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本发明提供一种荧光X射线分析装置,例如即使在液体试样所包含的多种元素的原子序数如磷(P)与硅(Si)这样地接近的情况下也能够仅从测量对象的元素产生荧光X射线或者从测量对象以外的元素产生极少量的荧光X射线从而能够准确地得到该元素的浓度,荧光X射线分析装置(100)对包含成为测量对象的第一元素以及原子序数比所述第一元素大的第二元素的液体试样进行分析,具备:X射线源(1),射出第一X射线;次级靶(3),被所述第一X射线激发出第二X射线;检测器(6),检测通过入射到液体试样(LS)的第二X射线激发出的荧光X射线;浓度计算器(7),根据所述检测器(6)的输出,计算所述第一元素的所述液体试样(SP)中的浓度,当将所述第一元素的吸收边的能量设为E1、将所述第二元素的吸收边的能量设为E2、将所述第二X射线的能量峰值设为EP时,E1<EP<E2。