所述玻璃夹盘的端部为止,且与设置在所述玻璃夹盘的外部的抽气路径连通。8.根据权利要求5或7所述的被加工物载置固定用玻璃夹盘,其特征在于:所述抽吸用槽在所述被载置面的从中央呈十字状扩展的十字状区域以外的区域形成为所述蜂窝状。9.根据权利要求6或7所述的被加工物载置固定用玻璃夹盘,其特征在于:所述玻璃夹盘为透明。10.根据权利要求8所述的被加工物载置固定用玻璃夹盘,其特征在于:所述玻璃夹盘为透明。2CN102601530A说明书1/8页被加工物载置固定用工作台及被加工物载置固定用玻璃夹盘技术领域[0001]本发明涉及一种激光加工装置等中所使用的用以载置固定被加工物的工作台,尤其是涉及一种可从正反两面观察所固定的被加工物的工作台。背景技术[0002]对于在蓝宝石等的基板形成着器件图案的被加工物,通过照射脉冲激光而形成用于分割的起点的方法为众所周知(例如参照专利文献1)。[0003]另外,在想要利用专利文献1中所揭示的装置将基板在规定位置分割的情况下等,在欲对载置固定在工作台(也称作载物台等)上的被加工物进行加工时,存在想从被加工物的背面侧(与工作台接触的一侧)观察该被加工物的情形。可从背面侧较佳地观察吸附固定在载物台上的透明性基板的观察装置已为众所周知(例如参照专利文献2)。[0004][背景技术文献][0005][专利文献][0006]专利文献1:国际公开第2006/062017号[0007]专利文献2:日本专利特开2009-244549号公报发明内容[0008]专利文献2中所揭示的观察装置所包含的载物台是以石英玻璃等透明的构件形成,且在该载物台的内部,设置着成为用以吸引固定被加工物的抽气通路的抽吸用管。所述载物台是以如下方式制作:通过机械加工分别对成为该载物台的上半部分的透明构件与成为下半部分的透明构件的管形成对象位置进行钻孔,然后将两个构件以各自的钻孔位置一致的方式固定。而且,还进行将黑色等低亮度色的涂料涂布在管部分的处理,以抑制设置在内部的抽