一种用于硅片加压抛光的高温粘结蜡及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CN104559801A(43)申请公布日(43)申请公布日2015.04.29(21)申请号201310517895.1(22)申请日2013.10.28(71)申请人昆山科尼电子器材有限公司地址215325江苏省苏州市昆山市周庄镇敏锐路4号昆山科尼电子器材有限公司(72)发明人尹明汪力(51)Int.Cl.C09G1/10(2006.01)权利要求书1页说明书3页(54)发明名称一种用于硅片加压抛光的高温粘结蜡及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种用于硅片加压抛光的高温粘结蜡，包括以下质量百分比的组分：35%-45%的脂松香、25%-35%的松香脂、20%-30%的川蜡和4%-6%的黄蜂蜡；采用本发明所提供的用于硅片加压抛光的高温粘结蜡，降低了生产成本，可以在不同环境温度下使用，可以在加压抛光情况下硅片不跑片，同时除蜡方便并容易清洗。CN104559801ACN104559801A权利要求书1/1页1.一种用于硅片加压抛光的高温粘结蜡，其特征在于，包括以下质量百分比的组分：35%-45%的脂松香、25%-35%的松香脂、20%-30%的川蜡和4%-6%的黄蜂蜡。2.根据权利要求1所述的用于硅片加压抛光的高温粘结蜡，其特征在于，包括以下质量百分比的组分：38%-42%的脂松香、28%-32%的松香脂、24%-26%的川蜡和4.5%-5.5%的黄蜂蜡。3.根据权利要求2所述的用于硅片加压抛光的高温粘结蜡，其特征在于，包括以下质量百分比的组分：40%的脂松香、30%的松香脂、25%的川蜡和5%的黄蜂蜡。4.一种用于硅片加压抛光的高温粘结蜡制备方法，其特征在于，制备如权利要求1所述的用于硅片加压抛光的高温粘结蜡，具体包括如下步骤：（1）将脂松香和松香脂按比例先放到不锈钢锅里，在800W电炉上加热，待脂松香和松香脂全部熔化后放入川蜡和黄蜂蜡，等到川蜡和黄蜂蜡也熔化，泡沫消失后用勺子充分搅匀；（2）用8层医用纱布进行过滤；（3）再倒入大小合适的氟塑料盒里，冷却后即可取出。2CN104559801A说明书1/3页一种用于硅片加压抛光的高温粘结蜡及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及一种高温粘结蜡领域，具体涉及一种用于硅片加压抛光的高温粘结蜡。背景技术[0002]目前各种牌号高低温的抛光粘结蜡市场上都有卖，但是现有市场上适合加压抛光的高温蜡，抛光后除蜡较难，都比低温蜡难清洗，因为高温蜡中多加有合成蜡，如PE蜡、热熔胶。同时，由于高温蜡比较脆硬，在环境温度低时，容易脱胶，需要换低温蜡。另外，市场上购买高温蜡成本高。[0003]现有生产工艺活动中的粘结蜡，大多在加压抛光发热的情况下，硅片抛光容易发生跑片，影响产品质量。[0004]因此，一种能够适合不同环境温度，降低生产成本，除蜡方便，便于清洗，抛光加压不跑片的用于硅片加压抛光的高温粘结蜡亟待出现。发明内容[0005]为解决上述技术问题，本发明的目的在于提供一种能够适合不同环境温度，降低生产成本，除蜡方便，便于清洗，抛光加压不跑片的用于硅片加压抛光的高温粘结蜡。[0006]为达到上述目的，本发明的技术方案如下：一种用于硅片加压抛光的高温粘结蜡，包括以下质量百分比的组分：35%-45%的脂松香、25%-35%的松香脂、20%-30%的川蜡和4%-6%的黄蜂蜡。[0007]优选的，所述用于硅片加压抛光的高温粘结蜡，包括以下质量百分比的组分：38%-42%的脂松香、28%-32%的松香脂、24%-26%的川蜡和4.5%-5.5%的黄蜂蜡。[0008]优选的，所述用于硅片加压抛光的高温粘结蜡，包括以下质量百分比的组分：40%的脂松香、30%的松香脂、25%的川蜡和5%的黄蜂蜡。[0009]本发明还提供了一种用于硅片加压抛光的高温粘结蜡制备方法，具体包括如下步骤：[0010]（1）将脂松香和松香脂按比例先放到不锈钢锅里，在800W电炉上加热，待脂松香和松香脂全部熔化后放入川蜡和黄蜂蜡，等到川蜡和黄蜂蜡也熔化，泡沫消失后用勺子充分搅匀；[0011]（2）用8层医用纱布进行过滤；[0012]（3）再倒入大小合适的氟塑料盒里，冷却后即可取出。[0013]通过上述技术方案，本发明技术方案的有益效果是：一种用于硅片加压抛光的高温粘结蜡，包括以下质量百分比的组分：35%-45%的脂松香、25%-35%的松香脂、20%-30%的川蜡和4%-6%的黄蜂蜡；采用本发明所提供的用于硅片加压抛光的高温粘结蜡，降低了生产成本，可以在不同环境温度下使用，可以在加压抛光情况下硅片不跑片，同时除蜡方便并容易清洗。3CN104559801A说明书2/3页具体实施方式[0014]下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所