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一种用于硅片精密抛光的磨抛轮及其制备方法.pdf
2023-04-17
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文阁****23
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本发明涉及一种用于硅片精密抛光的磨抛轮,其由毡基体、磨料和树脂结合剂三部分组成;以体积百分比计,毡基体50%～95%,磨料5%～50%;树脂结合剂为毡基体和磨料总质量的1%～5%。将该磨抛轮用于硅片的抛光,可以提高硅片表面质量,减少硅片的表面损伤,且耗时短,成本低,抛光过程中无需添加研磨液或抛光液,绿色环保。
2023-04-17
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