一种氧化锌薄膜的制备方法.pdf

本发明公开了一种氧化锌薄膜的制备方法，具体步骤如下：衬底材料在丙酮和无水乙醇中用超声波振荡清洗1-3次；将靶材和衬底材料放入真空磁控溅射仪中，空磁控溅射仪的真空度为1.0×10-3～1.0×10-4Pa，充入惰性气体；工作气压为3.0Pa～0.1Pa，溅射间隙为40mm-120mm，溅射功率为20-60W；溅射获得金属锌薄膜与衬底材料一起转移到电阻炉中，热氧化气氛中氧分压约1KPa～30KPa，氧化温度为400℃-1200℃，热氧化时间10sec-1h，获得产物。本发明技术方案，具有工艺简单、速度快、适合

2023-06-20

10

2MB

一种制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法.pdf

本发明涉及薄膜技术。一种制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法，包括一基片，采用基片表面作为基底层，在基底层镀上一层均匀金属锌膜层,金属锌薄膜在空气环境中通过热氧化处理，即得到氧化锌薄膜。将制备好的金属锌薄膜置于马弗炉中，在空气环境下，4-25分钟内将温度升至400-600摄氏度，对金属锌薄膜进行热处理，即可得到非晶态透明氧化锌薄膜。本发明通过调节金属锌薄膜热氧化速度和温度可以制备非晶态透明氧化锌薄膜。

2023-06-19

10

1.2MB

一种石墨烯/多孔氧化锌复合薄膜的制备方法.pdf

本发明涉及一种石墨烯/多孔氧化锌复合薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)氧化石墨烯薄膜的制备；(2)氧化石墨烯薄膜预还原；(3)采用水热反应法在预还原后的氧化石墨烯薄膜表面生长多孔氧化锌；(4)后处理：进一步将所得复合薄膜热还原至所需还原程度；采用该方案制备的石墨烯/氧化锌复合薄膜技术简单、高效，无需引入多孔模板，多孔氧化锌负载在石墨烯薄膜表面，极大地保留了原石墨烯薄膜的力学和电学特性；原位生长在石墨烯表面的多孔氧化锌与石墨烯薄膜间结合紧密，界面清晰，又不相互掺混，使复合薄膜兼具石墨烯和多孔氧化锌的优异性

2023-11-14

10

827KB

一种掺钛氧化锌透明导电薄膜的制备方法.pdf

本发明属于透明导电薄膜技术领域，具体为一种掺钛氧化锌透明导电薄膜的制备方法。本发明首先以ZnO和TiO2粉末为原料，经过人工研磨或机械球磨混合均匀，将混合粉末装入粉末压片机，制成圆柱状靶材坯料，将靶材坯料放入刚玉坩埚中盖好后置于单晶炉中，在温度为800oC～1200oC之间烧结8～12小时即得到掺钛氧化锌陶瓷靶材，将烧制好的掺钛氧化锌靶材放入电子束蒸发镀膜设备的坩埚内，抽至本底真空，进行电子束蒸发镀膜，控制电子束流和沉积时间即得到掺钛氧化锌透明导电薄膜。本发明方法具有操作简单易控、时间短、沉积速率高等特点

2023-06-19

10

311KB

一种电学器件用Al掺杂的氧化锌薄膜制备方法.pdf

本发明公开了一种利用脉冲激光沉积法制备电学器件用Al掺杂的氧化锌薄膜的制备方法，该方法所用的设备包括石英管、电炉、真空泵、激光脉冲发生器、第一反射镜、第二反射镜以及透镜。激光脉冲发生器发射的激光脉冲束，依次通过第一反射镜、第二反射镜以及透镜，轰击靶材，通过转动透镜，可以控制激光脉冲束的焦点，分别轰击ZnO靶材和Al

2023-06-18

10

294KB