荧光X射线分析装置和荧光X射线分析方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103308539A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103308539103308539A(43)申请公布日2013.09.18(21)申请号201310077549.6(22)申请日2013.03.12(30)优先权数据2012-0548432012.03.12JP2013-0482762013.03.11JP(71)申请人日本株式会社日立高新技术科学地址日本东京都(72)发明人佐久田昌博(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人李辉黄纶伟(51)Int.Cl.G01N23/223(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书8页说明书8页附图12页附图12页(54)发明名称荧光X射线分析装置和荧光X射线分析方法(57)摘要荧光X射线分析装置和荧光X射线分析方法。本发明的目的是提供如下功能：关于在测定中发生了移动的试样，根据试样图像的变化而自动检测发生了移动的情况。作为解决手段，具有拍摄被测定物的试样图像的摄像部，具有临时保存测定开始时刻的试样图像并与测定中或测定后的最新的试样图像进行比较的功能，还具有如下功能：如果图像处理的结果是差分为阈值以上，则通过显示部、蜂鸣音、信号塔、向远程管理终端的通知，对测定者发出警告。CN103308539ACN103859ACN103308539A权利要求书1/2页1.一种荧光X射线分析装置，其对试样台上的被测定物照射来自X射线源的X射线，测定从所述被测定物产生的荧光X射线，从而对所述被测定物的构成元素进行分析，其特征在于，所述荧光X射线分析装置具有：输入部，其输入必要的信息；摄像部，其取得所述被测定物的测定部位图像；以及运算部，其对来自所述输入部的输入信息和由所述摄像部取得的图像进行处理/保存，该运算部具有移动判定机构，该移动判定机构将所述运算部根据所述摄像部取得的第一图像和第二图像中的最新图像求出的、基于这2个图像中的被测定物的位置状态的各自特性值的差值与预先确定的基准值进行比较，判定所述被测定物有无移动，其中，所述第一图像包含所述被测定物的测定区域，是即将开始测定前的图像，所述第二图像是在与该第一图像对应的位置的测定时每隔规定时间取得的。2.根据权利要求1所述的荧光X射线分析装置，其中，基于所述被测定物的位置状态的特性值是所述图像的各像素的亮度值。3.根据权利要求1或2所述的荧光X射线分析装置，其中，在与所述第一图像对应的位置的测定结束后取得所述第二图像。4.根据权利要求1或2所述的荧光X射线分析装置，其中，所述第二图像是包含其判定时刻在内的过去的多个帧，所述特性值的差值是所述第一图像与多个所述第二图像中的每一个的差的平均值。5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的荧光X射线分析装置，其中，所述荧光X射线分析装置具有显示部，该显示部显示向所述输入部输入的内容、由所述摄像部取得的图像和由所述运算部处理后的结果，该显示部显示所述移动判定机构的所述判定结果。6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的荧光X射线分析装置，其中，所述荧光X射线分析装置具有警告音产生器，该警告音产生器接受所述移动判定机构的所述判定结果并发出警告音。7.根据权利要求1～6中的任意一项所述的荧光X射线分析装置，其中，所述荧光X射线分析装置具有发光装置，该发光装置接受所述移动判定机构的所述判定结果并发光。8.根据权利要求1～7中的任意一项所述的荧光X射线分析装置，其中，所述运算部具有通信端子，所述荧光X射线分析装置具有如下的通信功能：经由该通信端子向配置在远程位置的第2运算部发布所述移动判定机构的所述判定结果。9.根据权利要求1～8中的任意一项所述的荧光X射线分析装置，其中，所述试样台具有能够载置多个被测定物的构造，所述荧光X射线分析装置具有驱动机构，该驱动机构能够针对1个或多个所述被测定物各自的1个或多个指定的测定位置，依次对所述X射线源的X射线的射出位置进行相对定位。10.根据权利要求9所述的荧光X射线分析装置，其中，2CN103308539A权利要求书2/2页在所述移动判定机构判定为所述被测定物发生了移动时，所述驱动机构能够中断该测定点的测定，而定位到下一个被测定物的规定测定位置。11.根据权利要求1～8中的任意一项所述的荧光X射线分析装置，其中，所述荧光X射线分析装置具有：试样收纳部，其存储多个收纳了所述被测定物的试样容器；以及试样交换机构，其能够使所述被测定物与该试样容器一起从所述试样收纳部到所述试样台的规定位置交替地移动。12.根据权利要求11所述的荧光X射线分析装置，其中，在所述移动判定机构判定为所述被测定物发生了移动时，所述试样交换机构中断该测定点的测定，使该被测定物向所述试样收纳部退避，并且，使下一个被